text.skipToContent text.skipToNavigation
Клапаны сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом, серия ALD20

Клапаны Swagelok® сверхвысокой степени чистоты для высокого расхода и атомно-слоевого осаждения (серия ALD20)

Клапаны сверхвысокой степени чистоты Swagelok ALD20 рассчитаны на интенсивный поток рабочей среды, идеально подходят для ALD процессов? требующих использования газовых прекурсоров с низким давлением паров.

Запросить информацию о клапанах ALD20

Клапан сверхвысокой степени чистоты Swagelok® ALD20 и высокого расхода обеспечивает надежность и производительность, которые характерны клапанам Swagelok® ALD, а также обеспечивает ранее недостижимую температурную стабильность и расход среды. Это позволяет производителям экспериментировать с различными процессами и химическими составами с низким давлением пара для достижения однородного осаждения газа, необходимого для разработки современных технологи без серьезных изменений в процессах.

Клапан ALD20 от Swagelok обладает следующими характеристиками:

  • Расход 1,2 Cv при тех же размерах (1,5 дюйма), что и существующие клапаны ALD, плюс улучшенная производительность без необходимости перенастройки
  • Высокий коэффициент 1,7 Cv с немного большим (1,75 дюйма) стандартным вариантом. Это самый высокий расход, доступный в настоящее время для клапана с долгим сроком службы и сверхвысокой чистотой
  • Возможность погружения в газовую камеру при температуре от 50°F (10°C) до 392°F (200°C), что устраняет необходимость изолировать приводной механизм во время нагрева, и улучшает стабильность осаждения
  • Повышенная коррозионная стойкость благодаря вариантам материала корпуса из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22
  • Поддержание чистоты в течение долгого срока службы и обеспечение целостности процесса благодаря сильфону с зеркальной полировкой Ra 5μ микродюймов
  • Обеспечение высокоскоростного (<10 мс) повторяемого переключения для точного и стабильного контроля потока согласно требованиям дозировки

Также предлагается возможность настройки коэффициентов расхода по усмотрению заказчика.

Узнайте, как клапан ALD20 дает возможность преодолеть трудности в отрасли производства полупроводников

Спецификация клапана ALD20

Рабочее давление От вакуума до 20 psig (1,4 бар ман)
Давление разрыва > 3200 psig (220 бар ман)
Давление срабатывания 70–90 psig (4,9–6,2 бар ман)
Температура 50–392°F (10–200°C)
Коэффициент расхода (Cv) 1,2 (MSM) или 1,7 (прямая конфигурация)
Материалы корпуса 316L VIM-VAR или сплав 22
Материал сильфонов Сплав 22 (средняя шероховатость Ra 5μ микродюймов)
Торцевые соединения Тип (размер): Фитинг с торцевым уплотнением VCR® и внутренней резьбой (1/2 дюйма), поворотный фитинг с уплотнением VCR и наружной резьбой (1/2 дюйма), соединение под приварку встык, длина 0,50 дюйма (1/2 x 0,049 дюйма), модульное соединение для монтажа на поверхность, высокий расход и C-образное уплотнение (1,5 дюйма)

Нужна помощь с выбором клапана ALD?

Свяжитесь с нашими специалистами

Каталоги клапанов серии ALD20

Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

Montaje en sala limpia de una válvula Swagelok ALD20 de ultra alta pureza para uso en la industria del semiconductor

Una Nueva Válvula: Tres Razones por las que Podría Cambiar la Fabricación del Semiconductor

Descubra cómo la última innovación en la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), está cambiando las cosas para los fabricantes de semiconductores de alta tecnología.

Descubra Más Cosas de la Tabla Periódica

Ресурсы Swagelok специально для вас

Компоненты жидкостных и газовых систем Swagelok изготавливаются из материалов, предназначенных для длительной эффективной работы в условиях производства полупроводников.
Повышение выхода годных полупроводниковых изделий благодаря применению усовершенствованных сплавов

Узнайте, как производители полупроводников могут повысить выход годных изделий на каждом этапе производственного процесса, а также рентабельность в долгосрочной перспективе за счет правильного подбора металлов для важнейших компонентов жидкостных и газовых систем.

Карл Уайт (Carl White), обладающий почти 40-летним опытом работы на различных предприятиях, относящихся к цепи поставок в сфере производства полупроводников, рассказывает о прошлом, настоящем и будущем этой отрасли.
Вопросы и ответы. Полупроводниковое производство—вчера, сегодня, завтра

Узнайте, как сотрудничество между OEM-производителями оборудования, производителями микросхем и поставщиками решений для жидкостных и газовых систем позволило полупроводниковой отрасли десятилетиями придерживаться закона Мура, а также о том, куда двигаться дальше.

Сотрудничество компаний Rosendahl Nextrom и Swagelok для повышения эффективности работы
Производитель оптоволоконного оборудования повышает эффективность с помощью индивидуальных решений

С 1980-х годов Rosendahl Nextrom полагается на компанию Swagelok в развитии своего бизнеса. Узнайте больше о решениях, которые позволили компании опередить конкурентов и остаться в числе отраслевых лидеров.

Компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем.
Надежные решения в жидкостных и газовых системах для новых научно-исследовательских возможностей

Узнайте, почему финская компания-производитель криогенных рефрижераторов Bluefors доверяет компонентам и решениям Swagelok для жидкостных и газовых систем, которые способствуют развитию сферы квантовых вычислений, экспериментальной физики и других направлений.

このプロセスには数分間かかる場合があります。このままお待ちください。