text.skipToContent text.skipToNavigation
Válvulas de Ultra Alta Pureza para Aplicaciones de Alto Caudal, Serie ALD20

Swagelok® 대유량 원자층 가공 애플리케이션용 초고순도 밸브(ALD20 시리즈)

Swagelok ALD20 초고순도 밸브는 낮은 증기 압력 프리커서 가스가 필요한 원자층 증착(ALD) 공정에 이상적인 대유량 성능을 제공합니다.

ALD20 밸브 정보 요청

대유량 Swagelok® ALD20 초고순도 밸브는 Swagelok® ALD 밸브에서 기대할 수 있는 신뢰성과 성능을 제공하는 동시에, 이전에 달성할 수 없었던 온도 안정성과 유량 가능성을 지원합니다. 따라서, 제조업체는 다양한 공정과 저증기압 화학 기술을 실험하면서 공정을 크게 변경하지 않고도 첨단 기술을 개발하는 데 필요한 균일한 가스 증착을 달성할 수 있습니다.

Swagelok ALD20 밸브의 특징:

  • 기존 ALD 밸브와 동일한 점유 공간(1.5인치)에서 1.2 Cv의 유량을 제공하며, 장비 교체 없이 개선된 성능을 제공합니다
  • 약간 큰(1.75인치) 표준 유형으로 더 뛰어난 1.7 Cv를 제공하며, 이는 현재 시판 중인 극도로 높은 사이클 수명의 초고순도 밸브에서 가장 높은 유량입니다—
  • 10°C(50°F)에서 최대 200°C(392°F)까지 가스 박스에 봉입 가능하므로, 가열 도중 액추에이터를 차단할 필요가 없으며 증착 일관성이 개선됩니다
  • 316L VIM-VAR 스테인리스강 또는 22 합금 몸체 재질 옵션은 더 강력한 내식성을 제공합니다
  • 5μ인치 Ra 표면처리의 고정밀 연마 벨로우즈 덕분에 극도로 높은 사이클 수명 동안 공정 무결성을 유지하면서 세정 작업이 가능합니다
  • 투입량 조건을 충족하는 정밀하고 일관적인 유량에 필요한 반복 가능한 고속(<10ms) 작동을 제공합니다

맞춤 설정 유량 계수도 사용 가능합니다.

ALD20 밸브로 반도체 가공과 관련된 과제를 극복하는 방법을 알아보십시오

ALD20 밸브 사양

사용 압력 진공~20 psig(1.4 bar)
파열 압력 >3200 psig(220 bar)
작동 압력 70~90 psig(4.9~6.2 bar)
온도 10°~200°C(50°~392°F)
유량 계수(Cv) 1.2(MSM) 혹은 1.7(직선형)
몸체 재질 316L VIM-VAR 혹은 22 합금
벨로우즈 재질 22 합금(5μ인치 Ra 표면처리)
연결구 종류(크기): 암나사 VCR® 피팅(1/2인치), 회전형 수나사 VCR 피팅(1/2인치), 튜브 맞대기 용접, 0.50인치 길이(1/2인치 × 0.049인치), 모듈 조립형 대유량 C-씰(1.5인치)

ALD 밸브 선택에 도움이 필요하십니까?

현지 전문가에게 문의

ALD20 시리즈 밸브 카탈로그

구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.

Montaje en sala limpia de una válvula Swagelok ALD20 de ultra alta pureza para uso en la industria del semiconductor

1つの新しいバルブが半導体製造を変える3つの理由

今回は、原子層蒸着(ALD)バルブの最新テクノロジーが、ハイテク半導体メーカーにもたらす影響について紹介します。

続きを読む

関連資料/コラム記事

Swagelok fluid system components are available in materials designed to last in semiconductor manufacturing environments.
Improve Semiconductor Yield with Optimized Alloys

Discover how semiconductor fabricators can improve end-to-end production yields and improve long-term profitability by selecting the right metals for critical fluid system components.

Carl White, who has spent nearly 40 years working at various points in the semiconductor industry supply chain, offers a firsthand perspective on the past, present, and future of semiconductor industry advancement.
Q&A: Semiconductor Manufacturing Past, Present, and Future

Find out how collaboration between semiconductor tool OEMs, microchip manufacturers, and fluid system solutions providers has enabled the semiconductor market to keep up with the demands of Moore’s Law for decades, and where we go from here.

Rosendahl Nextrom y Swagelok colaboran para maximizar la eficiencia operativa
Un Fabricante de Equipos de Fibra Óptica Aumenta la Eficiencia con Soluciones Personalizadas

Desde la década de los 80, Rosendahl Nextrom ha confiado en Swagelok para impulsar su negocio. Más información sobre las soluciones que permitieron a la empresa superar a sus competidores y seguir siendo un líder de la industria.

El fabricante de refrigeradores de dilución Bluefors confía en Swagelok para los componentes y soluciones de sistemas de fluidos.
最先端科学で信頼できる流体システム・ソリューション

フィンランドの希釈冷凍機メーカーであるブルーフォース社が、量子コンピューターや実験物理学などに欠かせない流体システム部品やソリューションに関して、スウェージロックに信頼を寄せている理由を紹介します。

Ce processus peut prendre plusieurs minutes. Merci de patienter et de rester sur cette page.