Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для высокого расхода и атомно-слоевого осаждения (серия ALD20)
Клапаны сверхвысокой степени чистоты Swagelok ALD20 рассчитаны на интенсивный поток рабочей среды, идеально подходят для ALD процессов? требующих использования газовых прекурсоров с низким давлением паров.
Запросить информацию о клапанах ALD20Клапан сверхвысокой степени чистоты Swagelok® ALD20 и высокого расхода обеспечивает надежность и производительность, которые характерны клапанам Swagelok® ALD, а также обеспечивает ранее недостижимую температурную стабильность и расход среды. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологи без серьезных изменений в процессах.
Клапан ALD20 от Swagelok обладает следующими характеристиками:
- Расход 1,2 Cv при тех же размерах (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, плюс улучшенная производительность без необходимости перенастройки
- Высокий коэффициент 1,7 Cv с немного большим (1,75 дюйма) стандартным вариантом. Это самый высокий расход, доступный в настоящее время для клапана с долгим сроком службы и сверхвысокой чистотой
- Возможность погружения в газовую камеру при температуре от 50°F (10°C) до 392°F (200°C), что устраняет необходимость изолировать приводной механизм во время нагрева, и улучшает стабильность осаждения
- Повышенная коррозионная стойкость благодаря вариантам материала корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22
- Поддержание чистоты в течение долгого срока службы и обеспечение целостности процесса благодаря сильфону с зеркальной полировкой Ra 5μ микродюймов
- Обеспечение высокоскоростного (<10 мс) повторяемого переключения для точного и стабильного контроля потока согласно требованиям дозировки
Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению заказчика.
Спецификация клапана ALD20
| Рабочее давление | От вакуума до 20 psig (1,4 бар ман) |
| Давление разрыва | > 3200 psig (220 бар ман) |
| Давление срабатывания | 70–90 psig (4,9–6,2 бар ман) |
| Температура | 50–392°F (10–200°C) |
| Коэффициент расхода (Cv) | 1,2 (MSM) или 1,7 (прямая конфигурация) |
| Материалы корпуса | 316L VIM-VAR или сплав 22 |
| Материал сильфонов | Сплав 22 (средняя шероховатость Ra 5μ микродюймов) |
| Торцевые соединения | Тип (размер): Фитинг с торцевым уплотнением VCR® и внутренней резьбой (1/2 дюйма), поворотный фитинг с уплотнением VCR и наружной резьбой (1/2 дюйма), соединение под приварку встык, длина 0,50 дюйма (1/2 x 0,049 дюйма), модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход и C-образное уплотнение (1,5 дюйма) |
Нужна помощь с выбором клапана ALD?
Каталоги клапанов серии ALD20
Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手
Una Nueva Válvula: Tres Razones por las que Podría Cambiar la Fabricación del Semiconductor
Descubra cómo la última innovación en la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), está cambiando las cosas para los fabricantes de semiconductores de alta tecnología.
Descubra Más Cosas de la Tabla PeriódicaRecursos Swagelok Elaborados para Vd.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов
Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра
Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.
광섬유 장비 제조업체가 맞춤형 솔루션으로 효율을 높인 사례
로젠달 넥스트롬(Rosendahl Nextrom)은 1980년대부터 Swagelok에 의존하여 사업을 확장해왔습니다. 이 회사가 경쟁업체보다 앞서며 업계 리더 지위를 유지하도록 해준 솔루션에 대해 자세히 알아보십시오.
첨단 과학 분야에 필요한 신뢰성 높은 유체 시스템 솔루션
핀란드의 희석 냉동기 제조업체인 블루포스(Bluefors)가 양자 컴퓨팅과 실험물리학 등을 구현하는 데 Swagelok의 유체 시스템 부품과 솔루션을 신뢰하는 이유를 소개합니다.