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manómetros de ultra alta pureza y aire seco limpio

Manómetros de Ultra Alta Pureza y Aire Seco Limpio (Series PGU y PGC) Swagelok®

Los manómetros Swagelok® de ultra alta pureza y aire seco limpio utilizan un tubo Bourdon para monitorizar de forma fiable la presión positiva y el vacío del sistema.

Solicitud de Información sobre Manómetros

Los manómetros series Swagelok® PGU de ultra alta pureza y Swagelok® PGC de aire seco limpio están diseñados para utilizarse en una amplia gama de aplicaciones, desde la distribución de gas a granel hasta aplicaciones de herramientas de proceso. Su precisión cumple con las normas ASME B40.1, EN837-1 y JIS B7505.

Los manómetros serie PGU de ultra alta pureza UHP “limpios” para aplicaciones de gas de semiconductores, de acuerdo con SEMI/SEMATECH, se limpian y se embalan en una sala limpia de clase 100/10 y tienen conexiones finales de acero inoxidable 316L VAR. Los manómetros serie PGC se montan, limpian y embalan en una sala limpia clase 100 y tienen conexiones de 1/4 pulg. NPT Las dos series están purgadas con nitrógeno e incluyen un tapón protector sobre la conexión roscada. Todos los manómetros de aire seco limpio y de ultra alta pureza están calibrados al 100% en fábrica y se han sometido a pruebas de fugas con helio hasta un caudal de fuga máximo de 1× 10-9 cm3/s std.

Especificaciones

Rangos de las Esferas Serie PGU: Vacío a 200 bar; 21 MPa
Serie PGC: Vacío a 400 bar; 6000 psi; 40 MPa
Tamaños de las Esferas 28, 40 y 50 mm (1, 1 1/2 y 2 pulg.)
Precisión
  • 50 mm (2 pulg.), ± 2% / 1% / 2% de span (ASME B40.1, Grado A, EN 837-1 Clase 2.5, JIS B7505 Clase 2.5)
  • 40 mm (1 1/2 pulg.), ± 3% / 2% / 3% de span (ASME B40.1, Grado B, EN 837-1 Clase 4, JIS B7505 Clase 4)
  • 28 mm (1 pulg.), ± 3% de span
Temperatura de Servicio Entorno: –40 a 60°C (–40 a 140°F)
Fluido: –40 a 100°C (–40 a 212°F)
Conexiones Finales Serie PGU: Accesorio hembra Swagelok VCR® de 1/4 pulg, accesorio Swagelok macho giratorio de 1/4 pulg, accesorio macho Swagelok integral de 1/4 pulg, montaje superficial con paso de caudal de 1 1/2 pulg
Serie PGC: Accesorio NPT macho de 1/4 pulg.

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