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대유량 애플리케이션용 UHP 밸브, ALD20 시리즈
Swagelok ALD20 초고순도 밸브는 낮은 증기 압력 프리커서 가스가 필요한 원자층 증착(ALD) 공정에 이상적인 대유량 성능을 제공합니다. 대유량 Swagelok ® ALD20 초고순도 밸브는 Swagelok ® ALD 밸브에서 기대할 수 있는 신뢰성과 성능을 제공하는 동시에, 이전에 달성할 수 없었던 온도 안정성과 유량 가능성을 지원합니다. 따라서, 제조업체는 다양한 공정과 저증기압 화학 기술을 실험하면서 공정을 크게 변경하지 않고도 첨단 기술을 개발하는 데 필요한 균일한 가스 증착을 달성할 수 있습니다. S...
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UHP 다이어프램 밸브, ALD3 및 ALD6 시리즈
Swagelok ALD3 및 ALD6 시리즈 다이어프램 밸브는 반도체 제조 장비에 사용되어 원자층 증착(ALD) 가공에 필요한 투입량 제어 기능을 제공합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 최고 0.62의 유량 계수를 제공합니다. 초고순도 Swagelok ® ALD3 및 Swagelok ® ALD6 다이어프램 밸브는 반도체 제조업체 에 증착 챔버에서 적층(LBL, layer by layer)으로 마이크로칩을 만드는 데 사용되는 프리커서 가스의 신뢰성 높은 고속 투입 기능을 제공하도록 설계되었습니다....
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UHP 다이어프램 밸브, ALD7 시리즈
Swagelok ALD7 초고순도 밸브는 신규 또는 기존 반도체 제조 장비의 칩 생산량을 극대화하는 데 필요한 유량 일관성과 용량, 액추에이터 속도, 온도 등급, 청정도를 제공합니다. Swagelok ® ALD7 원자층 증착용(ALD) 초고순도 다이어프램 밸브는 반도체 장비 생산업체 및 칩 제조업체가 생산 공정의 한계를 극복하는 데 필요한 유량 일관성 및 용량, 액추에이터 속도, 고온 성능을 지원함으로써 실현 가능한 칩 수율을 올리고 수익성을 높일 수 있도록 합니다. 이 제품은 극도로 높은 사이클 수명 동안 밸브 간, 투입량...
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원자층 증착(ALD)용 밸브
Swagelok 초고순도 원자층 증착(ALD) 밸브는 첨단 반도체 제조 애플리케이션에서 정밀한 투입량을 보장하고 칩 수율을 극대화하는 데 필요한 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 유량, 고온 봉입성(thermal immersibility), 극한의 청정도를 제공합니다. Swagelok은 세계에 ALD 밸브 를 선보인 이래로, 반도체 도구 장비사 및 제조업체와 면밀한 협력을 통해 시장의 빠른 혁신 속도에 대응하는 데 필요한 극한 수준의 정밀도, 일관성, 청정도, 높은 사이클 수명을 제공하는 첨단 ALD 밸브 기술을 공급하고 있습...
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벌크 가스 다이어프램 밸브, LD 시리즈
Swagelok LD 시리즈 벌크 가스 다이어프램 밸브는 광범위한 초고순도 차단, 벌크 가스 분배, 차단 애플리케이션을 지원하는 데 필요한 강도, 유연성, 사이클 수명의 조합을 제공합니다. Swagelok ® LD 시리즈 벌크 가스 다이어프램 밸브는 최대 300 psig(20.6 bar)의 사용 압력에서 차단, 벌크 가스 분배, 차단 서비스 를 제공하도록 설계되었습니다. 개별 다이어프램 세 개로 강도, 유연성, 사이클 수명의 이상적인 조합을 제공하는 동시에, 전체 금속 구조로 안전성과 내구성이 강화되었습니다. Swagelok...
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캘리브레이션 & 전환 모듈
캘리브레이션 및 방향 전환 모듈은 모듈형 플랫폼 부품으로 제작된 고도로 구성 가능한 사전 설계된 서브시스템입니다. 이 제품은 분석 전 샘플의 최종 컨디셔닝을 실행하며, 사용자가 Swagelok 스트림 셀렉터 시스템을 사용하여 최대 10개의 샘플과 두 가지 캘리브레이션 스트림을 선택할 수 있도록 합니다. Swagelok 캘리브레이션 및 방향 전환 모듈( CSM )은 다양한 공정 샘플 사이의 개별적인 방향 전환 기능과, 분석용 공정 스트림을 컨디셔닝하고 선택하는 기능을 제공합니다. CSM은 적절한 압력, 온도, 유량, 여과 수준에서 샘...
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체크 밸브
Swagelok 인라인 체크 밸브는 일반 용도 및 고순도 애플리케이션에서 역류를 제어하는 제품이며 조절 가능하거나 고정된 크래킹 압력 범위로 공급됩니다. 초과 유량 차단 밸브는 바이패스 메커니즘의 필요성을 없앰으로써 시스템의 무결성과 안전성을 높여줍니다. 체크 밸브 | 한 방향으로 유체 유동을 제어하도록 설계됩니다 초과 유량 차단 밸브 | 다운스트림으로 초과 유량이 방출되는 것을 막습니다 Swagelok ® 체크 밸브는 유체의 한 방향 유동만 허용하도록 설계되었습니다. Swagelok 체크 밸브는 일반 서비스에 사용되는 포펫...
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컴팩트 게이지 밸브
컴팩트 게이지 밸브는 가벼운 패키지와 컴팩트한 점유 공간에서 빠르고 편리한 게이지 설치 및 유지보수를 지원합니다. Swagelok 컴팩트 게이지 밸브는 게이지 차단 및 벤트를 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 스테인리스강 Swagelok 1 시리즈 니들 밸브 (판넬 너트 제외) 및 일체형 스테인리스강 Swagelok 퍼지 밸브 로 구성됩니다. 튜브 어댑터 및 연결구를 포함하여 Swagelok 압력 게이지 와 함께 사용하도록 설계된 Swagelok 컴팩트 게이지 밸브는 손쉬운 다이얼 정렬을 지원하며 게이지 설치 시간과 비용을 줄여...
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콘 & 쓰레드 피팅
Swagelok ® IPT 시리즈 콘 & 쓰레드 피팅은 여러 가지 합금으로 제조되며, 다양한 최종 사용 환경과 최대 60,000 psig(4134 bar)의 중압 및 고압 애플리케이션에서 신뢰성 높은 성능을 제공합니다. 콘 & 쓰레드(C&T) 연결구는 오랜 기간 믿을 수 있는 중압 및 고압 성능을 제공하는 것으로 신뢰 받아 왔습니다. Swagelok IPT 시리즈 콘 & 쓰레드 피팅은 316 스테인리스강, 625 합금, 2507 합금 재질에 1/4인치에서 1 1/2인치 크기로 공급 가능합니다. 또...
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다이어프램 밸브
Swagelok 다이어프램 밸브는 잔류 공간을 최소화하고 퍼지 작용을 촉진하는 유체가 잔류하지 않는 유로가 적용되어 효율적인 유동 차단 기능을 제공하는 동시에 시스템 효율을 개선합니다. 이 제품은 긴 사이클 수명을 제공하며 고순도 및 초고순도(UHP) 애플리케이션의 시스템 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 크기, 재질, 구성으로 공급 가능합니다. Swagelok 다이어프램 밸브는 고순도 및 UHP 애플리케이션의 요구를 충족하는 다양한 크기, 재질, 구성으로 공급됩니다. 또한 0.20~13 범위의 유량 계수로 제공됩니다. 이 제품은...