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Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серии ALD3 и ALD6

Мембранные клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (серии ALD3 и ALD6)

Мембранные клапаны Swagelok серий ALD3 и ALD6 используются в производстве полупроводников для контролируемого дозирования в методе атомно-слоевого осаждения (ALD). Устройства отличаются чрезвычайно долгим сроком службы, скоростью срабатывания и коэффициентом расхода вплоть до 0,62.

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Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズを使用すると、半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3/ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特徴としており、超高純度アプリケーションに適しています。

ALD3/ALD6シリーズ・バルブのダイヤフラムはコバルト基超合金製で、強度および耐食性に優れています。バルブ・ボディは316L VIM-VARステンレス鋼製で、超高純度アプリケーションに適しています。バルブ・シートは完全フッ素結合させた高純度PFA製で、幅広い耐薬品性を備えており、膨潤およびコンタミネーションに対する耐性に優れています。ALD3/ALD6シリーズ・バルブには、ノーマル・クローズ型およびノーマル・オープン型のエアー・アクチュエーターを取り付けることができ、さまざまな取り付け要件に合わせて多種多様な形状を選ぶことができます。

ALDバルブで半導体製造を改善する方法を見る

仕様

使用圧力範囲真空~1.00 MPa
破裂時>22.0 MPa
作動圧力範囲0.35~0.62 MPa
使用温度範囲0°~200°C
流量係数(Cv値)0.27または0.62
ボディ材質316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質コバルト基超合金
エンド・コネクション・タイプ(サイズ)めすVCR®面シール継手(1/4~1/2 インチ)、おすVCR面シール継手(1/4~1/2 インチ)、集積モデル大流量用Cシール(1.125~1.5 インチ)

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ALD3/ALD6シリーズ・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

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