![超高純度用ダイヤフラム・バルブ、ALD3/ALD6シリーズ](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/banners/ultrahigh-purity-diaphragm-valves-ald3-ald6-series-1400x411.jpg)
Swagelok®超高純度用ダイヤフラム・バルブ(ALD3/ALD6シリーズ)
Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD3/ALD6シリーズは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、最高0.62の流量係数を備えており、ALD(原子層蒸着)半導体製造に必要なプリカーサーの投与制御を行います。
資料を請求する超高純度用バルブ ALD3/ALD6シリーズは、プロセス・チャンバー内での成膜プロセスのため、信頼性の高い高速でプリカーサー・ガスの投与をを高い信頼性で行うことが出来ます。ALD3/ALD6シリーズ・バルブの特徴:
- サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能
- 流量係数(Cv値):0.27~0.62、その他の流量係数(Cv値)設定も可能
- 最高200°Cまでの高温環境に対応(高温モデルのアクチュエーターの場合)
- 超高純度アプリケーションに適した316L VIM-VARステンレス鋼を標準としたバルブ・ボディ
- 集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、Swagelok VCR®継手エンド・コネクション
- 電気式インジケーター、光学式ポジション・センサー
ALD3/ALD6シリーズ・バルブのダイヤフラムは、強度と耐食性に優れたコバルト基超合金製です。バルブ・ボディは316L VIM-VARステンレス鋼製で、超高純度アプリケーションに適しています。バルブ・シートは高純度PFA 製で、幅広い耐薬品性を持ち、膨潤とコンタミネーションに対する耐性に優れています。
超高純度用バルブ ALD3/ALD6シリーズの作動型式は、ノーマル・クローズ型とノーマル・オープン型です。2ポート・バルブ(ストレート型、エルボー型)、マルチポート・バルブおよびマルチバルブ・マニホールド(2ポート、3ポート、4ポート)、1.125 インチ(ALD3シリーズのみ)および1.5 インチ・サイズのプラットフォームの集積バルブ(2ポート、3ポート)など、多様な形状があります。個々のプロセスに合わせて、高温モデルのアクチュエーター、電気式インジケーター、ソレノイド・パイロット・バルブ、ヒーター・カートリッジ挿入穴付きといったオプションを選ぶことができます。
仕様
使用圧力範囲 | 真空~1.0 MPa |
破裂時 | > 22.0 MPa |
作動圧力範囲 | 0.41 ~ 0.83 MPa |
使用温度範囲 | 0°~200°C |
流量係数(Cv値) | 0.27または0.62 |
ボディ材質 | 316L VIM-VARステンレス鋼 |
ダイヤフラム材質 | コバルト基超合金 |
エンド・コネクション | |
タイプ(サイズ) | めすVCR®面シール継手(1/4~1/2 インチ) おすVCR面シール継手(1/4~1/2 インチ) 集積モデル大流量用Cシール(1.125~1.5 インチ) |
ALD3/ALD6シリーズ・バルブのカタログ
構成部品とその材質、使用圧力、使用温度、オプション、アクセサリーなど、製品に関する詳細情報を確認することができます。
원자층 증착 (ALD) 용 다이어프램 밸브 고속 개폐 시에도 매우 긴 수명 유지 ; Cv 범위 0.27 ~ 0.62; 고온용 개폐기로 200°C (392°F)까지 사용가능; 전자 개폐기 위치 감지 옵션; 초고순도 사양에 적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체; VCR®, 튜브 맞대기 용접 및 블럭 조립식 연결구
![スウェージロックの流体システム部品には、半導体製造環境での耐久性を考慮した材料を使用しているものもあります。](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-resources/semiconductor-cleanroom-1400x610.jpg)
最適な合金で半導体製造の歩留まりを高める
今回は、重要な流体システム部品に適した金属材料を選定することで、エンドからエンドまでの製造の歩留まりを高め、長期的な収益性の向上を図る方法を紹介します。
材料選択の詳細はこちらスウェージロックのリソース
![半導体業界向けの超高純度用(UHP)ALD20バルブのクリーンルームでの組み立て](https://www.swagelok.com/assets/images/sap-content/featured-cms-blocks/new-ALD20-valve-260x154.jpg)
1つの新しいバルブが半導体製造を変える3つの理由
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Q&A:半導体製造の過去・現在・将来
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光ファイバー装置メーカー、カスタマイズされたソリューションで効率アップを実現
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最先端科学で信頼できる流体システム・ソリューション
フィンランドの希釈冷凍機メーカーであるブルーフォース社が、量子コンピューターや実験物理学などに欠かせない流体システム部品やソリューションに関して、スウェージロックに信頼を寄せている理由を紹介します。