Swagelok® Ultrahochreine Membranventile für die Atomlagenabscheidung (Serien ALD3 und ALD6)
Die Membranventile der Serien ALD3 und ALD6 von Swagelok werden in Werkzeugen zur Halbleiterfertigung für eine präzise Dosierung bei der Atomlagenabscheidung eingesetzt. Sie zeichnen sich durch äußerst lange Lebensdauer, hohe Stellgeschwindigkeiten und Durchflusskoeffizienten von bis zu 0,62 aus.
Informationen zu ALD-Ventilen anfordernDie ultrahochreinen Swagelok®Membranventile der Swagelok®Serien ALD3 und ALD6 wurden entwickelt, um Halbleiterherstellern eine zuverlässige Hochgeschwindigkeitsdosierung von Vorläufergasen zu ermöglichen, die für den schichtweisen Aufbau von Mikrochips in Abscheidekammer eingesetzt werden. Diese äußerst leistungsstarken Ventile für ultrahochreine Anwendungen zeichnen sich durch eine extrem lange Lebensdauer, die vollständige Eintauchfähigkeit bei hohen Temperaturen sowie durch ihre Eignung für ultrahochreine Anwendungen aus.
Die Membranen der ALD3- und ALD6-Ventile bestehen aus einer Superlegierung auf Kobaltbasis, die Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit gewährleistet. Die Ventilkörper sind für den Einsatz in ultrahochreinen Anwendungen aus Edelstahl 316L VIM-VAR gefertigt. Die Ventilsitze sind aus fluoriertem PFA für den Einsatz unter hochreinen Bedingungen hergestellt, um die Kompatibilität mit zahlreichen Chemikalien und eine herausragende Beständigkeit gegen Aufquellen und Verunreinigung sicherzustellen. Diese Ventile sind für eine normal geschlossene sowie normal offene pneumatische Betätigung konzipiert und für unterschiedliche Installationsanforderungen in verschiedenen Konfigurationen erhältlich.
Wie ALD-Ventile die Halbleiterfertigung verbessern
ALD3- und ALD6-Ventile — Spezifikationen
| Betriebsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3.200 psig) |
| Betätigungsdruck | 3,5 bis 6,2 bar (50 bis 90 psig) |
| Temperatur | 0 ° bis 200 °C (32 ° bis 392 °F) |
| Durchflusskoeffizient (Cv) | 0,27 oder 0,62 |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Superlegierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | Typ (Größe): VCR®-Innengewinde mit Metalldichtscheibe (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll), VCR-Außengewinde mit Metalldichtscheibe (1/4 Zoll bis 1/2 Zoll), modulare Flächenmontage mit C-Dichtung für hohen Durchfluss (1 1/8 Zoll bis 1 1/2 Zoll) |
Sie haben Fragen zu ALD-Ventilen?
ALD3 및 ALD6 시리즈 밸브 카탈로그
구성 재질, 압력 및 온도 등급, 옵션, 액세서리를 포함한 자세한 제품 정보를 찾을 수 있습니다.
원자층 증착 (ALD) 용 다이어프램 밸브 고속 개폐 시에도 매우 긴 수명 유지 ; Cv 범위 0.27 ~ 0.62; 고온용 개폐기로 200°C (392°F)까지 사용가능; 전자 개폐기 위치 감지 옵션; 초고순도 사양에 적합한 316L VIM-VAR 스텐레스강 몸체; VCR®, 튜브 맞대기 용접 및 블럭 조립식 연결구
Verbessern Sie Ihre Halbleiterproduktion durch den Einsatz optimierter Legierungen
Erfahren Sie, wie Halbleiterhersteller ihre Produktionsausbeute und Profitabilität durch Auswahl der passenden Werkstoffe für wichtige Fluidsystemkomponenten langfristig optimieren.
Erfahren Sie mehr über die WerkstoffauswahlSwagelok Resources Curated for You
하나의 신제품 밸브: 반도체 제조 기술을 바꿀 수 있는 세 가지 이유
혁신적인 최신 원자층 증착(ALD, Atomic Layer Deposition) 밸브 기술이 어떻게 첨단 기술 반도체 제조 시장을 변화시킬 수 있는지 소개합니다.
Q&A: 반도체 제조의 과거와 현재, 그리고 미래
반도체 장비 OEM, 마이크로칩 제조업체, 유체 시스템 솔루션 제공업체가 어떻게 지난 몇십 년 동안 협력을 통해 반도체 시장이 무어의 법칙에 따른 수요를 충족하도록 해왔으며, 이제부터는 어떻게 해야 할 것인지 알아보십시오.
Un Fabricante de Equipos de Fibra Óptica Aumenta la Eficiencia con Soluciones Personalizadas
Desde la década de los 80, Rosendahl Nextrom ha confiado en Swagelok para impulsar su negocio. Más información sobre las soluciones que permitieron a la empresa superar a sus competidores y seguir siendo un líder de la industria.
Zuverlässige Fluidsystemlösungen für die Wissenschaft
Erfahren Sie mehr darüber, warum sich das finnische Unternehmen Bluefors bei der Herstellung seiner Mischungskryostate für Anwendungen in den Bereichen Quantum-Computing und Experimentalphysik auf die Fluidsystemkomponenten und -lösungen von Swagelok verlässt.