Swagelok®サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ（DHシリーズ）
Swagelokサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは高速での開閉が可能で、高温プロセスで最適なパフォーマンスを発揮します。
資料を請求するサーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ DHシリーズは、原子層蒸着（ALD）／プリカーサー供給用途など、高温／高純度環境でバルブを完全に組み込む必要のあるアプリケーションに適しています。完全に組み込まれた高純度PFA製シートは幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。ボディの流路から障害物を一掃しているため、たまり部を最小限に抑え、大流量を実現しています。
最大流量係数（Cv値）は0.60、エンド・コネクション（サイズ：1/4 インチ、3/8 インチ）が豊富で、アクチュエーターは空気作動式と手動式があるなど、幅広いシステムのニーズに対応可能です。ノーマル・クローズ型のアクチュエーターは5 ms未満でバルブを開閉することができます。バルブは、220°Cで最適なパフォーマンスを発揮します。
仕様
| 使用圧力範囲 | 真空～0.48 MPa |
| 破裂時 | > 22.0 MPa |
| 操作時 | 0.41～0.62 MPa |
| 使用温度範囲 | 20°～220°C |
| 流量係数 | |
| HタイプVCR®コネクション | 0.60（20°Cにて） 0.40（220°Cにて） |
| VCR／その他すべてのエンド・コネクション | 0.30（20°Cにて） 0.21（220°Cにて） |
| 集積バルブ ・ボディ | 0.25（20°Cにて） 0.21（220°Cにて） |
| ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
| ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
| エンド・コネクション | |
| タイプ | VCR ／HタイプVCRメタル･ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積バルブ（MSM） |
| サイズ | 1/4 インチ、3/8 インチ 1.125 インチ、1.5 インチ（MSM） |
DHシリーズ・サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
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