Swagelok^® 원자층 가공용 초고순도 다이어프램 밸브(ALD7 시리즈)

Swagelok ALD7 초고순도 밸브는 신규 또는 기존 반도체 제조 장비의 칩 생산량을 극대화하는 데 필요한 유량 일관성과 용량, 액추에이터 속도, 온도 등급, 청정도를 제공합니다.

Swagelok^® ALD7 원자층 증착용(ALD) 초고순도 다이어프램 밸브는 반도체 장비 생산업체 및 칩 제조업체가 생산 공정의 한계를 극복하는 데 필요한 유량 일관성 및 용량, 액추에이터 속도, 고온 성능을 지원함으로써 실현 가능한 칩 수율을 올리고 수익성을 높일 수 있도록 합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명 동안 밸브 간, 투입량 간, 챔버 간에 일관적인 성능을 제공합니다.

Swagelok ALD7 밸브의 특징:

가장 까다로운 애플리케이션에서도 수백만 회의 사이클 동안 신속하고 정밀한 투입량을 제공하며, 응답 시간이 최단 5 ms인 강화 액추에이터 기술이 적용되었습니다
밸브 몸체가 독점 기술인 Swagelok 316L VIM-VAR 스테인리스강으로 구성되어 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어납니다
최대 200°C까지 가열해도 공압 액추에이터를 최대 사용 온도인 150°C 미만으로 유지할 수 있습니다
최고 0.7의 유량 계수(C_v)를 제공합니다(0.5~0.7 C_v의 유량 계수를 제공하는 옵션 맞춤형(출고 시 설정) 버전 공급 가능)
Swagelok 산업 표준 ALD 밸브와 같은 점유 공간을 유지하며 반응 챔버 근처의 제한적인 공간을 최대한 활용하는 일체형 단열재가 적용되어 있습니다

ALD7 밸브의 클로즈업 보기

ALD7 밸브 사양

사용 압력	진공~145 psig(10.0 bar)
파열 압력	>3200 psig(220 bar)
작동 압력	60~120 psig(4.1~8.27 bar)
온도 등급	표준 밸브 몸체: 0°C(32°F)~200°C(392°F)
유량 계수	표준 0.7 C_v(출고 시 설정)
몸체 재질	316L VIM-VAR 스테인리스강
다이어프램 재질	코발트 초합금
연결구	종류: VCR^® 피팅, 튜브 맞대기 용접, 1.5인치 모듈 조립형 대유량 C-씰

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ALD7 시리즈 밸브 카탈로그

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Мембранные клапаны для напыления с точностью до атомного слоя ALD

Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.

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