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Manomètres très haute pureté et à air propre et sec

Manomètres très haute pureté et à air propre et sec Swagelok® (séries PGU et PGC)

Équipés d’un tube de Bourdon, les manomètres très haute pureté et à air propre et sec Swagelok® permettent de contrôler avec une grande fiabilité le vide et les pressions positives dans un système.

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Swagelok®超高純度用圧力計PGUシリーズおよびクリーン・ドライ・エアー用圧力計PGCシリーズは、バルク・ガス供給 からプロセス・ツール・アプリケーションに至るまで、幅広いアプリケーションに使用することができます。精度はASME B40.1、EN837-1、JIS B7505に準拠しています。

PGUシリーズ圧力計は半導体ガス・アプリケーション向けの超高純度「クリーン」で、SEMI/SEMATECHに準拠しています。クラス100/10のクリーンルームでクリーニングおよびパッケージングを行っており、エンド・コネクションは316L VARステンレス鋼製です。PGCシリーズ圧力計は、クラス100のクリーンルームで組み立て、クリーニング、パッケージングを行っています。エンド・コネクションは、1/4 インチ・サイズNPTねじです。両シリーズの圧力計とも窒素でパージを行い、ねじ接続部分に保護キャップを取り付けています。工場にて校正およびヘリウム・リーク・テスト(最大許容リーク・レート:1× 10-9 std cm3/s)を全品に行っています。

仕様

目盛範囲 PGUシリーズ:真空~21 MPa
PGCシリーズ:真空~40 MPa
目盛板の外径サイズ 28mm、40 mm、50 mm
精度
  • 50 mm目盛板の場合:フル・スケールの± 2%、1%、2%(JIS B7505の2.5級、ASME B40.100グレードA、EN 837-1 クラス2.5)
  • 40 mm目盛板の場合:フル・スケールの± 3%、2%、3%(JIS B7505の4.0 級、ASME B40.100 グレードB、EN 837-1 クラス4.0)
  • 28 mm目盛板の場合:フル・スケールの± 3%
使用温度範囲 周囲温度:–40~60°C
測定流体温度:–40~100°C
エンド・コネクション PGUシリーズ:1/4 インチ・サイズめすVCR®継手、1/4 インチ・サイズ回転可能型おすVCR継手、1/4 インチ・サイズ一体型おすVCR継手、 1.5インチ・フロー・スルー型、サーフェス・マウント型
PGCシリーズ:1/4 インチ・サイズNPTおねじ

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圧力計のカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

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