
Swagelok® 초고순도 플루오르수지 다이어프램 밸브(DRP 시리즈)
Swagelok DRP 시리즈 초고순도 플루오르수지 다이어프램 밸브는 UHP 케미컬 분배, 탈이온수(DI), 벌크 화학물질 공급 시스템에 강력한 솔루션을 제공합니다.
추가 세부 정보 요청Swagelok® DRP 시리즈 밸브는 차세대 PTFE 유체 접촉 부품을 사용하여 탁월한 화학적 내성을 제공합니다. 또한, 특허 기술인 유체 유로로 유체 잔류가 감소되어 공정 유체를 신속하게 퍼지할 수 있고 오염 위험이 최소화됩니다. 이 구조는 또한 유체 전단을 제한하므로 슬러리 집괴가 방지되며 공성 효율이 개선됩니다.
차세대 PTFE 다이어프램은 사용 중 응력을 감소시키는 특허 형상을 적용하여 내구성과 긴 사이클 수명에 최적화되었습니다. 보강 다이어프램 림이 밸브 공동을 밀폐하여 공정 유체 오염을 방지하고 시트 변형을 줄여줍니다.
DRP 시리즈 다이어프램 밸브는 공압식 또는 수동 작동 방식 중 하나로 공급 가능하며, 정밀 제어에 필요한 조절 가능한 유량 및 바이패스 옵션도 지원합니다. 이 제품은 SEMI 표준 F57-0301을 충족하므로 화학기계적 평탄화(CMP) 슬러리 시스템, 탈이온수 시스템, 벌크 케미컬 공급 시스템과 같은 초고순도(UHP) 애플리케이션에 최적입니다.
사양
압력 등급 | 최대 100 psig(6.8 bar) |
유체 온도 | 23°~100°C(73°~212°F) |
유량 계수 | 최대 10.2 |
몸체, 다이어프램 재질 | 차세대 PTFE |
연결구 | 종류: 가는 나사 확관(Flare) 및 Nippon Pillar Super 300® 표준 크기: 1/4~1 1/4인치 및 6~25 mm 구성: 2-way 및 3-way 수동 및 공압식 차단, 조절 가능한 유량 및 바이패스 모델 |
DRP 시리즈 밸브로 초고순도 유체 시스템을 최적화하시겠습니까?
UHP 플루오르수지 다이어프램 밸브 카탈로그
구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.
DRP 시리즈 공기작동식 및 1/4 회전 수동식 2-방향 및 3-방향 모델; 공기 작동식 및 유량 조절과 바이패스가 가능한 수동식 모델 유체가 접촉되는 부위는 DuPont® Teflon® 개선된 PTFE 및 폴리프로필렌 개폐기 초고순도 시스템 부품에 적용되는 SEMI 표준 F57-0301 준수 확관형 및 Nippon Pillar® Super 300 연결구가 기본형; Flowell, space saver 및 기타 연결구 제공 가능 주문자 요청에 의한 매니폴드 및 부분 조립품 제공 가능

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