用于原子层沉积工艺的世伟洛克®超高纯隔膜阀（ALD3 和 ALD6 系列）
世伟洛克 ALD3 和 ALD6 系列隔膜阀用于半导体制造设备，以实现原子层沉积 (ALD) 处理所需的可控计量。它们具有超高循环寿命、快速驱动和高达 0.62 的流量系数。
索取 ALD 阀门信息超高纯世伟洛克® ALD3 和世伟洛克® ALD6 隔膜阀旨在为半导体制造商提供可靠、快速的前驱体定量，用于在沉积腔室中逐层搭建微芯片。这些高性能超高纯阀门具有超高的循环寿命、高温下的完全浸入性以及超高纯应用的适用性。
ALD3 和 ALD6 阀门使用的隔膜由钴基超级合金材料组成，具有高强度和耐腐蚀性。其阀体采用 316L VIM-VAR 不锈钢，因此适用于超高纯应用。阀座由氟化高纯度 PFA 制成，具有广泛的化学相容性以及抗膨胀和抗污染能力。这些阀门可配备常闭和常开气动执行，并有多种配置可供选择，以满足不同的安装要求。
ALD3 和 ALD6 阀门规格
| 工作压力 | 真空至 145 psig (10.0 bar) |
| 爆破压力 | >3200 psig (220 bar) |
| 执行压力 | 50 至 90 psig（3.5 至 6.2 bar） |
| 温度 | 32° 至 392°F（0° 至 200°C） |
| 流量系数 (Cv) | 0.27 或 0.62 |
| 阀体材料 | 316L VIM-VAR 不锈钢 |
| 隔膜材料 | 钴基超级合金 |
| 端接 | 类型（尺寸）：内螺纹 VCR® 面密封接头（1/4 in. 至 1/2 in.），外螺纹 VCR 面密封接头（1/4 in. 至 1/2 in.），模块化表面安装高流量 C 型密封（1.125 in. 至 1.5 in.） |
是否对 ALD 阀门有任何疑问？
ALD3 and ALD6 系列阀门目录
查找详细的产品信息，包括结构材料、额定压力和温度、选购件及配件。
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手
世伟洛克为您精心准备的产品、服务和解决方案
Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений
С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей
Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.