Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD) Swagelok®
Las válvulas Swagelok de ultra alta pureza para deposición de capas atómicas (ALD) ofrecen la vida útil ultra alta, la alta velocidad de actuación, los caudales, la inmersión térmica y la extrema limpieza necesarias para permitir una dosificación precisa en aplicaciones avanzadas de fabricación de semiconductores.
Solicite Más InformaciónNuestras válvulas ALD de alto rendimiento son un ejemplo clave de cómo Swagelok ha demostrado durante mucho tiempo su liderazgo técnico en la industria de fabricación de semiconductores. Desde que introdujo al mundo la tecnología de las válvulas ALD, Swagelok ha trabajado estrechamente con los clientes de la industria del semiconductor para entender sus necesidades, y luego crear válvulas ALD que ofrecen los niveles máximos de precisión, consistencia, limpieza y alto ciclo de vida útil necesarios para seguir el rápido ritmo de innovación del mercado. Nuestras válvulas de ultra alta pureza ALD se caracterizan por:
- Ciclo de vida ultra-alto con actuación de alta velocidad
- Cv de 0,27 a 1,7
- Temperaturas hasta 200°C (392°F) para los modelos especificados.
- Opción de detección de posición del actuador electrónica u óptica
- Adecuadas para aplicaciones de ultra alta pureza con cuerpo de acero inoxidable 316L VIM-VAR
- Conexiones finales para sistemas de montaje modular superficial, soldadura de tubo a tope y VCR®
Atomic Layer Deposition (ALD) Valves Categories
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series
ALD3 and ALD6 diaphragm valves offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and strong performance in atomic layer deposition applications.
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series
The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve offers the precision and consistency needed to maximize chip yields in semiconductor manufacturing applications.
Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series
Advance atomic layer deposition technology with flow rates 2–3x higher than other ALD valves with the ALD20 ultrahigh-purity valve.
Catálogos de Válvulas de Deposición de Capas Atómicas (ALD)
Encuentre información detallada de producto, incluidos materiales de construcción, valores nominales de presión y temperatura, las opciones y los accesorios.
ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Una Nueva Válvula: Tres Razones por las que Podría Cambiar la Fabricación del Semiconductor
Descubra cómo la última innovación en la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), está cambiando las cosas para los fabricantes de semiconductores de alta tecnología.
Descubra Más Cosas de la Tabla PeriódicaRecursos Swagelok Elaborados para Vd.
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