超高純度用Swagelok®フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ（DRPシリーズ）
ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着（ALD）用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。
資料を請求するDRPシリーズ・バルブは、ダイヤフラムのデザインを最適化したことで、開閉時の応力、たまり部分、プロセス流体のコンタミネーション・リスクを最小限に抑えると同時に、ダイヤフラムの耐久性もアップしています。次世代PTFE製ボディは、流路から障害物を完全に一掃しているため、確実にクリーニングができ、流体のせん断を最小限に抑えます。
DRPシリーズ・バルブは、SEMI F57-0301に適合しています。
仕様
| 最高使用圧力 | 0.68 MPa |
| 流体温度範囲 | 23°～100°C |
| 流量係数（Cv値） | 最大10.2 |
| ボディ／ダイヤフラム材質 | 次世代PTFE |
| エンド・コネクション | |
| タイプ | フレアー継手（標準） |
| サイズ | 1/4～1 1/4 インチ、6～25 mm |
| 種類 | 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー） |
DRPシリーズ超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。
■ 空気作動式バルブ（2方タイプ／3方タイプ）、1/4回転手動式バルブ（2方タイプ）、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ（開度調節機能付き、ストローク・リミッター）、空気作動式流量調節バルブ（バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー）／■ 接液・接ガス部の材質：次世代PTFE、アクチュエーターの材質：ポリプロピレン／■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合／■ 標準のエンド・コネクション：フレアー継手／■ Flowell（フロウエル）、スペース・セーバーなど、その他のエンド・コネクションもございます／■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
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