Swagelok^® 원자층 증착(ALD) 밸브

Swagelok 초고순도 원자층 증착(ALD) 밸브는 첨단 반도체 제조 애플리케이션에서 정밀한 투여량을 보장하는 데 필요한 극도로 높은 사이클 수명, 고속 작동, 유량, 고온 봉입성(thermal immersibility), 극한의 정정도를 제공합니다.

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Swagelok 고성능 ALD 밸브는 Swagelok이 어떻게 반도체 제조 산업 분야에서 오랜 기간 민감한 기술 리더십을 유지해왔는지 보여주는 핵심적인 사례입니다. Swagelok은 세계에 ALD 밸브 기술을 선보인 이래로, 반도체 업계 고객들과 면밀한 협력을 통해 고객의 요구 사항을 파악하고, 시장의 빠른 혁신 속도에 대응하는 데 필요한 극한 수준의 정밀도, 일관성, 청정도, 높은 사이클 수명을 제공하는 ALD 밸브를 개발했습니다. Swagelok ALD 초고순도 밸브의 특징:

고속 작동과 극도로 높은 사이클 수명
0.27~1.7의 C_v 범위
지정 모델의 경우 최고 200°C(392°F)의 온도 기능
전자식 또는 광학식 액추에이터 위치 감지 옵션
초고순도 애플리케이션에 적합한 316L VIM-VAR 스테인리스강 몸체
모듈 조립형, 튜브 맞대기 용접, VCR^® 연결구

원자층 증착(ALD) 밸브 카탈로그

구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.

Мембранные клапаны для напыления с точностью до атомного слоя ALD

Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.

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