Vannes à membrane Swagelok®
La conception des vannes à membrane limite les zones de rétention de fluide et facilite la purge avec un passage d’écoulement intégralement balayé, ce qui améliore l’efficacité du système tout en assurant une obturation efficace. La diversité des dimensions, des matériaux et des configurations – vannes pour dépôt par couche atomique, vannes pour immersion à haute température, vannes sans ressort – permet de satisfaire aux exigences des applications haute pureté et ultra-haute pureté.
View Diaphragm ValvesSwagelok diaphragm-sealed valves come in various sizes, materials, and configurations to meet the needs of high-purity and UHP applications. They feature flow coefficients ranging from 0.20 to 13. Their fully swept flow paths and corrosion-resistant construction make them ideal for applications where cleanliness is crucial. Users can choose from manual, pneumatic, and locking actuator options.
Swagelok diaphragm-sealed valves can be used in atomic layer deposition (ALD), high-flow, modular gas system, thermal-immersion, and ultrahigh-purity applications requiring fluoropolymer component construction.
- Swagelok springless diaphragm valves for modular gas systems are easy to install, provide a visual indication of flow direction, and have a seat design that improves thermal stability
- Swagelok bulk gas diaphragm valves offer a combination of strength, flexibility, and cycle life to support a wide range of ultrahigh-purity shutoff, bulk-gas distribution, and isolation applications
- Swagelok thermal-immersion diaphragm valves can be entirely contained within a high-temperature, high-purity environment, making them strong options for ALD and precursor delivery applications
- Swagelok ultrahigh-purity fluoropolymer diaphragm valves offer a strong solution for UHP chemical distribution, DI water, and bulk chemical delivery systems
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Diaphragm-Sealed Valves Categories
High-Purity High-Pressure Diaphragm Valves, DL and DS Series
Discover high-purity, high-pressure diaphragm valves with repetitive shutoff with a fully contained softseat stem tip, standard bottom, and panel mounting.
Multi-Valve Manifolds
Find multi-valve manifolds with diaphragm-sealed valves. Designed for reliable performance, these manifolds offer high purity and precise fluid control.
Spare Parts and Accessories
ダイヤフラム・バルブのメンテナンスを行う際の交換用部品／アクセサリー（ダイヤフラム・キット、シール・キット、ステム・キット、アクチュエーター交換キットなど）を幅広く取り揃えています。
Vannes à membrane en fluoropolymère très haute pureté, série DRP
Garantissez les performances et la longévité des vannes dans des systèmes acheminant des produits chimiques très purs grâce à un passage d’écoulement entièrement balayé pour limiter les contraintes et la contamination des fluides.
Vannes à membrane pour immersion à haute température, série DH
Les vannes à membrane pour immersion à haute température sont utilisées dans des process comme le dépôt par couche atomique (ALD) et l’alimentation en gaz précurseurs.
Vannes à membrane sans ressort pour systèmes à gaz modulaires, série DE, 1,125 po
Fiables et efficaces, les vannes à membrane sans ressort sont idéales pour assurer le bon fonctionnement des systèmes de gaz modulaires.
バルク・ガス供給用ダイヤフラム・バルブ、LDシリーズ
Vannes à membrane haut débit utilisables dans de nombreuses applications d’obturation haute pureté, de distribution de gaz en vrac et d’isolement.
超高純度用大流量ダイヤフラム・バルブ、DFシリーズ
大流量用スプリングレス・ダイヤフラム・バルブは、長いサイクル・ライフを実現します。スプリングやねじを使用していないため清浄度が向上し、流路から障害物を一掃したデザインを採用することでパージ性を強化しています。
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ、DPシリーズ
超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブには、ストレート型（手動式アクチュエーター付き）、マルチポート、集積型（MSM）（一体型アクチュエーター付き）があります。
Catalogues des vannes à membrane
Trouver des informations détaillées sur nos produits – matériaux de fabrication, pressions et températures nominales, options, accessoires, etc.
Features: 1.125 in. C-seal and W-seal designs; Available in two- and three-port configurations; Compact pneumatic and manual actuators; Pneumatic actuator indicator ball: red for normally closed, green for normally open; Fixed orientation of actuator to body for consistency of installation; Corner chamfers on outlet side of body for visual indication of flow direction
Swagelok thermal-immersion diaphragm valves offer high-speed actuation and are designed for optimum performance at 220 degrees C (428 degrees F) for high-temperature processes.
Features: Pneumatic and quarter-turn manual 2-way and 3-way models; pneumatic and manual models with adjustable flow and bypass features; DuPont® Teflon® modified PTFE wetted parts and polypropylene actuator; Meet SEMI Standard F57-0301 for ultrahigh-purity system components; Fine thread flare and Nippon Pillar® Super 300 end connections standard; space saver and other end connections available; Custom manifolds and subassemblies available
Etanchéité vers l’atmosphére par membrane métallique, Pressions de service allant du vide à 241 bar (3500 psig), Températures de –73 à 121°C (–100 à 250°F)
Convient aux applications haute pureté; Corps en acier inoxydable 316L VIM-VAR; Modèles basse et haute pression; Raccordements VCR®, tube à souder bout à bout et raccordements pour montage modulaire en surface; Commande manuelle ou pneumatique
Pressions de service jusqu’à 20,6 bar (300 psig); Fonctions d’arrêt, réseau de distribution de gaz, et d’isolation; Matériau du corps en acier inoxydable moulé, forgé et usiné dans la masse; Raccordements d’extrémité de 12 à 25 mm et de 1/4 à 1 po.
Features: 316L VAR stainless steel body; Working pressures up to 300 psig (20.6 bar); 1/4, 3/8, and 1/2 in.; 10 and 12 mm end connections
Calculer le débit pour bien choisir une vanne
Utilisez notre calculateur de coefficient de débit (Cv) pour choisir une vanne d’une taille adaptée à vos besoins.
Utiliser l’outilDes ressources préparées pour vous par Swagelok
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Réduisez au minimum les coûts associés aux émissions fugitives avec des vannes à faibles émissions
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Une nouvelle vanne. Trois raisons pour lesquelles elle pourrait révolutionner le secteur des semi-conducteurs.
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Vannes à membrane
La diversité des dimensions, des matériaux et des configurations de nos vannes à membrane permet de répondre aux besoins des applications haute et ultra-haute pureté, avec des coefficients de débit allant de 0,20 à 13 et des pressions de service pouvant atteindre 241 bar (3500 psig).
Les vannes à membrane obtureront efficacement l’écoulement dans votre système et peuvent supporter un grand nombre de cycles. La gamme des vannes à membrane Swagelok se compose des produits suivants : vannes pour dépôt par couche atomique (ALD), vannes sans ressort pour les systèmes à gaz modulaires, haute performance et à débit élevé, vannes pour immersion à haute température et vannes en fluoropolymère ultra-haute pureté. Des actionneurs manuels, pneumatiques et de verrouillage sont disponibles.