-
超高純度用ガス・フィルター SCFシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelok SCFシリーズ・フィルターに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ／■ メンブラロックス・フィルター構造／■ パーティクル除去率／■ パーティクル発生／■ 水分分析／■ 炭化水素分析／■ 酸素分析
-
圧力トランスデューサー PTUシリーズ 技術情報 概要
この技術情報は、Swagelok圧力トランスデューサーPTUシリーズに関するデータを提供するものです。記載事項：■ 精度／■ パーティクル発生／■ 温度係数／■ 材料の仕様／■ 長期安定性／■ 製造および表面仕上げ／■ 残留イオン濃度／■ 電解研磨および不動態化処理／■ ヘリウム・リーク・テスト／■ クリーニングおよび乾燥／■ 炭化水素分析／■ 組み立ておよびテスト／■ 水分分析／■ 参考文献／■ 酸素分析
-
手動式レギュレーター HFシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelok手動式レギュレーター HFシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ／■ パーティクル・カウント／■ 水分分析／■ 炭化水素分析／■ 残留イオン濃度／■ 実験室でのサイクル・テスト
-
ALD7ダイヤフラム・バルブ 技術情報
この技術情報は、ノーマル・クローズ型Swagelok ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ バルブ流量一貫性／■ 真空下での流れ／■ 流量と温度／■ バルブ作動の応答性に関して／■ 実験室でのサイクル・テスト／■ シート部のヘリウム・リーク・テスト／■ パーティクル・カウント／■ 水分分析／■ 残留イオン濃度／■ 炭化水素分析
-
ALD3 ダイヤフラム・バルブ 技術情報
この技術情報は、ノーマル・クローズ型Swagelok ALD3ダイヤフラム・バルブに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ シート部のヘリウム・リーク・テスト／■ バルブ流量一貫性分析／■ 実験室でのサイクル・テスト／■ アクチュエーターの断熱およびバルブの熱反応性／■ パーティクル・カウント／■ 表面仕上げ／■ 水分分析／■ 炭化水素分析／■ バルブ作動の応答性に関して
-
超高純度用フルオロポリマー3方ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ 技術情報 概要
この情報は、DRPシリーズ3方バルブに対し、第三者機関とスウェージロックが行ったテストの要約です。DRP 3方バルブは主に、製品の純度が非常に重要である半導体業界において、重要な液体管理を行うために使用することを主たる目的として設計されています。 この情報に記載されている報告データとテスト・プロトコルは、 SEMI F57-0301に基づいています。この情報は、以下の項目について記述しています。■ 表面粗さ／■ パーティクル発生／■ 金属性コンタミネーション／■ 信頼性テスト
-
スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DEシリーズ 技術情報
この技術情報は、Swagelokダイヤフラム・バルブ（1.125 インチ集積サイズ） DEシリーズに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 表面仕上げ／■ インボード・ヘリウム・リーク・テスト（真空法）／■ パーティクル・カウント／■ 実験室でのサイクル・テスト／■ 水圧試験
-
チューブ技術資料 ̶ 異材質の組み合わせ
本資料には、さまざまな材質のチューブを取り付けたSwagelok® チューブ継手の最高使用圧力（参考情報）を記載しています。チューブ技術資料／チューブの選定について／チューブの取り扱いについて／ガス配管について／チューブの取り付け／最高使用圧力（参考情報）／温度上昇と圧力低下係数
-
ALD20 バルブ 技術情報
この技術情報は、ノーマル・クローズ型Swagelok® ALD20 超高純度用バルブに関するデータです。以下の事項について記載しています。■ 大流量の一貫性／■ 真空下での流れ／■ 実験室でのサイクル・テスト／■ バルブ作動の応答性に関して／■ シート部のヘリウム・リーク・テスト／■ 表面仕上げ／■ パーティクル・カウント／■ 炭化水素分析／■ 残留イオン濃度／■ 水分分析