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Swagelok超高純度用バルブ ALD20シリーズは、低蒸発圧プリカーサー・ガスを必要とする原子層蒸着プロセスに適した大流量用バルブです。 Swagelok ® 超高純度用バルブ（大流量用） ALD20シリーズは、ALDバルブに求められている信頼性および性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性および流量も達成しています。このため、メーカーは大幅な工程変更を行うことなく、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現するため、さまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試すことができます。 Swagelok ALD20シリーズ・バルブの特徴： 1.2の流量係数（C v 値）を実...

Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD（原子層蒸着）半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3／ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...

Swagelok超高純度用ALD（原子層蒸着）用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの供給を実現し、デバイスの歩留まりを最大化します。 ALD用バルブ を世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体製造装置メーカーやファブと緊密に連携し、ALDの供給制御の向上に取り組んできました。これにより急速な技術革新に対応し、開発期間を短縮し、ますます複雑化するプロセスにおいてデバイスの歩留まりを向上できるよう支援しています。Swagelok ® ALD用バルブは、製品ライ...

Swagelokアンモニア・サンプラーを使用することで、液体や気化したアンモニアの作業者への曝露を最小限に抑えることができるため、無水アンモニア・サンプリングの安全性が向上します。また、サンプリング作業が標準化されることにより、サンプリング・プロセスが大幅に短縮され、工場内でアンモニア・サンプルを運搬する必要が無くなります。 無水アンモニアは、肥料、プラスチック、繊維、石油などの製造に使用されます。貯蔵タンクでのアンモニアによる応力腐食割れや製品の品質低下を防止するため、アンモニアを定期的にサンプリングし、水分の含有量が0.2～0.5%であることを確認する必要があります。 スウェージロックのク...

スウェージロックは、プロセス流体分析に関する豊富な知識を活かして、Pre-Engineered Subsystems（PrESS）、流体システム・アセンブリー、部品など、さまざまなソリューションを提供します。また、設計、トラブルシューティング、トレーニング・サービスを通じて、幅広い流体システム・アプリケーションをサポートします。 スウェージロックがあらかじめ設計したサブシステム（Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き）を使用すると、さまざまな施設において流体のサンプリングおよび制御を簡素化することが可能になり、一貫性および容易な取り付けを実現します。アプリケーション・エンジニアが、...

Swagelok Pre-Engineered Subsystems（PrESS）は、流体システムの専門スタッフが設計と組み立てを行っており、コンパクトで精度が高く、使いやすいシステムです。 一定の設計と組み立て済みの流体サンプリング／制御サブシステムを使用すると、オペレーションの効率性や一貫性を確保することができます。Swagelok Pre-Engineered Subsystems（PrESS）を導入することで、流体サンプリング／制御システムを簡単に構築することができるため、何種類もの部品を購入して組み立てを行う手間を省くことができます。なお、PrESSには操作マニュアルが完備されていま...

Swagelok VCO ® Oリング式面シール継手は、容易に組み立てることができます。金属とエラストマーのシールが継手ボディ内に完全に包み込まれているため、高純度用や一般産業用のパイプ配管、チューブ・システム、溶接システムにおいて、漏れの無い取り付けを容易かつ迅速に実現することができます。 Swagelok VCO ® Oリング式面シール継手は、高圧から超高真空まで、また幅広い温度範囲での使用に適しています。シール用のOリングが継手ボディ内に完全に包み込まれていることで効率性が向上しているほか、滑らかなグランド・シール面で確実にシールします。さまざまなOリング材質を選ぶことが...

Swagelok VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手を高純度溶接システムで使用すると、信頼性の高い金属同士のシールが形成され、取り付けや取り外しを容易に行うことができます。高純度の材料から製造されており、狭いスペースでも容易に取り付けることが可能です。VCR継手は、システム流体や温度がエラストマー製Oリングに適合しない場合に適しています。 Swagelok VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手は、金属同士でシールする継手の業界基準を打ち立てました。Swagelok VCR継手は超高純度構造を採用しており、真空から正圧までの高純度アプリケーションに使用することが...

Swagelok溶接継手は、超高純度用途、特別なクリーニングが必要なアプリケーション、一般産業アプリケーションにおいて、流体システムの効率および安全性を維持するのに欠かせない強度や耐久性を備えています。 スウェージロックは、多種多様なアプリケーション向けに、さまざまなサイズ、形状、材質の溶接継手を幅広く取り揃えています。そのラインアップには、高純度用および一般産業用のチューブ突き合わせ溶接継手、差し込み溶接継手、溶接アダプター、海底用溶接継手などがあります。Micro-Fit ® （マイクロ・フィット）溶接（ミニチュア・チューブ突き合わせ溶接）継手は、コンパクトながら、チューブ外径サイ...

Swagelokウェルド・ヘッドを使用すると、電極を保持し、溶接物を確実に固定し、溶接電流の流れを確保することができます。チューブやパイプの信頼性が高く一貫したオービタル・ガス・タングステン・アーク溶接（GTAW）を実現する設計を採用しています。精度および耐久性を重視して設計されており、常に高品質の溶接を行うことができます。Swagelokウェルド・ヘッドは、溶接パラメーターの正確な制御、容易なセットアップ、過酷な環境に耐える堅牢な構造を特徴としています。さまざまな溶接パワー・サプライとの互換性があり、特定のプロジェクト・ニーズに合わせてカスタマイズすることが可能です。 Swagelokウェル...