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Клапан с мембранным уплотнением

Клапаны Swagelok® с мембранным уплотнением

Применение клапанов с мембранным уплотнением позволяет минимизировать зоны скопления среды и облегчить продувку благодаря беспрепятственному пути прохождения потока, что повышает эффективность системы и обеспечивает надежное отсечение потока. Предлагаются разнообразные размеры, материалы изготовления и конфигурации клапанов, в том числе для атомно-слоевого осаждения, для работы с погружением при высокой температуре и с беспружинной конструкцией, соответствующие требованиям к системам высокой и сверхвысокой степени чистоты.

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Swagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.

Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.

  • Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
  • Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
  • Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
  • Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems

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ダイヤフラム・バルブのカテゴリー

サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ、DHシリーズ

サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブ、DHシリーズ

サーマル・イマージョン・ダイヤフラム・バルブは、原子層蒸着(ALD)/プリカーサー供給アプリケーションなどの高温プロセスに適しています。

スペアー・パーツ/アクセサリー

スペアー・パーツ/アクセサリー

ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品/アクセサリー(ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど)を幅広く取り揃えています。

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ、LDシリーズ

バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ、LDシリーズ

大流量アプリケーション向けのダイヤフラム・バルブは、超高純度締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用など、さまざまなニーズに応えます。

マルチ・バルブ・マニホールド

マルチ・バルブ・マニホールド

ダイヤフラム・バルブを使用したマルチバルブ・マニホールドは、信頼性の高いパフォーマンスを発揮し、高純度かつ精密な流体制御を実現します。

超高純度 / 高圧用ダイヤフラム・バルブ、DPHシリーズ

超高純度 / 高圧用ダイヤフラム・バルブ、DPHシリーズ

超高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブは、さまざまなサイズ、材質、形状を選ぶことができ、幅広いアプリケーションに適合します。

超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ

超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ

フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインで応力や流体のコンタミネーションを最小限に抑えると同時に、超高純度薬液システムのパフォーマンスおよび耐久性を最大限に高めます。

超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ

超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ

大流量用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブは、長いサイクル・ライフを実現します。スプリングやねじを使用していないため清浄度が向上し、流路から障害物を一掃したデザインを採用することでパージ性を強化しています。

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブには、ストレート型(手動式アクチュエーター付き)、マルチポート、集積型(MSM)(一体型アクチュエーター付き)があります。

集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、1.125インチ、DEシリーズ

集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、1.125インチ、DEシリーズ

本バルブは、スプリングレス構造を採用し、信頼性およびパフォーマンスの向上を図っています。集積化ガス・システムのオペレーションの効率化に最適です。

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブ、DL/DSシリーズ

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブ、DL/DSシリーズ

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブは、ステムの先端がソフト・シート(プラスチック製)の変形を最小限に抑えるよう設計されており、繰り返し締め切ることが可能です。底部取り付けまたはパネル取り付けを選ぶことができます。

ダイヤフラム・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

流量係数(C<sub>v</sub>値)計算ツール

流量を計算して適切なバルブを選定する

流量係数(Cv値)計算ツールを使用することで、ニーズに適したサイズのバルブを選定することができます。

ツールを使用する

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