스웨즈락® 압력 게이지, 초고순도 및 크린 드라이 에어용
스웨즈락 초고순도 및 크린 드라이 에어 압력 게이지는 시스템 양압과 진공을 모니터링하기 위해 보돈(Bourdon) 튜브를 사용한 것이 특징입니다.
추가 정보 요청PGU 시리즈 및 PGC 시리즈 압력 게이지는 벌크 가스 분배부터 공정 도구 애플리케이션까지 다양한 애플리케이션에 사용하도록 설계되었습니다. 이 게이지의 정확도는 ASME B40.1을 따르며 50mm(2인치)의 다이얼 크기, ±해당 범위의 2%/1%/2%(ASME B40.1, A등급, EN 837-1 클래스 2.5, JIS B7505 클래스 2.5) 및 40mm(1 1/2인치), ±해당 범위의 3%/2%/3%(ASME B40.1, B등급, EN 837-1 클래스 4, JIS B7505 클래스 4)를 사용할 수 있습니다.
PGU 시리즈 게이지는 SEMI/SEMATECH에 따라 반도체 가스 애플리케이션에 대해 UHP “클린”이고, 클래스 100/10 클린룸에서 세정 및 포장되며, 316L VAR 연결구가 장착되어 있습니다.
PGC 시리즈 게이지는 클래스 100 클린룸에서 조립, 세정 및 포장되며 1/4인치의 NPT 연결구가 장착되어 있습니다.
사양
| 다이얼 범위 | PGU 시리즈: 진공 ~3000psi; 200bar; 21 MPa PGC 시리즈: 진공 ~6000psi, 400bar; 40MPa |
| 다이얼 크기 | 40mm 및 50mm(1 1/2인치 및 2인치) |
| 정확도 | ASME B40.100, EN837-1 및 JIS B7505에 따름 |
| 온도 범위 | |
| 대기온도 | –40~140°F(–40~60°C) |
| 매체 | –40~212°F(–40~100°C) |
| 연결구 | |
| PGU 시리즈 | 1/4인치 암나사 VCR®, 1/4인치 회전형 수나사 VCR, 1/4인치 일체형 수나사 VCR, 1.5 인치 통과형 표면 마운트 |
| PGC 시리즈 | 1/4인치 수나사 NPT |
| 검사 및 교정 | 모든 초고순도 및 클린 드라이 에어 게이지는 100% 공장에서 교정되며 최대 1× 10-9 std cm3/초의 비율에서 헬륨 누설 테스트를 거칩니다. |
압력 게이지 카탈로그
구성 부품의 재질, 압력 및 온도 등급, 선택 사양 및 액세서리를 포함한 상세 제품 정보를 찾아보십시오.
Features: 50 mm (1 1/2 and 2 in.) dial sizes; Accuracy in accordance with ASME B40.100; 316L VAR end connections (PGU series); Center-back and lower mount configurations
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