text.skipToContent text.skipToNavigation
Клапаны для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok® для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Клапаны Swagelok сверхвысокой чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают сверхвысокий циклический срок службы, высокую скорость срабатывания, уровни расхода, термопогружение и исключительную чистоту, необходимые для прецизионного дозирования и максимального увеличения выхода годных кристаллов в современном полупроводниковом производстве.

Запросить информацию о клапанах ALD

Познакомив мир с клапанами ALD, мы продолжаем тесно сотрудничать с изготовителями полупроводников с целью дальнейшей модернизации своих устройств, которые обеспечат высочайшие уровни точности, единообразия, чистоты и длительный срок службы, необходимые для соответствия стремительным темпам внедрения инноваций в отрасли. ALD-клапаны Swagelok® повышают эффективность производства микросхем и устраняют трудности, которые часто связаны с процессами атомно-слоевого осаждения.

Наши клапаны сверхвысокой степени чистоты для атомно-слоевого осаждения (ALD) обеспечивают:

  • Сверхвысокий циклический срок службы с высокой скоростью срабатывания
  • Cv в диапазоне от 0,27 до 1,7
  • Указанные модели обеспечивают устойчивую работу вплоть до 200°С (392°F)
  • Вариант исполнения с электронным или оптическим датчиком положения привода
  • Применение в условиях сверхвысокой чистоты
  • Модульное торцевое соединение для монтажа на поверхность, торцевые соединения под приварку встык и VCR®

Каким образом клапаны ALD решают сложные проблемы

Atomic Layer Deposition (ALD) Valves Categories

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD3 and ALD6 Series

ALD3 and ALD6 diaphragm valves offer ultrahigh cycle life, high-speed actuation, and strong performance in atomic layer deposition applications.
Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series

Ultrahigh-Purity Diaphragm Valves, ALD7 Series

The Swagelok® ALD7 ultrahigh-purity diaphragm valve offers the precision and consistency needed to maximize chip yields in semiconductor manufacturing applications.

Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series

Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Applications, ALD20 Series

Advance atomic layer deposition technology with flow rates 2–3x higher than other ALD valves with the ALD20 ultrahigh-purity valve.

Каталоги клапанов для атомно-слоевого осаждения (ALD)

Получите подробные сведения о продукции, в том числе о материалах изготовления, номинальных параметрах давления и температуры, вариантах исполнения и вспомогательных принадлежностях.

Сборка клапана Swagelok ALD20 UHP в чистом помещении для применения в полупроводниковой отрасли

Один новый клапан и три причины, которые позволят ему изменить производство полупроводников

Узнайте, как новейшие достижения в технологии ALD (атомно-слоевое осаждение) меняют ситуацию на рынке высокотехнологичного производства полупроводников.

Узнайте больше о периодической таблице

Ресурсы Swagelok специально для вас

Die Fluidsystemkomponenten von Swagelok werden aus Werkstoffen gefertigt, die auch den schwierigsten Produktionsumgebungen in der Halbleiterindustrie standhalten.
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen

Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.

Mit fast 40 Jahren Erfahrung in der Halbleiterindustrie verfügt Carl White über eine einzigartige Perspektive auf die Entwicklungen und Fortschritte in der Branche.
Q&A: Entwicklungen und Trends in der Halbleiterherstellung

In diesem Artikel beschäftigen wir uns damit, wie die Zusammenarbeit zwischen Herstellern von Halbleiter-Fertigungsanlagen, Chipproduzenten und Fluidsystemanbietern in der Halbleiterindustrie über Jahrzehnte hinweg dazu beigetragen hat, dass das Mooresche Gesetz eingehalten werden konnte. Zudem werfen wir einen Blick in die Zukunft dieser schnelllebigen Branche.

Rosendahl Nextrom und Swagelok setzen auf Zusammenarbeit, um die betriebliche Effizienz zu maximieren
Hersteller für Glasfaserproduktionssysteme erhöht seine Effizienz durch maßgeschneiderte Lösungen für seine Kunden

Bereits seit den 1980er-Jahren setzt Rosendahl Nextrom auf die Zusammenarbeit mit Swagelok, um sich geschäftlich weiterzuentwickeln. Erfahren Sie mehr über die Lösungen, mit denen es der Firma gelungen ist, der Konkurrenz stets einen Schritt voraus zu sein und sich als Marktführer zu behaupten.

Als Hersteller von Mischungskryostaten setzt Bluefors auf Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok.
Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft

Erfahren Sie mehr darüber, warum sich das finnische Unternehmen Bluefors bei der Herstellung seiner Mischungskryostate für Anwendungen in den Bereichen Quantum-Computing und Experimentalphysik auf die Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok verlässt.

This process may take several minutes. Please be patient and remain on the page.