Swagelok® 원자층 가공용 초고순도 다이어프램 밸브(ALD3 및 ALD6 시리즈)
Swagelok ALD3 및 ALD6 시리즈 다이어프램 밸브는 반도체 제조 장비에 사용되어 원자층 증착(ALD) 가공에 필요한 투입량 제어 기능을 제공합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 최고 0.62의 유량 계수를 제공합니다.
ALD 밸브 정보 요청Les vannes à membrane très haute pureté ALD3 Swagelok® et ALD6 Swagelok® sont conçues pour fournir aux fabricants de semi-conducteurs un dosage fiable et ultrarapide des gaz précurseurs utilisés pour fabriquer des puces électroniques couche par couche dans les chambres de dépôt. Ces vannes ultraperformantes ont une durée de vie très longue, peuvent être immergées complètement à des températures élevées et sont adaptées aux applications très haute pureté.
Les membranes utilisées dans les vannes ALD3 et ALD6 sont fabriquées dans un superalliage à base de cobalt à la fois robuste et résistant à la corrosion. Avec leur corps en acier inoxydable 316L VIM-VAR, ces vannes sont adaptées aux applications très haute pureté. Fabriqué en PFA haute pureté, le siège des vannes est compatible avec de nombreux produits chimiques, résiste au gonflement et empêche les contaminations. Ces vannes à actionnement pneumatique normalement fermées ou normalement ouvertes sont proposées dans des configurations diverses adaptées à différentes contraintes d’installation.
Découvrir en quoi les vannes ALD améliorent les procédés de fabrication des semi-conducteurs
Caractéristiques techniques des vannes ALD3 et ALD6
| Pression de service | Du vide à 10,0 bar (145 psig) |
| Pression d’éclatement | > 220 bar (3200 psig) |
| Pression d’actionnement | 3,5 à 6,2 bar (50 à 90 psig) |
| Température | 0° à 200°C (32° à 392°F) |
| Coefficient de débit (Cv) | 0,27 ou 0,62 |
| Matériaux du corps | Acier inoxydable 316L VIM-VAR |
| Matériau de la membrane | Superalliage à base de cobalt |
| Raccordements d’extrémité | Type (taille) : Raccord VCR® femelle (1/4 po à 1/2 po), raccord VCR mâle (1/4 po à 1/2 po), joint en C haut débit pour montage modulaire en surface (1,125 po à 1,5 po) |
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Catalogues des vannes séries ALD3 et ALD6
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■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手
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