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Клапаны сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом, серия ALD20

Válvulas de Ultra Alta Pureza para Aplicaciones de Alto Caudal (Serie ALD20) Swagelok®

Las válvulas Swagelok ALD20 de ultra alta pureza tienen una mayor capacidad de caudal que otras válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), lo que permite a los usuarios experimentar con gases precursores de baja presión de vapor en sus procesos de ALD.

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Hacer Posible Lo Que Está Por Venir

La ALD20 ofrece la fiabilidad y el rendimiento que los clientes esperan de las válvulas ALD de ultra alta pureza de Swagelok, al tiempo que abre posibilidades de estabilidad de temperatura y caudal antes inalcanzables. Permite a los fabricantes experimentar con diferentes procesos y productos químicos de baja presión de vapor, a fin de conseguir la deposición uniforme de gas necesaria para desarrollar la tecnología avanzada de hoy y de mañana.

Caudal Mejorado. Mínimo Espacio Ocupado.

La válvula ALD20 de ultra alta pureza está diseñada específicamente para ampliar los límites de la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas, permitiendo obtener caudales dos o tres veces superiores a los que se pueden conseguir utilizando las válvulas ALD existentes. Ofrece a los fabricantes de chips semiconductores la posibilidad no sólo de aumentar la producción y mejorar la eficiencia, sino de hacerlo sin cambiar significativamente los procesos.

  • La ALD20 puede suministrar un coeficiente de caudal de 1,2 Cv en el mismo espacio (1,5 pulgadas) que las válvulas ALD existentes, lo que ofrece un rendimiento mejorado sin necesidad de modificar los equipos existentes
  • Una segunda variante de la válvula ALD20 estándar que tiene una dimensión ligeramente superior (1,75 pulgadas) puede ofrecer un coeficiente de caudal aún mayor, de 1,7—el más alto disponible actualmente en una válvula de ultra alta pureza y vida útil ultra larga.
  • También hay disponibles coeficientes de caudal personalizados

Consistencia Total

El diseño de la ALD20 favorece un funcionamiento consistente a lo largo de un ciclo de vida ultra largo gracias a algunas características clave:

  • Toda la válvula y el actuador son totalmente sumergibles en una caja de gas desde 10°C (50°F) hasta 200°C (392°F), eliminando la necesidad de aislar el actuador durante el caldeo. La consistencia de la deposición mejora como resultado, con gases de baja presión de vapor mantenidos a temperaturas que conducen a un caudal óptimo
  • Las opciones de material del cuerpo de acero inoxidable VIM-VAR 316L o aleación 22 tienen una mayor resistencia a la corrosión para soportar fluidos cada vez más agresivos
  • Un fuelle altamente pulido con un acabado de 5 μpulg. Ra apoya el funcionamiento limpio durante el transcurso de un ciclo de vida ultra largo para la integridad del proceso
  • Un actuador neumático puede proporcionar una actuación de alta velocidad (<10 ms) constante para un caudal preciso y consistente que cumpla con los requisitos de dosificación

Especificaciones

Presión de servicio Vacío hasta 1,4 bar (20 psig)
Presión de rotura > 220 bar (3200 psig)
Presión de actuación 4,9 a 6,2 bar (70 a 90 psig)
Temperatura 10° a 200°C (50° a 392°F)
Coeficiente de caudal (Cv) 1,2 (MSM) o 1,7 (modelo recto)
Materiales de Cuerpo 316L VIM-VAR o Aleación 22
Material del fuelle Aleación 22 (Acabado a 5 μpulg. Ra de rugosidad media)
Conexiones finales
Tipo (Tamaño) Accesorio VCR® hembra (1/2 pulg.)
Accesorio VCR macho giratorio (1/2 pulg.)
Soldadura de tubo a tope, 0,50 pulg. de largo (1/2 pulg. x 0,049 pulg.)
Junta de cierre C de alto caudal para montaje modular en superficie (1,5 pulg.)

Catálogos de Válvulas Series ALD20

Encuentre información detallada sobre los productos, incluidos los materiales de construcción, los valores nominales de presión y temperatura, las opciones y los accesorios.

Сборка клапана Swagelok ALD20 сверхвысокой степени чистоты в чистом помещении для применения в полупроводниковой отрасли

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