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Клапан с мембранным уплотнением

超高純度用Swagelok®フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ(DRPシリーズ)

ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着(ALD)用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。

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DRPシリーズ・バルブは、ダイヤフラムのデザインを最適化したことで、開閉時の応力、たまり部分、プロセス流体のコンタミネーション・リスクを最小限に抑えると同時に、ダイヤフラムの耐久性もアップしています。次世代PTFE製ボディは、流路から障害物を完全に一掃しているため、確実にクリーニングができ、流体のせん断を最小限に抑えます。

DRPシリーズ・バルブは、SEMI F57-0301に適合しています。

仕様

最高使用圧力 0.68 MPa
流体温度範囲 23°~100°C
流量係数(Cv値) 最大10.2
ボディ/ダイヤフラム材質 次世代PTFE
エンド・コネクション
タイプ フレアー継手(標準)
サイズ 1/4~1 1/4 インチ、6~25 mm
種類 空気作動式バルブ(2方タイプ/3方タイプ)、1/4回転手動式バルブ(2方タイプ)、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ(開度調節機能付き、ストローク・リミッター)、空気作動式流量調節バルブ(バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー)

DRPシリーズ超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

Калькулятор коэффициента расхода (C<sub>v</sub>) Swagelok для клапанов

適切なバルブの選定がすべてを左右する

流量係数(Cv値)計算ツールを使用することで、ニーズに適したサイズのバルブを選定することができます。

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