Válvulas de Diafragma Swagelok® de Ultra Alta Pureza para Proceso de Capas Atómicas (Series ALD3 y ALD6)
Las válvulas de diafragma Swagelok series ALD3 y ALD6 se utilizan en las herramientas de fabricación de semiconductores para conseguir la dosificación controlada necesaria para el proceso de deposición de capas atómicas (ALD). Tienen un ciclo de vida útil ultra largo, actuación a alta velocidad y coeficientes de caudal de hasta 0,62.
Más Información sobre Válvulas ALDLas válvulas de diafragma Swagelok® ALD3 y Swagelok® ALD6 de ultra alta pureza están diseñadas para ofrecer a los fabricantes de semiconductores una dosificación fiable y de alta velocidad de los gases precursores utilizados para construir microchips capa a capa en las cámaras de deposición. Estas válvulas de ultra alta pureza y alto rendimiento tienen un ciclo de vida útil ultra largo, son totalmente sumergibles a temperaturas elevadas e idóneas para las aplicaciones de ultra alta pureza.
Los diafragmas utilizados en las válvulas ALD3 y ALD6 están compuestos por un material de superaleación a base de cobalto que ofrece solidez y resistencia a la corrosión. El cuerpo de las válvulas es de acero inoxidable 316L VIM-VAR, lo que las hace perfectas para aplicaciones de ultra alta pureza. Los asientos de las válvulas están hechos de PFA fluorado de ultra alta pureza para permitir un amplio rango de compatibilidad química y resistencia a la deformación y la contaminación. Estas válvulas pueden ser configuradas para actuación neumática normalmente cerrada y normalmente abierta, y están disponibles en una variedad de configuraciones para adaptarse a diferentes requisitos de instalación.
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Especificaciones de las Válvulas ALD3 y ALD6
| Presión de Servicio | Vacío hasta 10,0 bar (145 psig) |
| Presión de Rotura | > 220 bar (3200 psig) |
| Presión de Actuación | 3,5 a 6,2 bar (50 a 90 psig) |
| Temperatura | 0 a 200°C (32 a 392°F) |
| Coeficiente de Caudal (Cv) | 0,27 o 0,62 |
| Materiales del Cuerpo | Acero inoxidable 316L VIM-VAR |
| Material del Diafragma | Super aleación con base de cobalto |
| Conexiones Finales | Tipo (Tamaño): Accesorio de cierre frontal VCR® hembra (1/4 pulg. a 1/2 pulg.), accesorio de cierre frontal VCR macho (1/4 pulg. a 1/2 pulg.), montaje modular superficial de alto caudal con junta C (1,125 pulg. a 1,5 pulg.) |
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ALD 3, 6, and 7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
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