Swagelok® Ultrahochreine Membranventile für die Atomlagenabscheidung (Serien ALD3 und ALD6)
Die Membranventile der Serien ALD3 und ALD6 von Swagelok werden in Werkzeugen zur Halbleiterfertigung für eine präzise Dosierung bei der Atomlagenabscheidung eingesetzt. Sie zeichnen sich durch äußerst lange Lebensdauer, hohe Stellgeschwindigkeiten und Durchflusskoeffizienten von bis zu 0,62 aus.
Informationen zu ALD-Ventilen anfordernDie ultrahochreinen Swagelok®Membranventile der Swagelok®Serien ALD3 und ALD6 wurden entwickelt, um Halbleiterherstellern eine zuverlässige Hochgeschwindigkeitsdosierung von Vorläufergasen zu ermöglichen, die für den schichtweisen Aufbau von Mikrochips in Abscheidekammer eingesetzt werden. Diese äußerst leistungsstarken Ventile für ultrahochreine Anwendungen zeichnen sich durch eine extrem lange Lebensdauer, die vollständige Eintauchfähigkeit bei hohen Temperaturen sowie durch ihre Eignung für ultrahochreine Anwendungen aus.
Die Membranen der ALD3- und ALD6-Ventile bestehen aus einer Superlegierung auf Kobaltbasis, die Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit gewährleistet. Die Ventilkörper sind für den Einsatz in ultrahochreinen Anwendungen aus Edelstahl 316L VIM-VAR gefertigt. Die Ventilsitze sind aus fluoriertem PFA für den Einsatz unter hochreinen Bedingungen hergestellt, um die Kompatibilität mit zahlreichen Chemikalien und eine herausragende Beständigkeit gegen Aufquellen und Verunreinigung sicherzustellen. Diese Ventile sind für eine normal geschlossene sowie normal offene pneumatische Betätigung konzipiert und für unterschiedliche Installationsanforderungen in verschiedenen Konfigurationen erhältlich.
Wie ALD-Ventile die Halbleiterfertigung verbessern
ALD3- und ALD6-Ventile — Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3.200 psig) |
| Betätigungsdruck | 3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig) |
| Temperatur | 0 ° bis 200 °C (32 ° bis 392 °F) |
| Durchflusskoeffizient (Cv) | 0,27 oder 0,62 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | Typ (Größe): VCR®-Innengewinde mit Metalldichtscheibe (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll), VCR-Außengewinde mit Metalldichtscheibe (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll), modulare Flächenmontage mit C-Dichtung für hohen Durchfluss (1 1/8 Zoll bis 1 1/2 Zoll) |
Sie haben Fragen zu ALD-Ventilen?
Ventile der Serien ALD3 und ALD6—Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen
Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.
Erfahren Sie mehr über die WerkstoffauswahlSwagelok-Ressourcen für Sie zusammengestellt
Una Nueva Válvula: Tres Razones por las que Podría Cambiar la Fabricación del Semiconductor
Descubra cómo la última innovación en la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), está cambiando las cosas para los fabricantes de semiconductores de alta tecnología.
P&R: Pasado, Presente y Futuro de la Fabricación de Semiconductores
Vea cómo la colaboración entre los fabricantes de herramientas, los fabricantes de microchips y los proveedores de soluciones para sistemas de fluidos ha permitido que el mercado del semiconductor se mantenga a la altura de las exigencias de la Ley de Moore durante décadas, y hacia dónde nos dirigimos a partir de aquí.
Un Fabricante de Equipos de Fibra Óptica Aumenta la Eficiencia con Soluciones Personalizadas
Desde la década de los 80, Rosendahl Nextrom ha confiado en Swagelok para impulsar su negocio. Más información sobre las soluciones que permitieron a la empresa superar a sus competidores y seguir siendo un líder de la industria.
Soluciones Fiables de Sistemas de Fluidos para la Frontera Científica
Vea por qué el fabricante finlandés de refrigeradores de dilución Bluefors, confía en Swagelok para los componentes y soluciones de sistemas de fluidos que ayudan a hacer posible, entre otras, la informática cuántica o la física experimental.