Swagelok®ALD（原子層蒸着）用バルブ
Swagelok超高純度用ALD（原子層蒸着）用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、最先端の半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの供給を実現し、デバイスの歩留まりを最大化します。
ALD用バルブについて問い合わせるALD用バルブ を世界に送り出してからも、スウェージロックは半導体製造装置メーカーやファブと密接に協力して高度なALD用バルブ・テクノロジーを提供し、市場において急速に進む技術革新に対応する上で欠かせない非常に高いレベルの精度、一貫性、クレンリネス（清浄度）、優れたサイクル・ライフの実現に努めてきました。Swagelok ALD用バルブは、デバイスの生産効率の向上をサポートし、ALDプロセスにおける課題を克服します。
超高純度用ALD用バルブの特徴：
- サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
- 流量係数（Cv値）：0.27～1.7
- 最高200°Cまでの高温環境に対応（高温モデルのアクチュエーターの場合）
- 電気式インジケーターまたは光学式ポジション・センサー・オプション
- 超高純度アプリケーションに適したクレンリネス（清浄度）
- 集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR®面シール継手エンド・コネクション
ALD（原子層蒸着）用バルブのカテゴリー
超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ
ALD3／ALD6ダイヤフラム・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフおよび高速作動という特徴を備えており、原子層蒸着アプリケーションにおいて高いパフォーマンスを発揮します。
超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7シリーズ
Мембранные клапаны Swagelok® ALD7 сверхвысокой степени чистоты обеспечивают точность и единообразие, необходимые для максимального увеличения выхода годных кристаллов в полупроводниковой промышленности.
ALD（原子層蒸着）用バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。
Характеристики: Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания; Cv в диапазоне от 0,27 до 0,62; возможность работы при температуре до 392 °F (200 °C) с термостойкими приводами; вариант исполнения с электронным датчиком положения привода; подходят для применения в сверхчистых системах с корпусом из нержавеющей стали 316L VIM-VAR; торцевые соединения VCR®, под приварку встык и модульные торцевые соединения для монтажа на поверхность.
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