超高純度用Swagelok®超高純度用フルオロポリマー ・ポペット式逆止弁（ エラストマー・ フリー）（CHPシリーズ）
超高純度用Swagelok®フルオロポリマー・ポペット式逆止弁（エラストマー・フリー） CHPシリーズは、低いクラッキング圧力および再シール圧力を特徴としており、接液・接ガス部コンポーネントは超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI規格F57-0301に適合しています。
資料を請求する超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁（エラストマー・フリー） CHPシリーズは流れを最大限化し、 かつ差圧を低減するデザインを採用しています。たまり部分を排除し、熱サイクル時にも漏れのない優れたシール性能を発揮します。
- ポペットにはOリングを使用していないため、優れた清浄度を維持します。曲線部がなだらかなため乱流を低減し、圧力損失を最小限に抑制します。
- 突起部とみぞ部が噛み合って外部シールを形成します。熱サイクルや高圧用途においても、漏れのない優れたシール性能を発揮します。
- スプリングには非汚染性PFA材質を使用しており、バルブはどの向きにでも取り付けることができます。確実なストッパーが圧縮によるスプリングの硬化を防止するほか、スプリング・コイル周辺の流れをスムーズにし、たまりを低減します。
- ボディ・サイズが中（Mサイズ）の場合は、リテイナーが流れを最大限化し、かつ差圧を低減します。ボディ・サイズが小（Sサイズ）の場合は、リテイナーのオープン・ケージが確実なポペットの位置合わせと、たまり部分の排除を同時に実現します。
このバルブはどの方向にでも取り付けることができます。エンド・コレクションは、フレアー継手です。
仕様
| 最高使用圧力 | 0.55 MPa |
| 流体温度 | 10～85°C |
| ボディ材質 | |
| 小（Sサイズ） | 次世代PTFE |
| 中（Mサイズ） | PFA |
| クラッキング圧力範囲 | |
| 小（Sサイズ） | 0.011 MPa未満 |
| 中（Mサイズ） | 0.007 MPa未満 |
| 再シール圧力 | 0.004 MPaまで |
| 流量係数（Cv値） | 最大4.1 |
| エンド・コネクション | |
| タイプ | フレアー継手 |
| サイズ | 小（Sサイズ）：1/4 インチ、3/8 インチ 中（Mサイズ）：1/2インチ、3/4インチ |
CHPシリーズ超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁（エラストマー・フリー）のカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。
■ 次世代PTFE製接液・接ガス部コンポーネント：超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301 に適合／■ エンド・コネクション：フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング／■ 低いクラッキング圧力および再シール圧力
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