Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для высокого расхода и атомно-слоевого осаждения (серия ALD20)
Клапаны сверхвысокой степени чистоты Swagelok ALD20 рассчитаны на интенсивный поток рабочей среды, идеально подходят для ALD процессов? требующих использования газовых прекурсоров с низким давлением паров.
Запросить информацию о клапанах ALD20Клапан сверхвысокой степени чистоты Swagelok® ALD20 и высокого расхода обеспечивает надежность и производительность, которые характерны клапанам Swagelok® ALD, а также обеспечивает ранее недостижимую температурную стабильность и расход среды. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологи без серьезных изменений в процессах.
Клапан ALD20 от Swagelok обладает следующими характеристиками:
- Расход 1,2 Cv при тех же размерах (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, плюс улучшенная производительность без необходимости перенастройки
- Высокий коэффициент 1,7 Cv с немного большим (1,75 дюйма) стандартным вариантом. Это самый высокий расход, доступный в настоящее время для клапана с долгим сроком службы и сверхвысокой чистотой
- Возможность погружения в газовую камеру при температуре от 50°F (10°C) до 392°F (200°C), что устраняет необходимость изолировать приводной механизм во время нагрева, и улучшает стабильность осаждения
- Повышенная коррозионная стойкость благодаря вариантам материала корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22
- Поддержание чистоты в течение долгого срока службы и обеспечение целостности процесса благодаря сильфону с зеркальной полировкой Ra 5μ микродюймов
- Обеспечение высокоскоростного (<10 мс) повторяемого переключения для точного и стабильного контроля потока согласно требованиям дозировки
Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению заказчика.
Спецификация клапана ALD20
| Рабочее давление | От вакуума до 20 psig (1,4 бар ман) |
| Давление разрыва | > 3200 psig (220 бар ман) |
| Давление срабатывания | 70–90 psig (4,9–6,2 бар ман) |
| Температура | 50–392°F (10–200°C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 1,2 (MSM) или 1,7 (прямая конфигурация) |
| Материалы корпуса | 316L VIM-VAR или сплав 22 |
| Материал сильфонов | Сплав 22 (средняя шероховатость Ra 5μ микродюймов) |
| Торцевые соединения | Тип (размер): Фитинг с торцевым уплотнением VCR® и внутренней резьбой (1/2 дюйма), поворотный фитинг с уплотнением VCR и наружной резьбой (1/2 дюйма), соединение под приварку встык, длина 0,50 дюйма (1/2 x 0,049 дюйма), модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход и C-образное уплотнение (1,5 дюйма) |
Нужна помощь с выбором клапана ALD?
Каталоги клапанов серии ALD20
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手
Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.
Узнайте больше о периодической таблицеРесурсы Swagelok специально для вас
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Q&A：半導体製造の過去・現在・将来
半導体装置メーカー、マイクロデバイス・メーカー、流体システム・ソリューションのプロバイダーが連携することで、数十年間にわたっていかにして半導体市場はムーアの法則の要求に追いつくことができたのでしょうか。これからの展望と併せて紹介します。
Hersteller für Glasfaserproduktionssysteme erhöht seine Effizienz durch maßgeschneiderte Lösungen für seine Kunden
Bereits seit den 1980er-Jahren setzt Rosendahl Nextrom auf die Zusammenarbeit mit Swagelok, um sich geschäftlich weiterzuentwickeln. Erfahren Sie mehr über die Lösungen, mit denen es der Firma gelungen ist, der Konkurrenz stets einen Schritt voraus zu sein und sich als Marktführer zu behaupten.
Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft
Erfahren Sie mehr darüber, warum sich das finnische Unternehmen Bluefors bei der Herstellung seiner Mischungskryostate für Anwendungen in den Bereichen Quantum-Computing und Experimentalphysik auf die Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok verlässt.