
Swagelok®超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)(CHPシリーズ)
超高純度用Swagelokフルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー) CHPシリーズは、低いクラッキング圧力および再シール圧力を特徴としており、接液・接ガス部コンポーネントは超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI規格F57-0301に適合しています。
詳細について問い合わせる超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー) CHPシリーズは流れを最大限化し、 かつ差圧を低減するデザインを採用しています。たまり部分を排除し、熱サイクル時にも漏れの無い優れたシール性能を発揮します。
- ポペットにはOリングを使用していないため、優れた清浄度を維持します。曲線部がなだらかなため乱流を低減し、圧力損失を最小限に抑制します。
- 突起部とみぞ部が噛み合って外部シールを形成します。熱サイクルや高圧アプリケーションにおいても、漏れの無い優れたシール性能を発揮します。
- スプリングには非汚染性PFA材質を使用しており、バルブはどの向きにでも取り付けることができます。確実なストッパーで圧縮によるスプリングの硬化を防止するほか、スプリング・コイル周辺の流れをスムーズにし、たまりを低減します。
- ボディ・サイズが中(Mサイズ)の場合は、リテイナーが流れを最大限化し、かつ差圧を低減します。ボディ・サイズが小(Sサイズ)の場合は、リテイナーのオープン・ケージが確実なポペットの位置合わせと、たまり部分の排除を同時に実現します。
このバルブはどの方向にでも取り付けることができます。エンド・コレクションは、フレアー継手およびスーパー300 タイプピラーフィッティング®です。
仕様
最高使用圧力 | 0.55 MPa |
流体温度 | 10~85°C |
ボディ材質 | |
小(Sサイズ) | 次世代PTFE |
中(Mサイズ) | PFA |
クラッキング圧力範囲 | |
小(Sサイズ) | 0.011 MPa未満 |
中(Mサイズ) | 0.007 MPa未満 |
再シール圧力 | 0.004 MPaまで |
流量係数(Cv値) | 最大4.1 |
エンド・コネクション | |
タイプ | フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング® |
サイズ | 小(Sサイズ):1/4 インチ、3/8 インチ、6 mm、10 mm 中(Mサイズ):1/2インチ、3/4インチ |
超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)(CHPシリーズ)のカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
■ 次世代PTFE製接液・接ガス部コンポーネント:超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301 に適合/■ エンド・コネクション:フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング/■ 低いクラッキング圧力および再シール圧力

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