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Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series

Swagelok® Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves for Atomic Layer Processing (ALD7 Series)

The Swagelok ALD7 ultrahigh-purity valve provides the flow consistency and capacity, actuator speed, temperature rating, and cleanliness necessary to help maximize chip throughput in new or existing semiconductor manufacturing tools.

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原子層蒸着(ALD)向けのSwagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7シリーズを使用すると、半導体製造装置メーカー やデバイス・メーカーは、製造工程の限界を克服するのに必要な一貫した流量、大流量、開閉スピード、高温性能を実現し、デバイスの歩留まりを向上させ、収益性を高めることができます。非常に優れたサイクル・ライフで、バルブ間、プリカーサーの供給間、チャンバー間で一貫したパフォーマンスを発揮します。

ALD7シリーズ・バルブの特徴:

  • 非常に過酷なアプリケーションにおいても、数百万サイクルにわたる迅速かつ正確な供給を実現し、応答時間が最速で5msと優れたアクチュエーター・テクノロジーを採用
  • バルブ・ボディ材質は、スウェージロック独自の超高純度用316L VIM-VARステンレス鋼で、腐食性ガスに対する耐性に優れる
  • アクチュエーター部は最高使用温度150°Cに対応し、バルブは最高200°Cまで使用可能
  • 最大0.7の流量係数(Cv値)を実現[カスタム(工場設定)バージョン(オプション)の場合、流量係数は0.5~0.7 Cv
  • スウェージロックの業界標準ALDバルブと同じフットプリントながら、断熱機能を内蔵したことで反応チャンバー近くの限られたスペースを最大限に活用することが可能

ALD7シリーズ・バルブの詳細を見る

仕様

使用圧力範囲真空~1.0 MPa
破裂時>22.0 MPa
操作時0.41~0.83 MPa
使用温度範囲標準のバルブ・ボディ:0~200°C
流量係数(Cv値)0.7(標準、工場設定)
ボディ材質316L VIM-VARステンレス鋼
ダイヤフラム材質コバルト基超合金
エンド・コネクション・タイプVCR®面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル大流量用Cシール(1.5 インチ)

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Каталоги клапанов серии ALD7

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Клапаны и клапанные блоки ALD

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