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Atomic Layer Deposition (ALD) Valves

Swagelok® Atomic Layer Deposition (ALD) Valves

Swagelok ultrahigh-purity atomic layer deposition (ALD) valves offer the ultrahigh cycle life, high-speed actuation, flow rates, thermal immersibility, and extreme cleanliness needed to enable precise dosing and maximize chip yield in advanced semiconductor manufacturing applications.

Request ALD Valve Information

Desde que introdujimos en el mercado mundial las válvulas ALD, hemos trabajado conjuntamente con los fabricantes de herramientas para semiconductores y las plantas para ofrecer una tecnología avanzada de válvulas ALD que ofrezca los niveles extremos de precisión, consistencia, limpieza y larga vida útil necesarios para seguir el rápido ritmo de innovación del mercado. Las válvulas ALD Swagelok®pueden apoyar el incremento de la eficiencia en la producción de los chips y superar los retos que suelen ir asociados a los procesos ALD.

Nuestras válvulas de ultra alta pureza ALD se caracterizan por:

  • Ciclo de vida ultra-alto con actuación de alta velocidad
  • Cv desde 0,27 hasta 1,7
  • Capacidad de temperatura hasta 200°C (392°F) para modelos específicos.
  • Opción de detección de posición del actuador electrónica u óptica
  • Idoneidad de limpieza para las aplicaciones de ultra alta pureza
  • Conexiones finales para sistemas de montaje modular superficial, soldadura de tubo a tope y VCR®

Vea Cómo las Válvulas ALD Solucionan Retos

Catégories de vannes pour dépôt par couche atomique (ALD)

Vannes très haute pureté pour applications haut débit, série ALD20

Vannes très haute pureté pour applications haut débit, série ALD20

Advance atomic layer deposition technology with flow rates 2–3x higher than other ALD valves with the ALD20 ultrahigh-purity valve.

Vannes à membrane très haute pureté, séries ALD3 et ALD6

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Conçues pour les applications de dépôt par couche atomique, les vannes à membrane ALD3 et ALD6 se caractérisent par une durée de vie très longue, un actionnement ultrarapide et une grande robustesse.

Vannes à membrane très haute pureté, série ALD7

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La vanne à membrane très haute pureté ALD7 Swagelok® offre la précision et la régularité nécessaires pour maximiser la production de puces dans le secteur des semi-conducteurs.

Catalogues des vannes pour dépôt par couche atomique (ALD)

Trouver des informations détaillées sur nos produits – matériaux de fabrication, pressions et températures nominales, options, accessoires, etc.

Assemblage en salle blanche d’une vanne ALD20 Swagelok destinée au secteur des semi-conducteurs

Une nouvelle vanne et trois raisons pour lesquelles elle pourrait révolutionner le secteur des semi-conducteurs.

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