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Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series

Swagelok® Ultrahochreine Membranventile (Serien ALD3 und ALD6)

Die Swagelok Membranventile der Serien ALD3 und ALD6 liefern eine besonders hohe Zykluslebensdauer, hohe Betätigungsgeschwindigkeit und Durchflusskoeffizienten von bis zu 0,62, damit Halbleiterhersteller die kontrollierte Dosierung erreichen können, die für die Atomschichtsedimentierungs- (ALD)-Halbleiterproduktion notwendig sind.

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Ultrahochreine ALD3 und ALD6 Ventile liefern Halbleiterherstellern zuverlässige Hochgeschwindigkeitsdosierung von Vorläufergasen, die verwendet werden, um Microchips in Abscheidekammern Schicht für Schicht herzustellen. Diese ultrahochreinen Hochleistungsventile weisen Folgendes auf:

  • Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit
  • Durchflusskoeffizienen zwischen 0,27 und 0,62, und es sind auf Anfrage auch andere Durchflusskoeffizienten erhältlich
  • Vollständige Eintauchbarkeit bis 200°C (392°F) mit optionalen Hochtemperatur-Steuerköpfen
  • Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR
  • Modulare Flächenmontage, Stumpfschweißenden und Swagelok VCR®-Endanschlüsse
  • Optionaler elektronischer oder optischer Steuerkopf-Stellungsmelder

ALD3 ind ALD6 Membrane bestehen aus einem Superlegierungswerkstoff auf Kobaltbasis, der Festigkeit und Korrosionswiderstand liefert; ihre Ventilkörper bestehen aus Edelstahl 316L VIM-VAR, wodurch sie für ultrahochreine Anwendungen geeignet sind; und die Ventilsitze bestehen aus vollständig fluoriniertem hochreinem PFA, um die Verträglichkeit mit zahlreichen Chemikalien und herausragende Beständigkeit gegen Aufquellen und Verunreinigung zu bieten.

Ultrahochreine ALD3 und ALD6 Ventile können für normal geschlossene und normal offene pneumatische Betätigung hergestellt werden und sind in einer Vielzahl von Konfigurationen verfügbar, darunter gerade und Winkelkonfigurationen mit zwei Anschlüssen, Mehrwegeventile mit zwei, drei- und vier Anschlüssen und Verteilerblöcke mit mehreren Ventilen und Flächenmontagekonfigurationen mit zwei und drei Anschlüssen in 1,125 Zoll (nur Serie ALD3) und 1,5 Zoll Plattformen. Die verfügbaren Hochtemperatur-Steuerköpfe, Stellungsmelder, Magnetventilbetätigung und optionalen Körperbohrungen zur Aufnahme von Heizelementen können je nach Prozessanforderung zusätzlichen Wert für einen Benutzer liefern.

Technische Daten

ArbeitsdruckVakuum bis 10,0 bar (145 psig)
Berstdruck>220 bar (3200 psig)
Steuerdruck3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig)
Temperatur0° bis 200°C (32° bis 392°F)
Durchflusskoeffizient(Cv)0,27 oder 0,62
KörperwerkstoffeEdelstahl 316L VIM-VAR
MembranwerkstoffSuper-Legierung auf Kobaltbasis
Endanschlüsse
Typ (Größe)VCR® Innengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll)
VCR Außengewinde (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll)
Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,125 Zoll bis 1,5 Zoll) mit hohem Durchfluss

Ventile der Serien ALD3 und ALD6—Kataloge

Finden Sie detaillierte Produktinformationen, einschließlich Werkstoffe, Druck- und Temperaturbereiche, Optionen und Zubehör.

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