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大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ
Swagelok超高純度用バルブ ALD20シリーズは、低蒸発圧プリカーサー・ガスを必要とする原子層蒸着プロセスに適した大流量用バルブです。 Swagelok ® 超高純度用バルブ（大流量用） ALD20シリーズは、ALDバルブに求められている信頼性および性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性および流量も達成しています。このため、メーカーは大幅な工程変更を行うことなく、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現するため、さまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試すことができます。 Swagelok ALD20シリーズ・バルブの特徴： 1.2の流量係数（C v 値）を実...
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超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ
Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD（原子層蒸着）半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3／ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...
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分析計装
スウェージロックは、プロセス流体分析に関する豊富な知識を活かして、Pre-Engineered Subsystems（PrESS）、流体システム・アセンブリー、部品など、さまざまなソリューションを提供します。また、設計、トラブルシューティング、トレーニング・サービスを通じて、幅広い流体システム・アプリケーションをサポートします。 スウェージロックがあらかじめ設計したサブシステム（Swagelokリミティッド・ライフタイム保証付き）を使用すると、さまざまな施設において流体のサンプリングおよび制御を簡素化することが可能になり、一貫性および容易な取り付けを実現します。アプリケーション・エンジニアが、...
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分析サブシステム（PrESS）
Swagelok Pre-Engineered Subsystems（PrESS）は、流体システムの専門スタッフが設計と組み立てを行っており、コンパクトで精度が高く、使いやすいシステムです。 一定の設計と組み立て済みの流体サンプリング／制御サブシステムを使用すると、オペレーションの効率性や一貫性を確保することができます。Swagelok Pre-Engineered Subsystems（PrESS）を導入することで、流体サンプリング／制御システムを簡単に構築することができるため、何種類もの部品を購入して組み立てを行う手間を省くことができます。なお、PrESSには操作マニュアルが完備されていま...
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背圧レギュレーター、ドーム・ロード式
ドーム・ロード式プロセス・レギュレーターは、ドループ（流量増加に伴う二次側圧力の降下）を最小限に抑え、一次側圧力や流量が変動しても、二次側圧力を一定に維持します。 背圧プロセス・レギュレーターは、レギュレーターの手動または遠隔でのオペレーションが適しているさまざまな一般産業アプリケーションに使用することができます。ドーム・ロード式プロセス・レギュレーターは、一次側圧力や流量が変動しても、二次側圧力を一定に維持します。この安定性は、設定スプリングを必要としない加圧ドーム制御メカニズムによって実現しています。 汎用性に優れた本レギュレーターは、特定のアプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズす...
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ボール・バルブ、1/4回転式プラグ・バルブ
Swagelokボール・バルブおよびプラグ・バルブを使用することで、大半の産業において包括的な流体の締め切りソリューションを実現することができます。 ボール・バルブ | 信頼性の高い締め切り用バルブ。アプリケーションに合わせて選定・構成することが可能。 プラグ・バルブ | 安価ながら信頼性の高い締め切り用バルブ。低トルクで確実に開閉可能。 Swagelokボール・バルブは、 フュージティブ・エミッション（排出物の漏れ） や漏れを制御し、幅広いアプリケーションに使用可能です。繰り返し漏れの無い締め切りを実現する設計を採用しており、総所有コストを低く抑えることができます。スウェージロックでは、フル...
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ベローズ･シール･バルブ
Swagelokベローズ･シール･バルブを使用すると、漏れの可能性を最小限に抑えることができます。大半のベローズ･シール･バルブでは、パックレス構造または溶接シールを採用しています。オペレーターの安全を確保し、意図したとおりのプロセス機能を実現するべく、外部シールが重要なアプリケーションにおいて、信頼性の高い漏れの無いパフォーマンスを発揮します。 Swagelokベローズ･シール･バルブには、さまざまなタイプや形状があり、一般的な用途から高純度用途に至るまで、幅広いアプリケーションに合わせて製品を選ぶことができます。豊富なオプション［ガスケットでボディとベローズの間をシールまたはボディとベロー...
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ベンチ・トップ式チューブ・ベンダー
頑丈かつ軽量なSwagelokベンチ・トップ式チューブ・ベンダーを使用すると、チューブを一貫してさまざまな形状に曲げることができるため、高い品質基準を維持しながら迅速に取り付けることができます。 Swagelok ® ベンチ・トップ式チューブ・ベンダーを使用すると、さまざまな形状にチューブを容易に曲げることができます。頑丈なアルミニウム製で、耐久性が高く、CEマーキングに適合しています。曲げ範囲は1～180°で、使用可能なチューブ外径サイズは1/4～1 1/4 インチ（肉厚：0.71～3.05 mm）、6～30 mm（肉厚：0.8～3.0 mm）です。同梱のグリース・ガンを使用すると、...
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バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ、LDシリーズ
バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまな用途に対応することができます。 Swagelok ® バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ LDシリーズは、 締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用 に設計されています（最高使用圧力：2.06 MPa）。3枚のダイヤフラムを使用することで優れた強度および柔軟性と長いサイクル･ライフを実現しているほか、耐圧部材はすべて金属にすることで安全性および耐久性を強化しています。 また、接液・接...
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ファスト・ループ・モジュール
Swagelokファスト・ループ・モジュールを、サンプル取出し口から分析器までの距離が長いサンプル移送ラインで使用すると、圧力損失を最小限に抑制してレスポンス・タイム（応答時間）を最短化することができます。ファスト・ループ・サンプリング・システム・ソリューションのインターロック・ハンドルで、操作手順ミスや想定外の作動を防止します。 Swagelokファスト・ループ・モジュール（FLM）を、サンプル取出し口から分析器までの大流量かつ距離が長いサンプル移送ラインで使用すると、オンライン分析器システムの時間遅れを最短化することができます。Swagelok FLMを分析施設に取り付けてバイパスを形成す...