Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для высокого расхода и атомно-слоевого осаждения (серия ALD20)
Клапаны сверхвысокой степени чистоты Swagelok ALD20 рассчитаны на интенсивный поток рабочей среды, идеально подходят для ALD процессов? требующих использования газовых прекурсоров с низким давлением паров.
Запросить информацию о клапанах ALD20Клапан сверхвысокой степени чистоты Swagelok® ALD20 и высокого расхода обеспечивает надежность и производительность, которые характерны клапанам Swagelok® ALD, а также обеспечивает ранее недостижимую температурную стабильность и расход среды. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологи без серьезных изменений в процессах.
Клапан ALD20 от Swagelok обладает следующими характеристиками:
- Расход 1,2 Cv при тех же размерах (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, плюс улучшенная производительность без необходимости перенастройки
- Высокий коэффициент 1,7 Cv с немного большим (1,75 дюйма) стандартным вариантом. Это самый высокий расход, доступный в настоящее время для клапана с долгим сроком службы и сверхвысокой чистотой
- Возможность погружения в газовую камеру при температуре от 50°F (10°C) до 392°F (200°C), что устраняет необходимость изолировать приводной механизм во время нагрева, и улучшает стабильность осаждения
- Повышенная коррозионная стойкость благодаря вариантам материала корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22
- Поддержание чистоты в течение долгого срока службы и обеспечение целостности процесса благодаря сильфону с зеркальной полировкой Ra 5μ микродюймов
- Обеспечение высокоскоростного (<10 мс) повторяемого переключения для точного и стабильного контроля потока согласно требованиям дозировки
Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению заказчика.
Спецификация клапана ALD20
| Рабочее давление | От вакуума до 20 psig (1,4 бар ман) |
| Давление разрыва | > 3200 psig (220 бар ман) |
| Давление срабатывания | 70–90 psig (4,9–6,2 бар ман) |
| Температура | 50–392°F (10–200°C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 1,2 (MSM) или 1,7 (прямая конфигурация) |
| Материалы корпуса | 316L VIM-VAR или сплав 22 |
| Материал сильфонов | Сплав 22 (средняя шероховатость Ra 5μ микродюймов) |
| Торцевые соединения | Тип (размер): Фитинг с торцевым уплотнением VCR® и внутренней резьбой (1/2 дюйма), поворотный фитинг с уплотнением VCR и наружной резьбой (1/2 дюйма), соединение под приварку встык, длина 0,50 дюйма (1/2 x 0,049 дюйма), модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход и C-образное уплотнение (1,5 дюйма) |
Нужна помощь с выбором клапана ALD?
Каталоги клапанов серии ALD20
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
원자층 증착 (ALD) 용 다이어프램 밸브 고속 개폐 시에도 매우 긴 수명 유지 ; Cv 범위 0.27 ~ 0.62; 고온용 개폐기로 200°C (392°F)까지 사용가능; 전자 개폐기 위치 감지 옵션; 초고순도 사양에 적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체; VCR®, 튜브 맞대기 용접 및 블럭 조립식 연결구
Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников
Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.
Узнайте больше о периодической таблицеРесурсы Swagelok специально для вас
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Q&A: Semiconductor Manufacturing Past, Present, and Future
Find out how collaboration between semiconductor tool OEMs, microchip manufacturers, and fluid system solutions providers has enabled the semiconductor market to keep up with the demands of Moore’s Law for decades, and where we go from here.
Fiber Optics Equipment Manufacturer Increases Efficiency with Customized Solutions
Since the 1980s, Rosendahl Nextrom has depended on Swagelok to move its business forward. Learn more about the solutions that allowed the company to outpace its competitors and remain an industry leader.
Reliable Fluid System Solutions for the Scientific Frontier
Learn why Finnish dilution refrigerator manufacturer Bluefors trusts Swagelok for fluid system components and solutions that help enable quantum computing, experimental physics, and more.