text.skipToContent text.skipToNavigation
Vannes à membrane très haute pureté, série ALD7

Vannes à membrane très haute pureté Swagelok® (série ALD7)

La vanne très haute pureté ALD7 Swagelok possède toutes les caractéristiques – débit élevé et régulier, rapidité d’actionnement, température nominale élevée et grande propreté – nécessaires pour maximiser la production de puces avec des outils de fabrication de semi-conducteurs nouveaux ou existants.

Demander un complément d’information

Une performance si constante qu’elle est révolutionnaire

Résultat de plus de cinq décennies de collaboration avec les fabricants de semi-conducteurs, la vanne à membrane très haute pureté ALD7 Swagelok est la dernière innovation en matière de technologie de dépôt par couche atomique (ALD). Cette vanne haute performance pour semi-conducteurs permet aux fabricants d'outils et aux fabricants de puces d'augmenter le rendement des puces et d'améliorer leur rentabilité en offrant une capacité de débit élevée et régulière, une vitesse d'actionneur et des performances à haute température nécessaires pour supporter les limites des processus de production actuels.

Conçue pour une précision sans compromis

Dotée d’un temps de réponse plus rapide, d’une stabilité thermique à des températures élevées et d’une résistance à la corrosion améliorée, la série ALD7 offre des performances constantes d’une vanne à l’autre, de dose à dose et de chambre à chambre sur un nombre de cycles extrêmement élevé.

  • La vanne série ALD7 permet un dosage précis sur des millions de cycles, même dans les applications de dépôt les plus exigeantes
  • L’amélioration de la technologie de l’actionneur permet à cette vanne pour la fabrication de semi-conducteurs de fonctionner plus rapidement que la technologie standard de l’industrie, avec un temps de réponse d'à peine 5 ms
  • L’actionneur peut être immergé dans une ambiance à 150°C et la vanne est prévue pour résister à 200°C, ce qui permet d’obtenir un débit constant à des températures élevées et dans des conditions de vide
  • L’acier inoxydable 316L VIM-VAR exclusif utilisé par Swagelok pour fabriquer le corps de la vanne ALD7 confère à celle-ci une grande résistance aux gaz corrosifs

Des performances supérieures. Des modifications limitées.

La vanne ALD7 offre une capacité de débit améliorée par rapport aux vannes similaires existantes, mais garde le même encombrement. Sa structure compacte permet aux fabricants de semi-conducteurs d’améliorer la productivité des outils existants sans qu’il soit nécessaire de modifier sensiblement les procédés de fabrication.

  • Avec un coefficient de débit (Cv) pouvant aller jusqu’à 0,7, la vanne ALD7 permet un dosage précis et reproductible d’une chambre de réaction à l’autre
  • L’ALD7 conserve le même encombrement de 1,5 po que les vannes ALD standard Swagelok
  • La vanne comprend un isolateur thermique intégré, raccourcissant le profil de la vanne et permettant aux concepteurs de systèmes de maximiser l’espace limité près de la chambre de réaction

Caractéristiques techniques

Pression de serviceDu vide à 10,0 bar (145 psig)
Pression d’éclatement> 220 bar (3200 psig)
Pression d’actionnement4,1 à 8,27 bar (60 à 120 psig)
Température nominaleCorps de la vanne : de 0°C (32°F) à 200°C (392°F)
Actionneur : de 0°C (32°F) à 150°C (302°F)
Coefficient de débit Cv de 0,7
Matériaux du corpsAcier inoxydable 316L VIM-VAR
Matériau de la membraneSuperalliage à base de cobalt
Raccordements d’extrémité
TypeRaccords VCR®
à souder bout à bout
Montage modulaire en surface (1,5 po) avec joint haut débit type C-seal

Catalogues des vannes de la série ALD7

Trouver des informations détaillées sur nos produits – matériaux de fabrication, pressions et températures nominales, options, accessoires, etc.

Vannes et collecteurs ALD

Comment résoudre les principaux problèmes inhérents aux procédés ALD et ALE

Les procédés ALD et ALE de fabrication des semi-conducteurs peuvent s’avérer délicats et comportent des difficultés qui leur sont propres. Découvrez comment y remédier avec des vannes soigneusement choisies.

Sélectionnez les bonnes vannes pour les défis ALD

Des ressources préparées pour vous par Swagelok

Les composants pour systèmes fluides Swagelok sont disponibles dans des matériaux conçus pour résister durablement aux environnements de fabrication des semi-conducteurs.
Améliorer les rendements de fabrication des semi-conducteurs avec des alliages optimisés

Découvrez comment les fabricants de semi-conducteurs peuvent améliorer leurs rendements de fabrication d’un bout à l’autre de la chaîne et accroître leur rentabilité à long terme en choisissant les bons métaux pour les composants de leurs systèmes fluides critiques.

Carl White, qui a passé près de 40 ans à travailler à divers niveaux de la chaîne d'approvisionnement du secteur des semi-conducteurs, apporte son point de vue de spécialiste sur l’évolution passée, actuelle et à venir de ce secteur.
Q&R : Le passé, le présent et l’avenir de la fabrication des semi-conducteurs

Découvrez comment la collaboration entre des équipementiers du secteur des semi-conducteurs, des fabricants de puces et des fournisseurs de solutions pour systèmes fluides a permis au marché de tenir le rythme imposé par la loi de Moore pendant des décennies, et ce que nous réserve l’avenir.

Rosendahl Nextrom et Swagelok collaborent pour maximiser l’efficacité opérationnelle
Un fabricant d’équipements pour le secteur des fibres optiques gagne en efficience grâce à des solutions sur mesure

Depuis les années 1980, Rosendahl Nextrom s’appuie sur Swagelok pour développer ses activités. Découvrez les solutions qui ont permis à l’entreprise de devancer ses concurrents et de rester leader dans son secteur.

Le fabricant de réfrigérateurs à dilution Bluefors fait confiance aux composants et aux solutions Swagelok pour ses systèmes fluides.
Des systèmes fluides pour des applications aux confins de la science

Découvrez pourquoi Bluefors, fabricant finlandais de réfrigérateurs à dilution, fait confiance aux composants et solutions Swagelok pour les systèmes fluides de réfrigérateurs nécessaires à l’informatique quantique, à la physique expérimentale et à bien d’autres applications.

Ce processus peut prendre plusieurs minutes. Merci de patienter et de rester sur cette page.