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Diaphragm-Sealed Valve

Swagelok® Diaphragm-Sealed Valves

Swagelok diaphragm-sealed valves improve system efficiency while providing effective flow shutoff by minimizing entrapment areas and facilitating purging with a fully swept flow path. They have long cycle lives and are available in a variety of sizes, materials, and configurations to meet the system requirements of high-purity and ultrahigh-purity (UHP) applications.

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世伟洛克隔膜密封阀有多种尺寸、材料和配置可供选择,以满足高纯和超高纯应用的需求。其流量系数范围为 0.20 至 13。其完全可清扫流道和耐腐蚀结构使其成为对清洁度要求很高的应用的理想选择。用户可以选择手动、气动和具有锁定机构的选购件。

世伟洛克隔膜密封阀可用于原子层沉积 (ALD)、高流量模块化气体系统、热浸没应用以及需要含氟聚合物组件结构的超高纯应用场合。

  • 用于模块化气体系统的世伟洛克无弹簧隔膜阀易于安装,可直观显示流向,其阀座设计可提高热稳定性
  • 世伟洛克大宗气体隔膜阀提供了强度、灵活性和循环寿命的组合,以支持广泛的超高纯关断、大宗气体分配和隔离应用
  • 世伟洛克热浸没型隔膜阀可完全置入高温、高纯的环境中,使其成为 ALD 和前驱体输送应用的有力选择
  • 世伟洛克超高纯含氟聚合物隔膜阀为 UHP 化学品分配、去离子水和大宗化学品输送系统提供了强大的解决方案。

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隔膜密封阀类别

备件和附件

备件和附件

浏览优质阀门维护元件,了解隔膜密封阀备件和附件,包括隔膜和密封成套件、阀杆成套件和执行机构成套件。

多阀阀组

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查找带隔膜密封阀的多阀阀组。这些阀组专为实现可靠性能而设计,可提供高纯度和精确的流体控制。

大宗气体隔膜阀,LD 系列

大宗气体隔膜阀,LD 系列

大流量应用大宗气体分配隔膜阀,专为满足超高纯关断、大宗气体分配和隔离应用需求而设计。

模块化气体系统用无弹簧隔膜阀,1.125 in,DE 系列

模块化气体系统用无弹簧隔膜阀,1.125 in,DE 系列

可靠的增强型控制阀采用无弹簧设计,是模块化气体系统高效运行的理想之选。

热浸没型隔膜阀,DH 系列

热浸没型隔膜阀,DH 系列

热浸式隔膜阀用于高温工艺,如原子层沉积 (ALD) 和前驱体输送应用。

超高纯度关断隔膜阀,DP 系列

超高纯度关断隔膜阀,DP 系列

查看超高纯关断隔膜阀,可配备直通型、手动执行、多孔口和集成执行机构的模块化表面安装 (MSM)。

超高纯度含氟聚合隔膜阀,DRP 系列

超高纯度含氟聚合隔膜阀,DRP 系列

使用全扫流道可尽可能地减少应力和流体污染,从而确保在 UHP 化学系统中的优良性能和使用寿命。

超高纯度高压隔膜阀,DPH 系列

超高纯度高压隔膜阀,DPH 系列

超高纯、高压隔膜阀提供各种尺寸、材料和配置,适用于各种应用。

超高纯度高流量隔膜阀,DF 系列

超高纯度高流量隔膜阀,DF 系列

使用大流量、无弹簧隔膜阀延长循环寿命。无弹簧或螺纹提高了清洁度,全扫流道增强了吹扫效果。

高纯度高压隔膜阀,DL 和 DS 系列

高纯度高压隔膜阀,DL 和 DS 系列

了解具有重复关断功能,带全封闭软座阀杆头、标准底部和面板安装功能的高纯高压隔膜阀。

隔膜密封阀目录

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