Vannes à membrane très haute pureté Swagelok® pour le procédé de dépôt par couche atomique (série ALD7)
La vanne très haute pureté ALD7 Swagelok possède toutes les caractéristiques – débit élevé et régulier, rapidité d’actionnement, température nominale élevée et grande propreté – nécessaires pour maximiser la production de puces avec des outils de fabrication de semi-conducteurs nouveaux ou existants.
Demander des informations sur les vannes ALD7The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve for atomic layer deposition (ALD) processing enables semiconductor tool manufacturers and chip fabricators to increase viable chip yields and enhances profitability by enabling the flow consistency and capacity, actuator speed, and performance at high temperatures necessary to overcome production processes limitations. It provides consistent performance from valve to valve, dose to dose, and chamber to chamber over an ultrahigh cycle life.
The Swagelok ALD7 valve:
- Delivers quick, precise dosing over the course of millions of cycles in even the most demanding applications and features enhanced actuator technology with a response time as low as 5 ms
- Is resistant to corrosive gases with a valve body comprised of proprietary ultrahigh-purity Swagelok 316L VIM-VAR stainless steel
- Can be heated up to 200°C while keeping the pneumatic actuator below maximum operating temperature of 150°C
- Delivers a flow coefficient (Cv) up to 0.7 (with optional custom (factory-set) versions available that deliver a flow coefficient of 0.5–0.7 Cv)
- Maintains the same footprint as Swagelok industry-standard ALD valves and features an integrated thermal isolator to maximize limited space near the reaction chamber
ALD7 Valve Specifications
| Working Pressure | Vacuum to 145 psig (10.0 bar) |
| Burst Pressure | >3200 psig (220 bar) |
| Actuation Pressure | 60 to 120 psig (4.1 to 8.27 bar) |
| Temperature Rating | Standard valve body from 32°F (0°C) to 392°F (200°C) |
| Flow Coefficient | Standard 0.7 Cv (factory set) |
| Body Materials | 316L VIM-VAR stainless steel |
| Diaphragm Material | Cobalt-based superalloy |
| End Connections | Type: VCR® fittings, tube butt weld, 1.5 in. modular surface-mount high flow C-seal |
Have questions about ALD valves?
ALD7 Series Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
ALD3, ALD6, and ALD7 Diaphragm Valves and ALD20 Bellows: Ultrahigh cycle life, high-speed actuation; Up to 392°F (200°C) w thermal actuators; Electronic actuator position-sensing; ultrahigh-purity applications; High flow capacity, PFA seat, Normally closed pneumatic actuation, Alloy 22 available
Comment résoudre les principaux problèmes inhérents aux procédés ALD et ALE
Les procédés ALD et ALE de fabrication des semi-conducteurs peuvent s’avérer délicats et comportent des difficultés qui leur sont propres. Découvrez comment y remédier avec des vannes soigneusement choisies.
Sélectionner des vannes adaptées au procédé de dépôt par couche atomiqueRecursos Swagelok Elaborados para Vd.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Q&R : le passé, le présent et l’avenir de la fabrication des semi-conducteurs
Découvrez comment la collaboration entre des équipementiers du secteur des semi-conducteurs, des fabricants de puces et des fournisseurs de solutions pour systèmes fluides a permis au marché de tenir le rythme imposé par la loi de Moore pendant des décennies, et ce que nous réserve l’avenir.
Un Fabricante de Equipos de Fibra Óptica Aumenta la Eficiencia con Soluciones Personalizadas
Desde la década de los 80, Rosendahl Nextrom ha confiado en Swagelok para impulsar su negocio. Más información sobre las soluciones que permitieron a la empresa superar a sus competidores y seguir siendo un líder de la industria.
Des systèmes fluides pour des applications aux confins de la science
Découvrez pourquoi Bluefors, fabricant finlandais de réfrigérateurs à dilution, fait confiance aux composants et solutions Swagelok pour les systèmes fluides de réfrigérateurs nécessaires à l’informatique quantique, à la physique expérimentale et à bien d’autres applications.