Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.
Запросить информацию о клапанах ALDС момента выхода клапанов ALD на рынок мы тесно сотрудничаем с OEM-изготовителями полупроводникового оборудования, развивая технологии контроля подачи и дозирования прекурсоров. Это помогает заказчикам адаптироваться к инновациям, сокращать сроки разработок и повышать выход годных кристаллов в технологических процессах. Ассортимент клапанов Swagelok® ALD обеспечивает максимальную точность, стабильность, чистоту и ресурс срабатываний, необходимые для надежной работы в сложных технологических процессах.
Качественное регулирование расхода, быстрый отклик и устойчивость к высоким температурам помогают нарастить производство микроэлектроники, сократить циклы R&D и быстрее выводить на рынок новые технологии.
Особенности клапанов Swagelok для ALD-процессов:
- Сверхвысокий ресурс работы и быстрое время отклика
- Коэффициент расхода в диапазоне от 0,27 Cv до 1,7 Сv
- Температурная стойкость до 250 °C (482 °F) для отдельных моделей
- Опция локальной настройки расхода
- Электронные или оптические датчики положения привода
- Исполнение для сверхчистых сред: корпус из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава Alloy 22
- Торцевые соединения: модульный монтаж на поверхность, сварка встык и фитинги VCR®
- Единый корпус либо блочные узлы, изготовленные по аддитивным технологиям (AM)
В какой степени правильный выбор клапана ALD помогает улучшить контроль техпроцесса
ALD（原子層蒸着）用バルブのカテゴリー
超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ
ALD3／ALD6ダイヤフラム・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフおよび高速作動という特徴を備えており、原子層蒸着アプリケーションにおいて高いパフォーマンスを発揮します。
超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7Aシリーズ
Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7Aシリーズは、半導体製造アプリケーションにおいてデバイスの歩留まりを最大化するのに欠かせない精度および一貫性を備えています。
超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7Cシリーズ
Swagelok超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7Cシリーズは、最先端のALDアプリケーションにおいて、優れたパフォーマンス、スピード、信頼性を発揮します。
Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)
Подробные сведения о продукции: материалы изготовления, номинальные параметры давления и температуры, варианты исполнения, вспомогательные принадлежности.
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv値）：0.27から1.7まで／■ 最高使用温度：250°C（ALD20の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR® メタル・ガスケット式面シール継手
バルブを最適化することで新しい半導体プリカーサーを導入する
次世代半導体プリカーサーは、製造における新たな課題を突きつけています。最適化されたシステム設計およびALD用バルブ技術を導入することで、常に業界をリードし続けることができます。
詳細はこちら関連資料／コラム記事
アプリケーションを最適化し、半導体ファブの収益性を高める
主要な流体システムのアプリケーションをターゲットにすることで、リスクの低減、コストの抑制、ファブの全体的なパフォーマンス向上を実現します。
現場でのエンジニアリング専門知識を活かしてファブのパフォーマンスをサポートする
ファブの規模拡大や標準化が進む中、フィールド・エンジニアリングを通じて重要な専門知識を提供することで、効率性および一貫性の向上を実現します。