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Membranventil

Swagelok ® Ultrahochreine Fluorpolymer-Membranventile (Serie DRP)

Die ultrahochreinen Fluorpolymer-Membranventile der Serie DRP von Swagelok sind eine robuste Lösung für Systeme zur Verteilung von ultrahochreinen Chemikalien, deionisiertem Wasser (VE-Wasser) und großen Chemikalienmengen.

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Die Ventile der Serie DRP von Swagelok® sind mit einem modifiziertem PTFE-Köper für hervorragende Chemikalienbeständigkeit gefertigt. Der patentierte, vollkommen frei gehaltene Fließweg reduziert Einschlussbereiche, ermöglicht zügiges Freispülen von Prozessmedien und minimiert das Kontaminationsrisiko. Darüber hinaus reduziert er die Fluidscherung zur Vorbeugung gegen Schlammanhäufungen und verbessert die Prozesseffizienz.

Die patentierte Membranform aus modifiziertem PTFE wurde optimiert, um die Belastung während der Betätigungszyklen zu minimieren. Ein verstärkter Membranrand dichtet die Ventilkammer ab, verhindert Verunreinigungen im Prozessmedium und reduziert die Ventilsitzbelastung.

Die Membranventile der Serie DRP sind mit pneumatischer oder manueller Betätigung und einstellbaren Durchfluss- und Bypass-Optionen für eine präzise Regelung erhältlich. Sie erfüllen die SEMI-Norm F57-0301 und eignen sich daher hervorragend für ultrahochreine Anwendungen wie chemisch-mechanische Planarisierungssysteme (CMP), VE-Wassersysteme und Systeme zur Bereitstellung großer Chemikalienmengen.

Spezifikationen

Druckstufe Bis 6,8 bar (100 psig)
Medientemperatur 23 ° bis 100 °C (73 ° bis 212 °F)
Durchflusskoeffizient Bis 10,2
Körper-, Membranwerkstoff: Modifiziertes PTFE
Endanschlüsse Typ: Fine-Flare- und Nippon Pillar® Super 300® Standard
Größe: 6 bis 25 mm und 1/4 bis 1 1/4 Zoll
Konfiguration: manuelle und pneumatische 2- und 3-Wege-Absperrung; einstellbare Durchfluss- und Bypass-Modelle

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Ultrahochreine Fluorpolymer-Membranventile—Kataloge

Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.

Swagelok C<sub>v</sub>-Rechner zur Berechnung des Durchflusskoeffizienten für Ventile

Berechnung der Durchflussmenge für die Ventilauswahl

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