Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для высокого расхода и атомно-слоевого осаждения (серия ALD20)
Клапаны сверхвысокой степени чистоты Swagelok ALD20 рассчитаны на интенсивный поток рабочей среды, идеально подходят для ALD процессов? требующих использования газовых прекурсоров с низким давлением паров.
Запросить информацию о клапанах ALD20대유량 Swagelok® ALD20 초고순도 밸브는 Swagelok® ALD 밸브에서 기대할 수 있는 신뢰성과 성능을 제공하는 동시에, 이전에 달성할 수 없었던 온도 안정성과 유량 가능성을 지원합니다. 따라서, 제조업체는 다양한 공정과 저증기압 화학 기술을 실험하면서 공정을 크게 변경하지 않고도 첨단 기술을 개발하는 데 필요한 균일한 가스 증착을 달성할 수 있습니다.
Swagelok ALD20 밸브의 특징:
- 기존 ALD 밸브와 동일한 점유 공간(1.5인치)에서 1.2 Cv의 유량을 제공하며, 장비 교체 없이 개선된 성능을 제공합니다
- 약간 큰(1.75인치) 표준 유형으로 더 뛰어난 1.7 Cv를 제공하며, 이는 현재 시판 중인 극도로 높은 사이클 수명의 초고순도 밸브에서 가장 높은 유량입니다—
- 10°C(50°F)에서 최대 200°C(392°F)까지 가스 박스에 봉입 가능하므로, 가열 도중 액추에이터를 차단할 필요가 없으며 증착 일관성이 개선됩니다
- 316L VIM-VAR 스테인리스강 또는 22 합금 몸체 재질 옵션은 더 강력한 내식성을 제공합니다
- 5μ인치 Ra 표면처리의 고정밀 연마 벨로우즈 덕분에 극도로 높은 사이클 수명 동안 공정 무결성을 유지하면서 세정 작업이 가능합니다
- 투입량 조건을 충족하는 정밀하고 일관적인 유량에 필요한 반복 가능한 고속(<10ms) 작동을 제공합니다
맞춤 설정 유량 계수도 사용 가능합니다.
ALD20 밸브로 반도체 가공과 관련된 과제를 극복하는 방법을 알아보십시오
ALD20 밸브 사양
| 사용 압력 | 진공~20 psig(1.4 bar) |
| 파열 압력 | >3200 psig(220 bar) |
| 작동 압력 | 70~90 psig(4.9~6.2 bar) |
| 온도 | 10°~200°C(50°~392°F) |
| 유량 계수(Cv) | 1.2(MSM) 혹은 1.7(직선형) |
| 몸체 재질 | 316L VIM-VAR 혹은 22 합금 |
| 벨로우즈 재질 | 22 합금(5μ인치 Ra 표면처리) |
| 연결구 | 종류(크기): 암나사 VCR® 피팅(1/2인치), 회전형 수나사 VCR 피팅(1/2인치), 튜브 맞대기 용접, 0.50인치 길이(1/2인치 × 0.049인치), 모듈 조립형 대유량 C-씰(1.5인치) |
ALD 밸브 선택에 도움이 필요하십니까?
ALD20 시리즈 밸브 카탈로그
구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.
원자층 증착 (ALD) 용 다이어프램 밸브 고속 개폐 시에도 매우 긴 수명 유지 ; Cv 범위 0.27 ~ 0.62; 고온용 개폐기로 200°C (392°F)까지 사용가능; 전자 개폐기 위치 감지 옵션; 초고순도 사양에 적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체; VCR®, 튜브 맞대기 용접 및 블럭 조립식 연결구
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