Swagelok® Ultrahochreine Ventile für die Atomlagenabscheidung mit hohem Durchfluss (Serie ALD20)
Die ultrahochreinen ALD20-Ventile von Swagelok zeichnen sich durch eine hohe Durchflusskapazität aus und eignen sich damit hervorragend für Atomlagenabscheidungsprozesse, für die Vorstufengase mit niedrigem Dampfdruck erforderlich sind.
Informationen zu ALD20-Ventilen anfordernDas für ultrahochreine Anwendungen konzipierte ALD20-Ventil für hohe Durchflussraten von Swagelok® bietet die gewohnte Zuverlässigkeit und Leistung wie alle Swagelok®-ALD-Ventile, sowie eine einzigartiger Temperaturstabilität. Die Verwendung des Ventils ermöglicht es Herstellern, ohne viel Änderungsaufwand mit verschiedenen Verfahren und Chemikalien mit niedrigem Dampfdruck zu experimentieren, um eine gleichmäßige Gasabscheidung zu erzielen, die für die Entwicklung fortschrittlicher Technologien erforderlich ist.
Vorteile des Swagelok-ALD20-Ventils:
- Mit einer Durchflusskapazität von 1,2 Cv und der gleichen Baugröße von 1,5 Zoll wie die bestehenden ALD-Ventile bietet das Ventil eine verbesserte Leistung—ganz ohne Umrüstung.
- In einer etwas größeren Standardausführung (1,75 Zoll) bietet das Ventil mit 1,7 Cv—die höchste Durchflusskapazität von allen auf dem Markt verfügbaren Ventilen für ultrahochreine Anwendungen.
- Das Ventil kann in eine Gaskammer mit einem Temperaturbereich von 10 °C (50 °F) bis 200 °C (392 °F) eingetaucht werden, so dass der Stellantrieb während des Aufheizens nicht abgetrennt werden muss und die Konsistenz der Abscheidung verbessert wird.
- Aus Edelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22 gefertigt weist das Ventil eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit auf.
- Dank des hochpolierten Faltenbalgs mit einer Oberflächenrauheit (Ra) von 0,127 µm unterstützt der Einsatz dieses Ventils Ihre Prozessintegrität durch einen sauberen Betrieb über eine sehr lange Lebensdauer hinweg.
- Das Ventil zeichnet sich durch schnelle (<10 ms) und wiederholbare Betätigungen für einen gleichmäßigen Durchfluss und eine präzise Dosierung aus.
Kundenspezifische Durchflusskoeffizienten sind ebenfalls erhältlich.
Erfahren Sie, wie der Einsatz des ALD20-Ventils bestehende Probleme in der Halbleiterfertigung löst
ALD20-Ventile—Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 1,4 bar (20 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3.200 psig) |
| Betätigungsdruck | 4,9 bis 6,2 bar (70 bis 90 psig) |
| Temperatur | 10 ° bis 200 °C (50 ° bis 392 °F) |
| Durchflusskoeffizient (Cv) | 1,2 (modulare Flächenmontage) oder 1,7 (Durchgangsbauform) |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR oder Alloy 22 |
| Faltenbalgwerkstoff | Alloy 22 (0,127 Ra Oberflächenrauheit) |
| Endanschlüsse | Typ (Größe): VCR®-Innnengwinde (1/2 Zoll), drehbares VCR-Außengewinde (1/2 Zoll), Stumpfschweißfitting, 0,5 Zoll lang (1/2 Zoll x 0,049 Zoll), modulare Flächenmontage mit C-Dichtung für hohen Durchfluss (1,5 Zoll) |
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