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超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD7Aシリーズ
Swagelok 超高純度用ALD7Aシリーズ・バルブを使用すると、新規または既存の半導体製造装置において、デバイスのスループットを最大化するのに欠かせない流量および一貫性、アクチュエーター・スピード、使用温度範囲、クレンリネス（清浄度）を得ることができます。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD7Aシリーズは、実績のあるALD7シリーズ・バルブを改良して現場での流量調節機能を追加したことで、製造装置環境内で直接、流量性能を精密に調節することが可能になりました。ALD7Aシリーズ・バルブは、過酷なサイクル条件下にわたって正確かつ再現性の高い流量および作動パフォー...
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大流量用超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD20シリーズ
Swagelok超高純度用バルブ ALD20シリーズは、低蒸発圧プリカーサー・ガスを必要とする原子層蒸着プロセスに適した大流量用バルブです。 Swagelok ® 超高純度用バルブ（大流量用） ALD20シリーズは、ALDバルブに求められている信頼性および性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性および流量も達成しています。このため、メーカーは大幅な工程変更を行うことなく、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現するため、さまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試すことができます。 Swagelok ALD20シリーズ・バルブの特徴： 1.2の流量係数（C v 値）を実...
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超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3 / ALD6シリーズ
Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD（原子層蒸着）半導体製造に必要なプリカーサーの供給制御を行います。 Swagelok ® 超高純度用ダイヤフラム・バルブ ALD3／ALD6シリーズを使用すると、 半導体製造 時に蒸着チャンバー内でマイクロデバイスに1層ずつ堆積する際に使用するプリカーサー・ガスの信頼性を保ちつつ、高速供給を行うことができます。高パフォーマンスを誇るALD3／ALD6シリーズ・バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、アクチュエーター部分を含めた高温対応を特...
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VCO®Oリング式面シール継手
Swagelok VCO ® Oリング式面シール継手は、容易に組み立てることができます。金属とエラストマーのシールが継手ボディ内に完全に包み込まれているため、高純度用や一般産業用のパイプ配管、チューブ・システム、溶接システムにおいて、漏れの無い取り付けを容易かつ迅速に実現することができます。 Swagelok VCO ® Oリング式面シール継手は、高圧から超高真空まで、また幅広い温度範囲での使用に適しています。シール用のOリングが継手ボディ内に完全に包み込まれていることで効率性が向上しているほか、滑らかなグランド・シール面で確実にシールします。さまざまなOリング材質を選ぶことが...
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VCR®メタル・ガスケット式面シール継手
Swagelok VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手を高純度溶接システムで使用すると、信頼性の高い金属同士のシールが形成され、取り付けや取り外しを容易に行うことができます。高純度の材料から製造されており、狭いスペースでも容易に取り付けることが可能です。VCR継手は、システム流体や温度がエラストマー製Oリングに適合しない場合に適しています。 Swagelok VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手は、金属同士でシールする継手の業界基準を打ち立てました。Swagelok VCR継手は超高純度構造を採用しており、真空から正圧までの高純度アプリケーションに使用することが...
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溶接継手
Swagelok溶接継手は、超高純度用途、特別なクリーニングが必要なアプリケーション、一般産業アプリケーションにおいて、流体システムの効率および安全性を維持するのに欠かせない強度や耐久性を備えています。 スウェージロックは、多種多様なアプリケーション向けに、さまざまなサイズ、形状、材質の溶接継手を幅広く取り揃えています。そのラインアップには、高純度用および一般産業用のチューブ突き合わせ溶接継手、差し込み溶接継手、溶接アダプター、海底用溶接継手などがあります。Micro-Fit ® （マイクロ・フィット）溶接（ミニチュア・チューブ突き合わせ溶接）継手は、コンパクトながら、チューブ外径サイ...
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ウェルド・ヘッド
Swagelokウェルド・ヘッドを使用すると、電極を保持し、溶接物を確実に固定し、溶接電流の流れを確保することができます。チューブやパイプの信頼性が高く一貫したオービタル・ガス・タングステン・アーク溶接（GTAW）を実現する設計を採用しています。精度および耐久性を重視して設計されており、常に高品質の溶接を行うことができます。Swagelokウェルド・ヘッドは、溶接パラメーターの正確な制御、容易なセットアップ、過酷な環境に耐える堅牢な構造を特徴としています。さまざまな溶接パワー・サプライとの互換性があり、特定のプロジェクト・ニーズに合わせてカスタマイズすることが可能です。 Swagelokウェル...
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円周溶接機
Swagelok円周溶接機（オービタル・ウェルディング・システム） M200パワー・サプライは、操作が容易なタッチ･スクリーンを採用しており、円周溶接の制御を正確に行います。一貫した効率的な溶接が求められるプロジェクトに適しています。 M200パワー・サプライを使用すると、コスト効率が良く、信頼性の高いガス・タングステン・アーク溶接（GTAW）をチューブおよびパイプのいずれにも行うことができます。 重要な流体システムの設計や組み立てには、最新の円周溶接機が必要になることも少なくありません。Swagelok円周溶接機（オービタル・ウェルディング・システム）M200パワー・サプライを使用すると、正...
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液体除去用フィルター — フィルター
液体除去用フィルターは、エアーやガスの流れを効率的にろ過し、液体のエアロゾル、水、油を除去することで、精密機器を保護します。 以下の仕様のフィルターを取り揃えています： サイズ：1/8～1/4 インチ（6 mm） –17～204°C 316ステンレス鋼 5.23～6.89 MPa 最大流量：48～700 std L/min 液体除去用フィルターは、エアーやガスの流れを効率的にろ過し、液体のエアロゾル、水、油を除去することで、精密機器を保護します。
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パーティクル除去用フィルター — フィルター
液体やガスから粉塵、ほこり、さびを効率的に除去します。エレメントは交換可能なためメンテナンスが容易で、圧力損失を最小限に抑えます。 以下の仕様のフィルターを取り揃えています： サイズ：1/8～1/4 インチ（6 mm） –17～204°C 316ステンレス鋼 5.23～6.89 MPa 最大流量：48～700 std L/min 液体やガスから粉塵、ほこり、さびを効率的に除去します。エレメントは交換可能なためメンテナンスが容易で、圧力損失を最小限に抑えます。