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新一代半导体前驱体及其面临的挑战
破解半导体制造中新一代前驱体气体的复杂难题 作者：Frank Horvat 博士，世伟洛克公司高级科学家 人工智能 (AI) 技术日趋先进，全新需求正推动 半导体行业 发生重大变革。 先进 AI技术对计算密度、数据处理效率、热管理能力及功耗控制提出了更高要求。这些趋势正推动三星、美光、台积电等全球半导体制造龙头企业加速变革，新一代器件现需搭载先进逻辑芯片和高度集成存储芯片，才能支撑现代 AI 超级计算机所需的指数级算力增长。 半导体原始设备制造商 (OEM) 纷纷推出适配最新器件规格的新一代设备；与此同时，化学材料供应商也在持续升级前驱体化学配方与输送技术。具体而言，目前需在复杂的三维...
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