Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD) Swagelok®
Las válvulas Swagelok de ultra alta pureza para deposición de capas atómicas (ALD) ofrecen vida útil ultra alta, alta velocidad de actuación, los caudales, la inmersión térmica y la extrema limpieza necesarias para permitir una dosificación precisa y maximizar la producción de chips en aplicaciones avanzadas de fabricación de semiconductores.
Más Información sobre Válvulas ALDDesde que presentamos al mundo las válvulas ALD, hemos colaborado estrechamente con los fabricantes de equipos originales (OEM) y los fabricantes de semiconductores para mejorar el control de la dosis en el proceso ALD, ayudando así a los clientes a mantenerse al día con la rápida innovación, acelerar los plazos de desarrollo y mejorar el rendimiento de los chips en procesos cada vez más complejos. En toda nuestra gama de productos, las válvulas ALD Swagelok® ofrecen la precisión, la consistencia, la limpieza y el ciclo de vida útil ultra alto necesarios para mantener un rendimiento estable en aplicaciones exigentes.
Diseñadas para ofrecer un control preciso del caudal, una actuación rápida y estabilidad a altas temperaturas, nuestras válvulas reducen la variabilidad en la dosificación, lo que permite aumentar el rendimiento de las obleas y acelerar los ciclos de desarrollo, con el fin de apoyar a los clientes en la comercialización más rápida de las tecnologías de próxima generación.
Nuestras válvulas ALD de ultra alta pureza tienen las siguientes características:
- Larga vida útil con actuación de alta velocidad
- Coeficientes de caudal desde 0,27 Cv hasta 1,7 Cv
- Capacidad de temperatura hasta 250 °C (482 °F) para determinados modelos
- Opciones de ajuste del caudal en campo
- Opción de detección electrónica u óptica de la posición del actuador
- Adecuadas para aplicaciones de ultra alta pureza, con opciones de cuerpo de acero inoxidable 316L VIM-VAR y aleación 22.
- Conexiones finales disponibles: montaje modular superficial, soldadura de tubo a tope y accesorios VCR®.
- Disponibles en cuerpo único, así como en configuraciones de manifolds fabricados mediante fabricación aditiva (AM)
. Cómo la válvula ALD adecuada puede mejorar el control de procesos
ALD-Ventile – Kategorien
Ultrahochreine Membranventile - Serien ALD3 und ALD6
Die ALD3- und ALD6-Membranventile bieten eine extrem hohe Lebensdauer, schnelle Betätigung und hohe Leistung bei der Atomlagenabscheidung.
Ultrahochreine Membranventile für Anwendungen mit hohem Durchfluss, Serie ALD20
Das fortschrittliche, ultrahochreine ALD20-Ventil bietet 2–3 mal höhere Durchflussraten als andere ALD-Ventile.
Ultrahochreine Membranventile, Serie ALD7A
Das ALD7A-Membranventil von Swagelok für ultrahochreine Anwendungen bietet präzise und konsistente Ergebnisse für eine maximale Chipausbeute in der Halbleiterfertigung.
Ultrahochreine Membranventile, Serie ALD7C
Die ultrahochreinen ALD7C-Membranventile von Swagelok bieten eine hohe Leistung, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit für hochkomplexe ALD-Anwendungen.
Catálogos de Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD)
Encuentre información detallada de producto, incluidos materiales de construcción, valores nominales de presión y temperatura, opciones y accesorios.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
Implementación de Nuevos Precursores con Válvulas Optimizadas
Los precursores de semiconductores de última generación plantean nuevos retos en el ámbito de la fabricación. El diseño óptimo de los sistemas y la tecnología de válvulas ALD pueden ayudarle a mantenerse a la vanguardia.
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