Swagelok® Ultrahochreine Membranventile für die Atomlagenabscheidung der Serie ALD7
Das ultrahochreine ALD7-Ventil von Swagelok sorgt dafür, dass das Durchflussverhalten, die Durchflusskapazität, die Betätigungsgeschwindigkeit, die Temperaturwerte sowie die Reinheit sichergestellt sind, die zur Maximierung des Chip-Durchsatzes in neuen oder existierenden Halbleiterproduktionsanlagen erforderlich sind.
Informationen zu ALD7-Ventilen anfordernDas ultrahochreine Swagelok® Membranventil ALD7 für die Atomlagenabscheidung (ALD) ermöglicht es Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen sowie Chipherstellern, die Chipausbeute zu erhöhen und die Rentabilität zu steigern. Für höchste Prozessanforderungen konzipiert, überzeugt das ALD 7-Ventil durch optimales Durchflussverhalten und eine optimale Durchflusskapazität, eine hohe Betätigungsgeschwindigkeit sowie Leistungsstärke in hohen Temperaturbereichen. Das ALD 7-Ventil bietet eine konstant hohe Leistung von Ventil zu Ventil, Dosis zu Dosis und Kammer zu Kammer bei maximaler Lebensdauer.
Vorteile des ALD 7-Ventils von Swagelok:
- Schnelle und präzise Dosierung über Millionen von Produktionszyklen auch in anspruchsvollsten Anwendungen und verbesserte Stellantriebstechnologie mit einer Ansprechzeit von nur 5 ms
- Beständigkeit gegen korrosive Gase dank Swagelok-Ventilkörper aus Edelstahl 316L VIM-VAR für ultrahochreine Anwendungen
- Aufheizbar bis 200 °C, solange der pneumatische Antrieb unter der maximalen Betriebstemperatur von 150 °C bleibt
- Bietet einen Durchflusskoeffizient (Cv) von bis zu 0,7; optional sind kundenspezifische Ausführungen (werkseitig eingestellt) mit Durchflusskoeffizienten von 0,5 bis 0,7 Cv erhältlich
- Gleicher Platzbedarf wie ALD-Ventile nach Industriestandard von Swagelok und integrierter Wärmeisolator zur maximalen Ausnutzung des begrenzten Platzes nahe der Reaktionskammer
ALD7-Ventile – Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3.200 psig) |
| Betätigungsdruck | 4,1 bis 8,27 bar (60 bis 120 psig) |
| Auslegungstemperatur | Standardventilkörper von 0 °C (32 °F) bis 200 °C (392 °F) |
| Durchflusskoeffizient | Standardmäßig 0,7 Cv (werkseitig) |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | Typ: VCR®-Verbindungen, 1,5 Zoll, Stumpfschweißfitting, modulare Konfiguration mit C-Dichtung für hohe Durchflusskapazitäten |
Sie haben Fragen zu ALD-Ventilen?
Ventile der Serie ALD7—Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
Cómo Solucionar los Principales Retos del Procesamiento de Semiconductores mediante ALD y ALE
Los procesos de producción de semiconductores ALD y ALE plantean algunos retos y complejidades propias. Vea cómo la selección correcta de válvulas de proceso puede ayudarle a superarlas.
Elegir las Válvulas Correctas para los Retos ALDRecursos Swagelok Elaborados para Vd.
Mejorar el Rendimiento de los Semiconductores con Aleaciones Optimizadas
Vea cómo los fabricantes de semiconductores pueden mejorar el rendimiento de la producción de extremo a extremo, y mejorar la rentabilidad a largo plazo mediante la selección de los metales adecuados para los componentes críticos de los sistemas de fluidos.
P&R: Pasado, Presente y Futuro de la Fabricación de Semiconductores
Vea cómo la colaboración entre los fabricantes de herramientas, los fabricantes de microchips y los proveedores de soluciones para sistemas de fluidos ha permitido que el mercado del semiconductor se mantenga a la altura de las exigencias de la Ley de Moore durante décadas, y hacia dónde nos dirigimos a partir de aquí.
Un Fabricante de Equipos de Fibra Óptica Aumenta la Eficiencia con Soluciones Personalizadas
Desde la década de los 80, Rosendahl Nextrom ha confiado en Swagelok para impulsar su negocio. Más información sobre las soluciones que permitieron a la empresa superar a sus competidores y seguir siendo un líder de la industria.
Soluciones Fiables de Sistemas de Fluidos para la Frontera Científica
Vea por qué el fabricante finlandés de refrigeradores de dilución Bluefors, confía en Swagelok para los componentes y soluciones de sistemas de fluidos que ayudan a hacer posible, entre otras, la informática cuántica o la física experimental.