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圧力計、超高純度用/クリーン・ドライ・エアー用

Swagelok®圧力計、超高純度用/クリーン・ドライ・エアー用(PGU/PGCシリーズ)

Swagelok®超高純度用/クリーン・ドライ・エラー用圧力計は、ブルドン管を使用してシステムの正圧および真空のモニタリングを行います。

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Die Manometer für ultrahochreine Anwendungen der Serie PGU von Swagelok® und die Manometer für Umgebungen mit sauberer Trockenluft der Serie PGC von Swagelok® sind für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen ausgelegt—von Bulkgassystemen bis hin zu Anwendungen für Prozesswerkzeuge. Diese bieten Messgenauigkeiten gemäß ASME B40.1, EN837-1 und JIS B7505.

Die Manometer der Serie PGU sind ultrahochrein (UHP) “clean” für Gasanwendungen in der Halbleiterindustrie gemäß SEMI/SEMATECH sind diese mit 316L VAR-Endanschlüssen ausgestattet und die Reinigung und Verpackung erfolgt in einem Reinraum der Klasse 100/10. Die Manometer der Serie PGC werden in einem Reinraum der Klasse 100 zusammengebaut, gereinigt und verpackt und haben 1/4 Zoll NPT-Endanschlüsse. Beide Serien sind mit Stickstoff gespült und enthalten eine Schutzkappe über dem Gewindeanschluss. Jedes Manometer für ultrahochreine Anwendungen und Umgebungen mit sauberer Trockenluft ist zu 100 % werkseitig kalibriert und auf Helium-Leckagen bis zu einer maximalen Rate von 1× 10-9 std cm3/s getestet.

Spezifikationen

Anzeigebereiche Serie PGU: Vakuum bis 3000 psi, 200 bar, 21 MPa
Serie PGC: Vakuum bis 6.000 psi, 400 bar, 40 MPa
Zifferblattgrößen 28, 40 und 50 mm (1, 1 1/2 und 2 Zoll)
Genauigkeit
  • 50 mm (2 Zoll), ± 2 % / 1 % / 2 % des Messbereichs (ASME B40.1, Güte A, EN 837-1 Klasse 2.5, JIS B7505 Klasse 2.5)
  • 40 mm (1 1/2 Zoll), ± 3 % / 2 % / 3 % des Messbereichs (ASME B40.1, Güte B, EN 837-1 Klasse 4, JIS B7505 Klasse 4)
  • 28 mm (1 Zoll), ± 3 % des Messbereichs
Temperaturbereich Umgebungstemperatur: –40 bis 60 °C (–40 bis 140 °F)
Medium: –40 bis 100 °C (–40 bis 212 °F)
Endanschlüsse Serie PGU: 1/4 Zoll VCR®-Innengewinde, 1/4 Zoll drehbares VCR-Außengewinde, integriertes VCR-Außengewinde, 1 1/2 Zoll Durchflussregler zur Flächenbefestigung
Serie PGC: 1/4 Zoll NPT-Außengewinde

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