
Swagelok® Diaphragm-Sealed Valves
Swagelok diaphragm-sealed valves improve system efficiency while providing effective flow shutoff by minimizing entrapment areas and facilitating purging with a fully swept flow path. They have long cycle lives and are available in a variety of sizes, materials, and configurations to meet the system requirements of high-purity and ultrahigh-purity (UHP) applications.
View Diaphragm ValvesSwagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.
Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.
- Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
- Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
- Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
- Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems
Have questions about diaphragm-sealed valves?
ダイヤフラム・バルブのカテゴリー

スペアー・パーツ/アクセサリー
ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品/アクセサリー(ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど)を幅広く取り揃えています。

超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ
フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインで応力や流体のコンタミネーションを最小限に抑えると同時に、超高純度薬液システムのパフォーマンスおよび耐久性を最大限に高めます。

超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ
大流量用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブは、長いサイクル・ライフを実現します。スプリングやねじを使用していないため清浄度が向上し、流路から障害物を一掃したデザインを採用することでパージ性を強化しています。

超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブには、ストレート型(手動式アクチュエーター付き)、マルチポート、集積型(MSM)(一体型アクチュエーター付き)があります。

集積化ガス・システム用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ、1.125インチ、DEシリーズ
本バルブは、スプリングレス構造を採用し、信頼性およびパフォーマンスの向上を図っています。集積化ガス・システムのオペレーションの効率化に最適です。

高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブ、DL/DSシリーズ
高純度/高圧用ダイヤフラム・バルブは、ステムの先端がソフト・シート(プラスチック製)の変形を最小限に抑えるよう設計されており、繰り返し締め切ることが可能です。底部取り付けまたはパネル取り付けを選ぶことができます。
Diaphragm-Sealed Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
■ 1.125 インチ集積サイズのCシール/Wシール・デザイン/■ 形状:2 ポート/3ポート/■ アクチュエーター作動型式:空気式/手動式/■ ボディに対するアクチュエーターの向きが一定のため、一貫した取り付けが可能/■ 二次側のボディの角を面取りしているため、流れの方向が一目で確認可能
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
■ 空気作動式バルブ(2方タイプ/3方タイプ)、1/4 回転手動式バルブ(2方タイプ)、手動式流量調節バルブ、空気作動式流量調節バルブ(開度調節機能付き、ストローク・リミッター)、空気作動式流量調節バルブ(バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー)/■ 接液・接ガス部の材質:次世代PTFE/アクチュエーターの材質:ポリプロピレン/■ 超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合/■ 標準のエンド・コネクション:フレアー継手、スーパー300 タイプピラーフィッティング/Flowell(フロウエル)、スペース・セーバーなど/その他のエンド・コネクションもございます/■ カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
■ パッキンを用いておらず、耐圧部材はすべて金属/■ 使用圧力範囲:真空から24.1 MPaまで/■ 使用温度範囲:273℃から121℃まで
■ 超高純度用/■ ボディ材質:316L VIM-VAR ステンレス鋼/■ モデル:低圧型、高圧型/■ エンド・コネクション・タイプ:VCR® メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル/■ アクチュエーター・タイプ:手動式、空気式
■ 最高使用圧力:2.06 MPa/■ 用途:締め切り用、バルク・ガス供給用、アイソレーション用/■ ボディ材質:ステンレス鋼(鋳造製/鍛造製/バー・ストック製)/■ エンド・コネクション・サイズ:1/4 インチから1 インチまで、12 mmから25 mmまで
■ ボディ材質:316L VAR ステンレス鋼/■ 最高使用圧力:2.06 MPa/■ エンド・コネクション・サイズ:1/4 インチ、3/8 インチ、1/2 インチ、10 mm、12 mm

関連資料/コラム記事

産業用流体システムに適したバルブを選定する方法
産業用流体システムやサンプリング・システムの設計アプリケーションに適したバルブを選定するためのSTAMPEDメソッドの適用方法を紹介します。

누출 저감(Low-E) 밸브로 비산 누출 비용 최소화
비산 누출은 화학 및 정유 산업에서 점점 더 큰 문제로 대두되고 있습니다. 인증 받은 누출 저감(Low-E) 밸브를 사용하면 시설과 수익성을 보호할 수 있습니다. 이 게시글에서 누출 저감 밸브가 무엇인지, 어떤 테스트를 거치는지, 플랜트에 어떻게 도움이 되는지 알아보십시오.

블록 밸브로 산업용 유체 시스템을 격리하는 방법
플랜트 안전을 유지하려면 유지보수 작업 전에 산업용 유체 시스템 라인을 격리하는 것이 필수입니다. 유체 시스템 라인을 격리하는 가장 안전한 방법은 블록 밸브 두 개를 설치하는 것입니다. 시스템에 적합한 구성을 설계하는 방법을 알아보십시오.

하나의 새로운 밸브, 반도체 제조 기술을 바꿀 수 있는 세 가지 이유
혁신적인 최신 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 밸브 기술이 어떻게 첨단 기술 반도체 제조 시장을 변화시킬 수 있는지 소개합니다.