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超高純度フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ 技術情報 概要
この情報は、DRPシリーズ・バルブに対し、第三者機関とスウェージロックが行ったテストの要約です。DRPバルブは主に、製品の純度と信頼性が非常に重要である半導体業界において、重要な液体管理を行うために使用することを主たる目的として設計されています。この情報に記載されている報告データとテスト・プロトコルは、SEMI F57-0301 に基づいています。この情報は、以下の項目について記述しています。■ パーティクル発生／■ 表面粗さ／■ イオン性コンタミネーション／■ 金属性コンタミネーション／■ 総有機性炭素（TOC）量／■ 超純水、HCl、スラリーを用いた信頼性テスト
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減圧レギュレーターの流量曲線 技術資料
本技術資料では、減圧レギュレーターの流量曲線の読み取り方 （概要）について記載しています。また、複雑な現象［ドループ（流量増加に伴う二次側圧力の降下）、シート・ロード・ドロップまたはロックアップ、チョーク流量、ヒステリシス（回帰性）、供給圧力影響（SPE、別名：依存性）］などについて紹介しています。
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ダイヤフラム・バルブ DFシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokダイヤフラム・バルブ DFシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ／■ パーティクル・カウント／■ 水分分析／■ 炭化水素分析／■ 残留イオン濃度／■ 実験室でのサイクル・テスト
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ALD3 ダイヤフラム・バルブ 技術情報
この技術情報は、ノーマル・クローズ型Swagelok ALD3ダイヤフラム・バルブに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ シート部のヘリウム・リーク・テスト／■ バルブ流量一貫性分析／■ 実験室でのサイクル・テスト／■ アクチュエーターの断熱およびバルブの熱反応性／■ パーティクル・カウント／■ 表面仕上げ／■ 水分分析／■ 炭化水素分析／■ バルブ作動の応答性に関して
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超高純度用フルオロポリマー3方ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ 技術情報 概要
この情報は、DRPシリーズ3方バルブに対し、第三者機関とスウェージロックが行ったテストの要約です。DRP 3方バルブは主に、製品の純度が非常に重要である半導体業界において、重要な液体管理を行うために使用することを主たる目的として設計されています。 この情報に記載されている報告データとテスト・プロトコルは、 SEMI F57-0301に基づいています。この情報は、以下の項目について記述しています。■ 表面粗さ／■ パーティクル発生／■ 金属性コンタミネーション／■ 信頼性テスト
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スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DEシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokダイヤフラム・バルブ（1.125 インチ集積サイズ） DEシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ／■ インボード・ヘリウム・リーク・テスト（真空法）／■ パーティクル・カウント／■ 実験室でのサイクル・テスト／■ 水圧試験
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チューブ技術資料 ̶ 異材質の組み合わせ
本資料には、さまざまな材質のチューブを取り付けたSwagelok® チューブ継手の最高使用圧力（参考情報）を記載しています。チューブ技術資料／チューブの選定について／チューブの取り扱いについて／ガス配管について／チューブの取り付け／最高使用圧力（参考情報）／温度上昇と圧力低下係数
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ALD20 バルブ 技術情報
この技術情報は、ノーマル・クローズ型Swagelok® ALD20 超高純度用バルブに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 大流量の一貫性／■ 真空下での流れ／■ 実験室でのサイクル・テスト／■ バルブ作動の応答性に関して／■ シート部のヘリウム・リーク・テスト／■ 表面仕上げ／■ パーティクル・カウント／■ 炭化水素分析／■ 残留イオン濃度／■ 水分分析