Swagelok®ダイヤフラム・バルブ
Swagelokダイヤフラム・バルブを使用すると、効率的に流れを締め切りながら、システム効率を向上させることができます。流路から障害物を一掃したデザインを採用しているため、たまり部分を最小限に抑えると同時にパージを促進することができます。長いサイクル・ライフを実現すると共に、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのシステム要件に適合します。
ダイヤフラム・バルブを見るSwagelokダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができるため、高純度および超高純度（UHP）アプリケーションのニーズに適合します。流量係数（Cv値）は0.20～13です。流路から障害物を一掃したデザインおよび耐食性に優れた構造を採用しているため、清浄度が重要なアプリケーションに適しています。アクチュエーターは手動式、空気式、ロッキング・ハンドルから選ぶことができます。
ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着（ALD）用、大流量用、集積化ガス・システム用、サーマル・イマージョン用やフルオロポリマー製があり、超高純度のさまざまなアプリケーションに適しています。
- Swagelokスプリングレス・ダイヤフラム・バルブ（ 集積化ガス・システム 用）は取り付けが容易で、流れの方向を一目で確認することができます。熱安定性を向上させるシート設計を採用しています。
- Swagelokダイヤフラム・バルブ（バルク・ガス供給用）は、優れた強度および柔軟性、長いサイクル・ライフを兼ね備えており、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなアプリケーションに対応することができます。
- Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、高温／高純度環境において完全に封止することができるため、原子層蒸着（ALD） やプリカーサー供給アプリケーションに適しています。
- Swagelok超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、超高純度の薬液供給システム、超純水システム、薬液のバルク供給システムに対して強力なソリューションを提供します。
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Категории клапанов с мембранным уплотнением
Беспружинные мембранные клапаны для модульных газовых систем, 1,125 дюйма, серия DE
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Высокотемпературные погружные мембранные клапаны, серия DH
Для применения в высокотемпературной среде, например в системах с атомно-слоевым осаждением (ALD) и системах доставки прекурсоров используются высокотемпературные погружные мембранные клапаны.
Запасные части и вспомогательное оборудование
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Запорные мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия DP
Подробнее о запорных мембранных клапаны сверхвысокой степени чистоты с прямой конфигурацией и ручным управлением, многоходовые и модульные для монтажа на поверхность (MSM) со встроенными приводами.
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Мембранные клапаны для большого объема газа, серия LD
Предлагаются мембраны для распределения и отсечения газов в больших объемах и с высоким расходом в системах сверхвысокой степени чистоты.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты для высокого расхода, серия DF
Увеличьте циклический срок службы с помощью беспружинных мембранных клапанов для интенсивного расхода. Отсутствие пружин и резьбы повышает необходимую чистоту, а беспрепятственная проточная часть улучшает качество продувки.
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты и высокого давления, серия DPH
Мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты и высокого давления выпускаются в различных размерах, материалах и конфигурациях для широкого применения.
Многоклапанные блоки
Узнайте больше о многоклапанных блоках с клапанами на мембранном уплотнении. Разработанные для надежной работы блоки обеспечивают высокую чистоту и точный контроль рабочих сред.
Фторполимерные мембранные клапаны сверхвысокой степени чистоты, серия DRP
Обеспечьте оптимальную производительность и долговечность сверхчистых (UHP) химических систем за счет беспрепятственного пути прохождения потока, чтобы свести к минимуму загрязнение флюидов.
ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
■ パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属／■ 使用圧力範囲：真空から24.1 MPaまで／■ 使用温度範囲：273℃から121℃まで
■ 超高純度用／■ ボディ材質：316L VIM-VAR ステンレス鋼／■ モデル：低圧型、高圧型／■ エンド・コネクション・タイプ：VCR® メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル／■ アクチュエーター・タイプ：手動式、空気式
■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ 用途：締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用／■ ボディ材質：ステンレス鋼（鋳造製／鍛造製／バー・ストック製）／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチから1 インチまで、12 mmから25 mmまで
■ ボディ材質：316L VAR ステンレス鋼／■ 最高使用圧力：2.06 MPa／■ エンド・コネクション・サイズ：1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、10 mm、12 mm
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