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Клапаны сверхвысокой степени чистоты для систем с высоким расходом, серия ALD20

Swagelok®大流量用超高純度用バルブ(ALD20シリーズ)

超高純度用Swagelok ALD20シリーズ・バルブは、他のALD(原子層蒸着)用バルブよりも大きな流量に対応するため、ALDプロセスで困難な低蒸発圧プリカーサー・ガスを試すことが可能になります。

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未来を見据えて

ALD20バルブは、Swagelok超高純度用ALD バルブに求められている信頼性と性能を維持しつつ、かつては対応が難しかった温度の安定性と流量も達成しています。このため、メーカーはさまざまな工程と低い蒸気圧の組み合わせを試し、最先端技術の開発に欠かせない均一な蒸着を実現することができます。

大流量化/フットプリントの最小化

超高純度用ALD20バルブは、ALD バルブ技術のブレイクスルーとして、既存の標準ALD バルブの2 ~ 3 倍もの流量を実現しています。そのため、半導体メーカーは、生産性を向上させることが可能になる一方で、工程を大幅に変更する必要はありません。

  • ALD20バルブは1.2の流量係数(Cv値)を実現しながら、フットプリントは既存のALDバルブと同じ1.5 インチ・サイズのため、既存装置を改造することなくパフォーマンスの改善を実現することが可能です。
  • 2つ目の標準ALD20バルブは、フットプリントが1.75 インチ・サイズとわずかに大きく、流量係数(Cv値)は1.7とさらに増えています。これは現在サイクル・ライフに優れた超高純度用バルブの中では最高の値です。
  • 流量係数(Cv 値)のカスタム設定も可能です。

妥協なき一貫性

ALD20は、非常に優れたサイクル・ライフで一貫したオペレーションを実現する特長を備えています:

  • アクチュエーター部分を含めバルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することができます(使用温度範囲:10°C~200°C)。加熱中にアクチュエーターを隔離する必要はありません。このため、蒸着の一貫性が向上し、低蒸気圧ガスが最適な状態で流れる温度に維持できます。
  • バルブのボディには316L VIM-VARステンレス鋼製または合金22製を採用しており、耐食性に優れています。
  • 高度な研磨を施したベローズ(表面粗さ:0.13 μm)は、超高サイクル・ライフにおいてもクリーンなオペレーションを支え、プロセスの完全性を維持します。
  • エアー・アクチュエーターは高速(<10 ms)で繰り返し作動し、正確かつ一貫した流量を実現します。

仕様

使用圧力範囲 真空~0.14 MPa
破裂時 > 22.0 MPa
操作時 0.49~0.62 MPa
使用温度範囲 10°~200°C
流量係数(Cv値) 1.2(MSM) または1.7(ストレート型)
ボディ材質 316L VIM-VARまたは合金22
ベローズ材質 合金22(0.13 μm仕上げ)
エンド・コネクション
タイプ(サイズ) めすVCR®継手(1/2 インチ)
回転可能型おすVCR継手(1/2 インチ)
チューブ突き合わせ溶接、長さ:12.7 mm(1/2 インチ X 肉厚1.24 mm)
集積モデル大流量用Cシール(1.5 インチ)

ALD20シリーズ・バルブのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。

Сборка клапана Swagelok ALD20 сверхвысокой степени чистоты в чистом помещении для применения в полупроводниковой отрасли

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