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高純度/大流量用ガス・レギュレーター、HFシリーズ

Swagelok®高純度/大流量用ガス・レギュレーター(HFシリーズ)

HFシリーズ・レギュレーターを使用すると、容易な調節で圧力調整を正確に行うことができます。大流量かつクリーンなプロセス要求に適しています。

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HFシリーズ・レギュレーターは、小型ながら大流量システムに対応可能なため、システム部品やプロセス・ラインをコンパクトに配置することができます。HFシリーズ・レギュレーターは、従来のダイヤフラム・タイプ圧力レギュレーターの半分以下のサイズで、調整ミスの防止および容易な取り付けが可能な設計を採用しています。

HFシリーズ・レギュレーターは、高レベルの清浄度が要求される環境に適しています。耐久性に優れ、正確な圧力調整を行うことができるほか、革新的な構造のガス作動式圧力感知アセンブリーで供給圧力影響(SPE)およびドループ(流量増加に伴う二次側圧力の降下)を最小限に抑えることが可能なため、大半のシステムにおいて圧力の再調整が不要です。

また、HFシリーズ・レギュレーターには、クリーンなオペレーションおよび確実な締め切りを実現する接合ポペット、および外部へのシールが不要な溶接式デザインを採用しています。PCTFE製のセルフ・センタリング・ポペットでクリープ(流れ停止時の二次側圧力の上昇)を防止すると共に、漏れの無いシールを形成します。

HFシリーズ・レギュレーターの特徴:

  • 一次側の最高使用圧力:20.6 MPa
  • 手動で調整可能な二次側圧力:1.03 MPaまで
  • 超高純度用途向け316L VIM-VARステンレス鋼製ボディ
  • エンド・コネクション(サイズ):VCR®スプリット・ナット(1/4 インチ)、チューブ突き合わせ溶接(1/4 インチ、3/8 インチ)、集積化ガス・システム・コンポーネントに対応するサーフェス・マウント(1.5 インチ、1.125 インチ)

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高純度/大流量用ガス・レギュレーター、HFシリーズのカタログ

構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報につきましては、以下の資料をご参照ください。

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