Ultrahochreine Membranventile von Swagelok® für die Atomlagenabscheidung (Serie ALD7A)
Das ultrahochreine ALD7A-Ventil von Swagelok bietet eine konsistente und gleichmäßige Durchflussleistung, Durchflusskapazität und Betätigungsgeschwindigkeit sowie stabile Temperaturwerte und zuverlässige Reinheit, die zur Maximierung des Chip-Durchsatzes in neuen oder bestehenden Halbleiterproduktionsanlagen erforderlich sind.
Informationen zur Serie ALD7A anfordernAufbauend auf den bewährten ALD7-Ventilen wurde beim ultrahochreinen ALD7A-Membranventil von Swagelok® die Möglichkeit zur Einstellung der Durchflussleistung ergänzt – für eine hochpräzise Durchflusssteuerung direkt vor Ort in der Tool-Umgebung. ALD7A-Ventile sind speziell auf eine präzise, wiederholbare Durchfluss- und Antriebsleistung unter anspruchsvollen Zyklusbedingungen ausgelegt. Ab sofort lässt sich zusätzlich der Durchfluss an die spezifischen Prozessbedingungen anpassen, um Schwankungen zwischen Kammern und Tools zu verringern und eine optimierte Dosierung auch ohne Anpassung der Systemauslegung zu gewährleisten.
Das ALD7A-Ventil zeichnet sich durch kompromisslose Präzision sowie die folgenden Merkmale aus:
- Verbesserte Stellantriebstechnologie für schnelle und wiederholgenaue Betätigung – mit einer Betätigungszeit von weniger als 3 ms und einer Ansprechzeit von ca. 5 ms
- Durchflusskoeffizient von bis zu 0,7 Cv; kundenspezifische Durchflusskoeffizienten optional realisierbar
- Anpassung der Durchflussleistung vor Ort – für eine Reduzierung des Cv-Werts um bis zu 25 % gegenüber den Werkseinstellungen
- Korrosionsbeständiger Ventilkörper aus 316L VIM-VAR-Edelstahl für ultrahochreine Anwendungen
- Eintauchbarer Standardventilkörper für Temperaturen von 0–200 °C (32–392 °F); eintauchbarer Hochtemperatur-Ventilkörper und Stellantrieb für Temperaturen von 0–150 °C (32–302 °F) optional erhältlich
Details zu ALD7A-Ventilen anzeigen
ALD7A-Ventile – Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | > 220 bar (3200 psig) |
| Betätigungsdruck | 4,2 bis 8,2 bar (60 bis 120 psig) |
| Auslegungstemperatur | 0 °C bis 200 °C (32 °F bis 392°F) |
| Durchflusskoeffizient | Standardmäßig 0,7 Cv (werkseitig) |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | Typ: VCR®-Verbindungen, 1,5 Zoll, Stumpfschweißfitting, modulare Konfiguration mit C-Dichtung für hohe Durchflusskapazitäten |
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Ventile der Serie ALD7A – Kataloge
Hier finden Sie ausführliche Produktinformationen zu Werkstoffen, Druckstufen, Auslegungstemperaturen, Optionen und Zubehör.
Besonders hohe Zykluslebensdauer bei hoher Betätigungsgeschwindigkeit; Cv-Bereich von 0,27 bis 0,62; Mit Hochtemperatursteuerköpfen einsetzbar bis 200°C (392°F); Optionaler elektronischer Steuerkopf-Stellungsmelder; Geeignet für ultrahochreine Anwendungen mit Körper aus Edelstahl 316L VIM-VAR; VCR®, Stumpfschweißenden und modulare Bauteile für Flächenbefestigung
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