Swagelok^® 압력 게이지, 초고순도 및 클린 드라이 에어(PGU 및 PGC 시리즈)

Swagelok^® 초고순도 및 클린 드라이 에어 압력 게이지는 부르동(Bourdon) 튜브를 사용하여 양압 시스템 압력과 진공을 신뢰성 높게 모니터링합니다.

Swagelok^® PGU 시리즈 초고순도 압력 게이지 및 Swagelok^® PGC 시리즈 클린 드라이 에어 압력 게이지는 벌크 가스 분배에서 공정 장비 애플리케이션에 이르는 광범위한 애플리케이션에 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품의 정확도는 ASME B40.1, EN837-1, JIS B7505에 부합합니다.

PGU 시리즈 게이지는 SEMI/SEMATECH에 따른 반도체 가스 애플리케이션용 초고순도(UHP) “클린” 제품이고, 클래스 100/10 클린룸에서 세정 및 포장되며, 316L VAR 연결구가 장착되어 있습니다. PGC 시리즈 게이지는 클래스 100 클린룸에서 조립, 세정, 포장되며, 1/4인치 NPT 연결구가 장착되어 있습니다. 두 시리즈 모두 질소로 퍼지되며 나사산 연결부 위에 보호 캡이 장착되어 있습니다. 모든 초고순도 및 클린 드라이 에어 게이지는 100% 공장에서 교정되며 최대 1× 10-9 std cm³/초의 비율에서 헬륨 누설 테스트를 거칩니다.

사양

다이얼 범위	PGU 시리즈: 진공~3000 psi; 200 bar; 21 MPa PGC 시리즈: 진공~6000 psi, 400 bar; 40 MPa
다이얼 크기	28, 40, 50 mm(1, 1 1/2, 2인치)
정확도	50 mm(2인치), ± 해당 범위의 2% / 1% / 2%(ASME B40.1, Grade A, EN 837-1 Class 2.5, JIS B7505 Class 2.5) 40 mm(1 1/2인치), ± 해당 범위의 3% / 2% / 3%(ASME B40.1, Grade B, EN 837-1 Class 4, JIS B7505 Class 4) 28 mm(1인치), ± 해당 범위의 3%
온도 범위	주변: –40 to 60°C(–40~140°F) 유체: –40~100°C(–40~212°F)
연결구	PGU 시리즈: 1/4 인치 암나사 VCR^® 피팅, 1/4인치 회전형 수나사 VCR 피팅, 1/4인치 일체형 수나사 VCR 피팅, 1 1/2인치 통과형 표면 마운트 PGC 시리즈: 1/4인치 수나사 NPT 피팅