Swagelok ® Ultrahochreine Membranventile (Serie ALD7)
Das ultrahochreine Swagelok ALD7-Ventil liefert das Durchflussverhalten und die Durchflusskapazität, die Betätigungsgeschwindigkeit, die Temperaturwerte und die Sauberkeit, die zur Maximierung des Chip-Durchsatzes in neuen oder existierenden Halbleiterproduktionsanlagen erforderlich sind.
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Revolutionäre Leistungsbeständigkeit
Das ultrahochreine ALD7-Membranventil von Swagelok ist die neueste Innovation in der ALD-Ventiltechnologie. Es ist das Ergebnis von über 50 Jahren der Zusammenarbeit von Swagelok und Halbleiter- und Werkzeugherstellern. Das hochleistungsfähige Ventil erlaubt es Werkzeug- und Chipherstellern ihre Chipausbeute zu erhöhen und die Profitabilität zu steigern. Es ermöglicht Durchflusskonsistenz und -kapazität, Betätigungsgeschwindigkeit und Ventilleistungen bei hohen Temperaturen, was erforderlich ist, um Einschränkungen in aktuellen Produktionsprozessen zu überwinden.
Kompromisslose Präzision
Durch schnellere Reaktionszeit, Temperaturstabilität bei hohen Temperaturen und eine höhere Korrosionsbeständigkeit, bietet das ALD7 eine gleichbleibende hohe Leistung von Ventil zu Ventil, Dosis zu Dosis und Kammer zu Kammer — und das mit maximaler Lebensdauer.
- Das ALD7 ermöglicht eine präzise Dosierung über tausende Produktionszyklen für anspruchsvolle ALD-Anwendungen
- Die verbesserte Steuerkopftechnologie ermöglicht diesem Halbleiterventil eine Reaktionszeit von weniger als 5 ms, also schneller als die in der Industrie übliche Technologie
- Der Ventilkörper kann bis auf 200°C erhitzt werden, ohne den pneumatischen Steuerkopf über die maximale Betriebstemperatur von 150°C zu erhitzen
- Ein Ventilkörper aus 316L VIM-VAR Edelstahl von Swagelok für ultrahochreine Anwendungen macht das ALD7 beständig gegenüber korrosiven Gasen.
Höhere Leistungsfähigkeit mit minimalen Nacharbeiten.
Das ALD7 liefert die gleiche Durchflusskapazität wie bestehende Halbleiterventile, jedoch mit gleichbleibenden Abmessungen. Die kompakte Konstruktion ermöglicht Halbleiterherstellern, die Produktivität ihrer bestehenden Werkzeuge zu erneuern, ohne erhebliche Prozessänderungen vorzunehmen.
- Das Standard ALD7 kann einen Durchflusskoeffizienten (Cv) von bis zu 0,7 liefern und ermöglicht präzise, wiederholbare Dosierungen von Kammer zu Kammer; individuelle Ausführungen (Werkseinstellungen) sind verfügbar und können einen Durchflusskoeffizienten Cv von 0.5–0.7 liefern.
- Das ALD7 behält die gleiche Abmessung von 1,5 Zoll wie die Swagelok ALD-Ventile nach Industriestandard bei.
- Das Ventil zeichnet sich durch einen integrierten Wärmeinsolator aus und verkürzt so das Ventil. Dies ermöglicht Systemingenieuren, den begrenzten Platz nahe der Reaktionskammer maximal auszunutzen.
Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10.0 bar (145 psig ) |
| Berstdruck | >220 bar (3200 psig ) |
| Betätigungsdruck | 4.1 to 8.27 bar (60 bis 120 psig) |
| Auslegungstemperatur | Standardventilkörper von 32°F (0°C) bis zu 392°F (200°C) |
| Durchflusskoeffizient | Standard 0.7 Cv (Werkseinstellungen) |
| Körperwerkstoffe | 316L VIM-VAR-Edelstahl |
| Membranmaterial | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Ende Verbindungen | Typ: VCR® Innengewinde, Rohrstumpfschweißende, 1,5 Zoll modulare Konfiguration mit C-Dichtung mit hoher Durchflusskapazität |
Ventil der Serie ALD7 Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Drücken und Temperaturen, Optionen und Zubehör.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
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