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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
■ 空気作動式バルブ(2方タイプ/3方タイプ)、1/4 回転手動式バルブ(2方タイプ)、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ(開度調節機能付き、ストローク・リミッター)、空気作動式流量調節バルブ(バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー)/■ 接液・接ガス部の材質:次世代PTFE/アクチュエーターの材質:ポリプロピレン/■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合/■ 標準のエンド・コネクション:フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング/Flowell(フロウエル)、スペース・セーバーなど/その他のエンド・コネクションもございます/■...
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コンパクト・ゲージ・バルブ 圧力計の遮断/圧力排出用
■ チューブ・アダプター・エンド・コネクション付きのSwagelok圧力計用に設計しているため、目盛板の位置合わせが容易で、圧力計の取り付け時間の短縮およびコストの削減が可能/■ Swagelokチューブ継手エンド・コネクションにより、バルブの取り付け時間の短縮およびコストの削減が可能/チューブをしっかりとグリップし、耐振性に優れる/■ 一体型パージ・バルブにより、ねじ接続部分がなく、漏れの可能性がある接続部分を削減/バルブ・ボディから外れないようにパージ・キャップにかしめ加工を施すことで、安全性を高め、偶発的な分解を防止
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超高純度用ガス・フィルター SCFシリーズ
■ メンブラロックス®・セラミック・フィルター・テクノロジーを採用/■ エンド・コネクション:Swagelok® VCR® 面シール継手/■ 最大流量における0.003 μm のパーティクル除去率は99.9999999 % を超える/■ 最大流量:2700 std L/min
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ダイエレクトリック継手
■ 金属製コンポーネントは316ステンレス鋼を機械加工しており、過酷な環境下でも使用することができます/■ 成形したサーモプラスチック絶縁体は、電気抵抗が高く、耐薬品性、耐紫外線性に優れています。また、吸水率が低いため、さまざまな使用条件や気候条件下でも絶縁耐力を保持します/■ エンド・コネクションがSwagelokチューブ継手(ゲージで締め付け度の確認が可能)やNPTねじのため、チューブやパイプに直接接続することができます