Swagelok® Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves for Atomic Layer Processing (ALD3 and ALD6 Series)
Swagelok ALD3 and ALD6 series diaphragm valves are used in semiconductor manufacturing tools to achieve the controlled dosing necessary for atomic layer deposition (ALD) processing. They offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and flow coefficients up to 0.62.
Request ALD Valve InformationКонструкция мембранных клапанов Swagelok® серий ALD3 и Swagelok® серий ALD6 сверхвысокой степени чистоты дает возможность производителям полупроводников выполнять стабильное, высокоскоростное дозирование газовых прекурсоров, необходимое для послойного наращивания микросхем в камерах осаждения. Такие клапаны отличаются сверхвысоким ресурсом цикла, работой с полным погружением на повышенных температурах, и пригодностью к использованию в сверхчистых системах.
Мембраны в сериях ALD3 и ALD6 изготовлены из специального сплава на основе кобальта, обеспечивающего прочность и коррозионную стойкость. Корпуса клапанов выполнены из нержавеющей стали 316L VIM-VAR, что позволяет использовать их в системах сверхвысокой степени чистоты. Седла изготовлены из фторированного высокочистого PFA для обеспечения широкого диапазона химической совместимости и устойчивости к вздутию и загрязнению. Клапаны можно настроены в нормально закрытый или нормально открытый пневматический режим. Для удовлетворения требований к установке доступны различные конфигурации.
Каким образом клапаны ALD улучшают производство полупроводников
Технические характеристики клапанов ALD3 и ALD6
| Рабочее давление | От вакуума до 145 psig (10,0 бар ман) |
| Давление разрыва | > 3200 psig (220 бар ман) |
| Давление срабатывания | 50–90 psig (3,5–6,2 бар ман) |
| Температура | 32–392°F (0–200°C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 0,27 или 0,62 |
| Материалы корпуса | Нерж. сталь 316L VIM-VAR |
| Материал мембраны | Специальный сплав на основе кобальта |
| Торцевые соединения | Тип (размер): Фитинг с торцевым уплотнением VCR® с внутренней резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма), фитинг с торцевым уплотнением VCR с наружной резьбой (от 1/4 до 1/2 дюйма), Модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход, C-образное уплотнение (от 1,125 до 1,5 дюйма) |
Есть вопросы о клапанах ALD?
Каталоги клапанов серий ALD3 и ALD6
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Узнайте о подборе материаловSwagelok-Ressourcen für Sie zusammengestellt
Kleines Ventil mit großer Wirkung: Warum ein neues Ventil die Halbleiterproduktion verändern könnte
Erfahren Sie mehr darüber, wie die neueste Innovation in der ALD-Ventiltechnologie neue Möglichkeiten für Hersteller modernster Halbleiter schafft.
Q&R : le passé, le présent et l’avenir de la fabrication des semi-conducteurs
Découvrez comment la collaboration entre des équipementiers du secteur des semi-conducteurs, des fabricants de puces et des fournisseurs de solutions pour systèmes fluides a permis au marché de tenir le rythme imposé par la loi de Moore pendant des décennies, et ce que nous réserve l’avenir.
광섬유 장비 제조업체가 맞춤형 솔루션으로 효율을 높인 사례
로젠달 넥스트롬(Rosendahl Nextrom)은 1980년대부터 Swagelok에 의존하여 사업을 확장해왔습니다. 이 회사가 경쟁업체보다 앞서며 업계 리더 지위를 유지하도록 해준 솔루션에 대해 자세히 알아보십시오.
첨단 과학 분야에 필요한 신뢰성 높은 유체 시스템 솔루션
핀란드의 희석 냉동기 제조업체인 블루포스(Bluefors)가 양자 컴퓨팅과 실험물리학 등을 구현하는 데 Swagelok의 유체 시스템 부품과 솔루션을 신뢰하는 이유를 소개합니다.