Swagelok® Ultrahigh-Purity Valves for High-Flow Atomic Layer Processing Applications (ALD20 Series)
Swagelok ALD20 ultrahigh-purity valves offer a high flow capacity ideal for atomic layer deposition processes that require low-vapor pressure precursor gases.
Request ALD20 Valve Information대유량 Swagelok® ALD20 초고순도 밸브는 Swagelok® ALD 밸브에서 기대할 수 있는 신뢰성과 성능을 제공하는 동시에, 이전에 달성할 수 없었던 온도 안정성과 유량 가능성을 지원합니다. 따라서, 제조업체는 다양한 공정과 저증기압 화학 기술을 실험하면서 공정을 크게 변경하지 않고도 첨단 기술을 개발하는 데 필요한 균일한 가스 증착을 달성할 수 있습니다.
Swagelok ALD20 밸브의 특징:
- 기존 ALD 밸브와 동일한 점유 공간(1.5인치)에서 1.2 Cv의 유량을 제공하며, 장비 교체 없이 개선된 성능을 제공합니다
- 약간 큰(1.75인치) 표준 유형으로 더 뛰어난 1.7 Cv를 제공하며, 이는 현재 시판 중인 극도로 높은 사이클 수명의 초고순도 밸브에서 가장 높은 유량입니다—
- 10°C(50°F)에서 최대 200°C(392°F)까지 가스 박스에 봉입 가능하므로, 가열 도중 액추에이터를 차단할 필요가 없으며 증착 일관성이 개선됩니다
- 316L VIM-VAR 스테인리스강 또는 22 합금 몸체 재질 옵션은 더 강력한 내식성을 제공합니다
- 5μ인치 Ra 표면처리의 고정밀 연마 벨로우즈 덕분에 극도로 높은 사이클 수명 동안 공정 무결성을 유지하면서 세정 작업이 가능합니다
- 투입량 조건을 충족하는 정밀하고 일관적인 유량에 필요한 반복 가능한 고속(<10ms) 작동을 제공합니다
맞춤 설정 유량 계수도 사용 가능합니다.
ALD20 밸브로 반도체 가공과 관련된 과제를 극복하는 방법을 알아보십시오
ALD20 밸브 사양
| 사용 압력 | 진공~20 psig(1.4 bar) |
| 파열 압력 | >3200 psig(220 bar) |
| 작동 압력 | 70~90 psig(4.9~6.2 bar) |
| 온도 | 10°~200°C(50°~392°F) |
| 유량 계수(Cv) | 1.2(MSM) 혹은 1.7(직선형) |
| 몸체 재질 | 316L VIM-VAR 혹은 22 합금 |
| 벨로우즈 재질 | 22 합금(5μ인치 Ra 표면처리) |
| 연결구 | 종류(크기): 암나사 VCR® 피팅(1/2인치), 회전형 수나사 VCR 피팅(1/2인치), 튜브 맞대기 용접, 0.50인치 길이(1/2인치 × 0.049인치), 모듈 조립형 대유량 C-씰(1.5인치) |
ALD 밸브 선택에 도움이 필요하십니까?
ALD20 Series Valves Catalogs
Locate detailed product information, including materials of construction, pressure and temperature ratings, options, and accessories.
■ サイクル・ライフが非常に優れ、高速で開閉可能／■ 流量係数（Cv 値）：0.27 から1.7 まで／■ 最高使用温度：200°C（ALD20 の場合）／■ オプション：電気式インジケーター、光学式ポジション・センサーなど／■ 超高純度用途に適した316L VIM-VAR ステンレス鋼製ボディ／■ エンド・コネクション・タイプ：集積モデル、チューブ突き合わせ溶接、VCR ® メタル・ガスケット式面シール継手
One New Valve: Three Reasons It Could Change Semiconductor Manufacturing
Find out how the latest innovation in atomic layer deposition (ALD) valve technology is changing the game for high-tech semiconductor manufacturers.
Unlock More of the Periodic TableSwagelok Resources Curated for You
Improve Semiconductor Yield with Optimized Alloys
Discover how semiconductor fabricators can improve end-to-end production yields and improve long-term profitability by selecting the right metals for critical fluid system components.
Q&A: Semiconductor Manufacturing Past, Present, and Future
Find out how collaboration between semiconductor tool OEMs, microchip manufacturers, and fluid system solutions providers has enabled the semiconductor market to keep up with the demands of Moore’s Law for decades, and where we go from here.
Fiber Optics Equipment Manufacturer Increases Efficiency with Customized Solutions
Since the 1980s, Rosendahl Nextrom has depended on Swagelok to move its business forward. Learn more about the solutions that allowed the company to outpace its competitors and remain an industry leader.
Reliable Fluid System Solutions for the Scientific Frontier
Learn why Finnish dilution refrigerator manufacturer Bluefors trusts Swagelok for fluid system components and solutions that help enable quantum computing, experimental physics, and more.