Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.
Запросить информацию о клапанах ALDС момента выхода клапанов ALD на рынок мы тесно сотрудничаем с OEM-изготовителями полупроводникового оборудования, развивая технологии контроля подачи и дозирования прекурсоров. Это помогает заказчикам адаптироваться к инновациям, сокращать сроки разработок и повышать выход годных кристаллов в технологических процессах. Ассортимент клапанов Swagelok® ALD обеспечивает максимальную точность, стабильность, чистоту и ресурс срабатываний, необходимые для надежной работы в сложных технологических процессах.
Качественное регулирование расхода, быстрый отклик и устойчивость к высоким температурам помогают нарастить производство микроэлектроники, сократить циклы R&D и быстрее выводить на рынок новые технологии.
Особенности клапанов Swagelok для ALD-процессов:
- Сверхвысокий ресурс работы и быстрое время отклика
- Коэффициент расхода в диапазоне от 0,27 Cv до 1,7 Сv
- Температурная стойкость до 250 °C (482 °F) для отдельных моделей
- Опция локальной настройки расхода
- Электронные или оптические датчики положения привода
- Исполнение для сверхчистых сред: корпус из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава Alloy 22
- Торцевые соединения: модульный монтаж на поверхность, сварка встык и фитинги VCR®
- Единый корпус либо блочные узлы, изготовленные по аддитивным технологиям (AM)
В какой степени правильный выбор клапана ALD помогает улучшить контроль техпроцесса
ALD（原子層蒸着）用バルブのカテゴリー
Vannes très haute pureté pour applications haut débit, série ALD20
Faites progresser la technologie du dépôt par couche atomique avec des débits 2 à 3 fois plus élevés qu’avec d’autres vannes ALD grâce à la vanne très haute pureté ALD20.
Vannes à membrane très haute pureté, série ALD7A
La vanne à membrane très haute pureté ALD7 Swagelok® offre la précision et la régularité nécessaires pour maximiser la production de puces dans le secteur des semi-conducteurs.
Vannes à membrane très haute pureté, série ALD7C
Swagelok ALD7C ultrahigh-purity diaphragm valves deliver performance, speed, and reliability in the most advanced ALD applications.
超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ
ALD3／ALD6ダイヤフラム・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフおよび高速作動という特徴を備えており、原子層蒸着アプリケーションにおいて高いパフォーマンスを発揮します。
Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Подробные сведения о продукции: материалы изготовления, номинальные параметры давления и температуры, варианты исполнения, вспомогательные принадлежности.
ALD3, ALD6, ALD7A, and ALD7C Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 482°F (250°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Внедрение новых прекурсоров с оптимизированной клапанной арматурой
Полупроводниковые прекурсоры нового поколения создают дополнительные требования к производственным процессам. Оптимизированный дизайн систем и технологии ALD помогают сохранять конкурентное преимущество.
ПодробнееРесурсы Swagelok специально для вас
Оптимизация критически важных процессов для улучшения рентабельности производства микросхем
Модернизация ключевых газовых и жидкостных систем: снижение рисков, контроль затрат и рост эффективности производства.
Инженерная поддержка Swagelok на объекте для эффективного производства микросхем
В условиях расширения и унификации полупроводниковых производств, техническое сопровождение играет ключевую роль в обеспечении высокого качества и надежности.