
Membranventile von Swagelok®
Mit den Membranventilen von Swagelok lässt sich die Systemleistung optimieren und gleichzeitig für eine effektive Absperrung des Durchflusses sorgen, während Einschlussbereiche minimiert und durch einen Fließweg ohne Totzonen die Spülung erleichtert wird. Ausgelegt für die Systemanforderungen von hochreinen und ultrahochreinen Anwendungen zeichnen sich Membranventile durch eine lange Lebensdauer aus und sind in vielen unterschiedlichen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen erhältlich.
Membranventile anzeigenAusgelegt für die Anforderungen von hochreinen und ultrahochreinen Anwendungen sind die Membranventile von Swagelok in unterschiedlichen Größen, Werkstoffen und Konfigurationen und mit Durchflusskoeffizienten von 0,20 bis 13 erhältlich. Dank des Fließwegs ohne Totzonen und der korrosionsbeständigen Konstruktionswerkstoffe sind sie die ideale Wahl für Anwendungen, in denen es auf eine hohe Reinheit ankommt. Anwender können aus einem umfassenden Angebot aus manuellen, pneumatischen und absperrenden Handgriff- und Stellantriebsoptionen wählen.
Die Membranventile von Swagelok eigenen sich für Anwendungen zur Atomlagenabscheidung (ALD), in modularen Gassystemen, zur Wärmeimmersion sowie für ultrahochreine Anwendungen, für die Komponenten aus Fluorpolymer erforderlich sind.
- Die federlosen Membranventile von Swagelok für modulare Gassysteme sind einfach zu installieren, zeigen die Durchflussrichtung visuell an und zeichnen sich durch eine Sitzkonstruktion aus, die die thermische Stabilität verbessert.
- Die Membranventile für Bulkgassysteme von Swagelok halten nicht nur großer Beanspruchung stand, sondern zeichnen sich außerdem durch ein hohes Maß an Flexibilität und eine lange Lebensdauer für die sichere Absperrung, Gasverteilung und Isolierung in ultrahochreinen Anwendungen aus.
- Die Membranventile zur Wärmeimmersion von Swagelok können in hochreinen Umgebungen bei hohen Temperaturen eingesetzt werden und sind daher eine ausgezeichnete Wahl für Anwendungen zur Atomlagenabscheidung (ALD) und entsprechend vorgelagerte Prozesse.
- Die ultrahochreinen Fluorpolymer-Membranventile der Serie DRP von Swagelok sind eine robuste Lösung für Systeme zur Verteilung von ultrahochreinen Chemikalien, deionisiertem Wasser (VE-Wasser) und großen Chemikalienmengen.
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UHP 개폐용 다이어프램 밸브, DP 시리즈
직선형 패턴 및 수동 작동, 통합형 액추에이터가 있는 멀티포트 및 모듈 조립형(MSM)의 초고순도 차단 다이어프램 밸브를 알아보십시오.

UHP 대유량 다이어프램 밸브, DF 시리즈
스프링 없는 대유량 다이어프램 밸브로 사이클 수명을 늘려보십시오. 스프링이나 나사가 없으므로 청정도가 개선되며, 유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 퍼지 성능이 강화됩니다.

UHP 플루오르수지 다이어프램 밸브, DRP 시리즈
유체가 잔류하지 않는 매끄러운 유로로 응력과 유체 오염을 최소화하여 UHP 케미컬 시스템에서 최적의 성능과 긴 수명을 보장할 수 있습니다.

고순도 고압 다이어프램 밸브, DL 및 DS 시리즈
완전 밀폐 소프트시트 스템 팁, 표준 하단, 판넬 마운팅으로 반복적 차단이 가능한 고순도, 고압 다이어프램 밸브를 알아보십시오.

고온(Thermal-Immersion) 다이어프램 밸브, DH 시리즈
고온 봉입(Thermal-immersion) 다이어프램 밸브는 원자층 증착(ALD) 및 프리커서 공급 애플리케이션과 같은 고온 프로세스에 사용됩니다.

모듈형 가스 시스템용 스프링 없는 다이어프램 밸브, 1.125인치, DE 시리즈
스프링 없는 구조의 신뢰성 높고 강화된 제어 밸브는 모듈형 가스 시스템에서 효율적으로 작동하는 데 적합합니다.

벌크 가스 다이어프램 밸브, LD 시리즈
대유량 애플리케이션 벌크 가스 분배 다이어프램은 초고순도 차단, 벌크 가스 분배, 차단 애플리케이션 요구 조건을 충족하도록 설계되었습니다.
Membranventile—Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
DRP 시리즈 공기작동식 및 1/4 회전 수동식 2-방향 및 3-방향 모델; 공기 작동식 및 유량 조절과 바이패스가 가능한 수동식 모델 유체가 접촉되는 부위는 DuPont® Teflon® 개선된 PTFE 및 폴리프로필렌 개폐기 초고순도 시스템 부품에 적용되는 SEMI 표준 F57-0301 준수 확관형 및 Nippon Pillar® Super 300 연결구가 기본형; Flowell, space saver 및 기타 연결구 제공 가능 주문자 요청에 의한 매니폴드 및 부분 조립품 제공 가능
DL 및 DS 시리즈 패킹이 없는 금속 밀폐구조 용 압력 범위: 진공 ~ 3500 psig (241 bar) 온도 범위: –73 ~ 121°C (–100 ~ 250°F)
DP 시리즈 초고순도 사양에 적합 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체 저압용 및 고압용 모델 VCR®, 튜브 맞대기 용점 및 블럭 조립식 연결구 수동식 또는 공기작동식 개폐기
LD 시리즈 최대 사용 압력 300 psig (20.6 bar) 일반 차단 기능, 벌크 가스 분배 및 차단 서비스 주조, 단조 및 바 스톡 스텐레스강 몸체 재질 1/4 ~ 1 in. 및 12 ~ 25 mm 연결구
DF 시리즈 316L VAR 스텐레스강 몸체; 최대 사용 압력: 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8 및 1/2 in. 그리고 10 및 12 mm 연결구

Berechnung der Durchflussmenge für die Ventilauswahl
Mit unserem Cv-Rechner finden Sie die richtige Ventilgröße für Ihre Anforderungen.
Cv-Rechner nutzenRessourcenzentrum

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하나의 새로운 밸브 반도체 제조를 바꿀 수 있었던 세 가지 이유
최근의 원자층 증착(atomic layer deposition, ALD) 밸브 기술 혁신이 하이테크 반도체 제조업체의 판도를 어떻게 바꾸고 있는지 알아보십시오.
다이어프램 밸브
당사 다이어프램 밸브의 유량 계수는 0.20 ~ 13이며 사용 압력은 최대 3500psig(241bar)로 고순도 및 초고순도(UHP) 애플리케이션의 요구를 충족하는 다양한 크기, 재질 및 구성으로 설계되었습니다.
다이어프램 밸브는 시스템을 위한 효과적인 차단을 제공하며 긴 수명을 가집니다. 스웨즈락’다이어프램 밸브에는 원자층 증착(ALD), 대유량을 위한 스프링리스, 고성능 및 모듈 조립식 가스 시스템, 고온용, 초고순도 불소수지 등이 포함됩니다. 수동, 공압 및 잠금 기능의 개폐기 옵션이 있습니다.