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ダイヤフラム・バルブ

Swagelok®ダイヤフラム・バルブ

ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着(ALD)用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。

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Swagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.

Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.

  • Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
  • Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
  • Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
  • Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems

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カテゴリー

スペアー・パーツ/アクセサリー

スペアー・パーツ/アクセサリー

ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品/アクセサリー(ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど)を幅広く取り揃えています。

マルチ・バルブ・マニホールド

マルチ・バルブ・マニホールド

ダイヤフラム・バルブを使用したマルチバルブ・マニホールドは、信頼性の高いパフォーマンスを発揮し、高純度かつ精密な流体制御を実現します。

大宗气体隔膜阀,LD 系列

大宗气体隔膜阀,LD 系列

大流量应用大宗气体分配隔膜阀,专为满足超高纯关断、大宗气体分配和隔离应用需求而设计。

模块化气体系统用无弹簧隔膜阀,1.125 in,DE 系列

模块化气体系统用无弹簧隔膜阀,1.125 in,DE 系列

可靠的增强型控制阀采用无弹簧设计,是模块化气体系统高效运行的理想之选。

热浸没型隔膜阀,DH 系列

热浸没型隔膜阀,DH 系列

热浸式隔膜阀用于高温工艺,如原子层沉积 (ALD) 和前驱体输送应用。

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ

查看超高纯关断隔膜阀,可配备直通型、手动执行、多孔口和集成执行机构的模块化表面安装 (MSM)。

超高纯度含氟聚合隔膜阀,DRP 系列

超高纯度含氟聚合隔膜阀,DRP 系列

使用全扫流道可尽可能地减少应力和流体污染,从而确保在 UHP 化学系统中的优良性能和使用寿命。

超高纯度高压隔膜阀,DPH 系列

超高纯度高压隔膜阀,DPH 系列

超高纯、高压隔膜阀提供各种尺寸、材料和配置,适用于各种应用。

超高纯度高流量隔膜阀,DF 系列

超高纯度高流量隔膜阀,DF 系列

使用大流量、无弹簧隔膜阀延长循环寿命。无弹簧或螺纹提高了清洁度,全扫流道增强了吹扫效果。

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブ、DL/DSシリーズ

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブ、DL/DSシリーズ

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブは、ステムの先端がソフト・シート(プラスチック製)の変形を最小限に抑えるよう設計されており、繰り返し締め切ることが可能です。底部取り付けまたはパネル取り付けを選ぶことができます。

ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

バルブの流量係数(C<sub>v</sub>値)計算ツール

適切なバルブの選定がすべてを左右する

流量係数(Cv値)計算ツールを使用することで、ニーズに適したサイズのバルブを選定することができます。

ツールを使用する

スウェージロックのリソース

流体サンプリング・システムに適したバルブの選定
産業用流体システムに適したバルブを選定する方法

産業用流体システムやサンプリング・システムの設計アプリケーションに適したバルブを選定するためのSTAMPEDメソッドの適用方法を紹介します。

化学/石油精製業界におけるフュージティブ・エミッション(排出物の漏れ)を低減する
低排出認証付きバルブを使用して、フュージティブ・エミッション(排出物の漏れ)に伴うコストを最小限に抑える

化学/石油精製業界では、フュージティブ・エミッションに関する懸念が高まっています。低排出認証付きバルブを使用することで、施設と収益を保護することができます。今回は、低排出認証付きバルブとは何か、どのように試験を行っているか、そして低排出認証付きバルブを使用するとどのようなメリットが得られるかを紹介します。

一般産業用流体システムにおけるブロック・バルブ
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一般産業用流体システムのメンテナンスを行う際は、プラントの安全を確保するため、事前にラインを遮断する必要があります。流体システム・ラインを安全に遮断できる方法のひとつは、2個のブロック・バルブを並べて取り付ける方法です。今回は、システムに最適な構成を設計する方法を紹介します。

半導体業界向けの超高純度用(UHP)ALD20バルブのクリーンルームでの組み立て
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今回は、原子層蒸着(ALD)バルブの最新テクノロジーが、ハイテク半導体メーカーにもたらす影響について紹介します。

スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ

ダイヤフラム・バルブ

Swagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状が揃っており、高純度用途/超高純度(UHP)用途でのニーズを満たします。流量係数(Cv値)は0.20~13で、最高使用圧力は24.1 MPaです。

ダイヤフラム・バルブは、システムの流れを効果的に締め切り、長期にわたるサイクル・ライフを実現します。スウェージロックは、原子層蒸着(ALD)用バルブ、大流量用スプリングレス・バルブ、高性能バルブ、集積化ガス・システム、サーマル・イマージョン・バルブ、超高純度用フルオロポリマー・バルブなどのダイヤフラム・バルブを取り揃えています。アクチュエーター・タイプは、手動式や空気作動式、ロッキング・ハンドルなどから選ぶことができます。

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