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Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серии ALD3 и ALD6

Válvulas de Diafragma de Ultra Alta Pureza (Series ALD3 y ALD6) Swagelok®

Las válvulas de diafragma Swagelok series ALD3 y ALD6 tienen ciclos de vida ultra-largos, alta velocidad de actuación y coeficientes de caudal de hasta 0,62, lo que permite a los fabricantes de semiconductores conseguir la dosificación controlada necesaria para la fabricación de semiconductores por deposición de capas atómicas (ALD).

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Las válvulas ALD3 y ALD6 de ultra alta pureza están diseñadas para ofrecer a los fabricantes de semiconductores una dosificación fiable y de alta velocidad de los gases precursores utilizados para construir microchips capa a capa en las cámaras de deposición. Estas válvulas de ultra alta pureza de alto rendimiento se caracterizan por:

  • Ciclo de vida ultra-alto con actuación de alta velocidad
  • Coeficientes de caudal de 0,27 a 0,62, con posibilidad de caudal personalizado
  • Inmersión total hasta 200°C (392°F) con actuadores térmicos opcionales
  • Idoneidad para aplicaciones de ultra alta pureza con cuerpos de válvulas estándar de acero inoxidable VIM-VAR 316L
  • Conexiones finales para sistemas de montaje modular superficial, soldadura de tubo a tope y Swagelok VCR®
  • Opción de detección de posición del actuador electrónica u óptica

Los diafragmas ALD3 y ALD6 se componen de un material de superaleación con base de cobalto que ofrece solidez y resistencia a la corrosión; los cuerpos de las válvulas son de acero inoxidable 316L VIM-VAR, lo que los hace adecuados para aplicaciones de ultra alta pureza; y los asientos de las válvulas son de PFA de alta pureza totalmente fluorado para permitir una amplia gama de compatibilidad química y una excelente resistencia a la deformación y la contaminación.

Las válvulas ALD3 y ALD6 de ultra alta pureza pueden configurarse para actuación neumática normalmente cerrada y normalmente abierta, y están disponibles en una variedad de configuraciones, incluyendo diseños de dos puertos rectos y en codo; válvulas multipuerto de dos, tres y cuatro puertos y manifolds multiválvulas; y válvulas de montaje en superficie de dos y tres puertos en plataformas de 1,125 pulg. (sólo serie ALD3) y 1,5 pulgadas. Los actuadores térmicos disponibles, los sensores de posición, los solenoides y los orificios opcionales del cuerpo para alojar los calefactores pueden ofrecer un valor adicional al usuario en función de sus procesos específicos.

Especificaciones

Presión de servicioVacío hasta 10,0 bar (145 psig)
Presión de rotura> 220 bar (3200 psig)
Presión de actuación3,5 a 6,2 bar (50 a 90 psig)
Temperatura0° a 200°C (32° a 392°F)
Coeficiente de caudal (Cv)0,27 o 0,62
Materiales de CuerpoAcero inoxidable 316L VIM-VAR
Material del diafragmaSuperaleación con base de cobalto
Conexiones finales
Tipo (Tamaño)Accesorio hembra de cierre frontal VCR® (1/4 pulg. a 1/2 pulg.)
Accesorio de cierre frontal VCR macho (1/4 pulg. a 1/2 pulg.)
Junta C de alto caudal de montaje modular (1,125 pulg. a 1,5 pulg.)

Catálogos de Válvulas Series ALD3 y ALD6

Encuentre información detallada sobre los productos, incluidos los materiales de construcción, los valores nominales de presión y temperatura, las opciones y los accesorios.

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